单一出入口溅镀机用于非中心定位工件的连贯式生产方法

专利名称：单一出入口溅镀机用于非中心定位工件的连贯式生产方法
技术领域：
本发明揭露一种单一出入口溅镀机用于非中心定位工件的连贯式生产方法，特别 是用于可对不同尺寸的工件做溅镀制造工艺时，使不同的工件可在同时做不同的溅镀制造 工艺。
背景技术：
由于工程塑料的可加工性优于金属，为各类电子设备提供了更高的设计灵活性以 及生产力，目前已经成为电子设备外壳的主要材料。塑胶材质制成的外壳，于视觉或触碰时 质感较差。因此，对电子设备的塑胶外壳加设金属层，使电子装置的外壳具有良好的视觉美 感与质感，成为时下主流趋势，目前以真空溅镀方式形成所述金属层为最常用的方式。目前一般镀膜系统中会同时镀膜多个工件，以缩短整批工件的制造工艺时间，但 以此方式溅镀，同一腔体中，工件在不同位置，镀膜品质并不均勻。而且，若塑料外壳形成金 属膜时，需经过两次溅镀，在第一次溅镀之后须先冷却再进行第二次溅镀，以防塑料外壳因 过热而变形。第一次溅镀后的工件会依次被承载于直线运输的载具上，在搬运过程中吹上冷却 风来冷却。冷却过程同样是采用一次冷却多个工件的方式，对于每一个工件而言也会有冷 却效果不一致的问题。但若一次仅进行一个工件的溅镀制造工艺或冷却，以传统输送流程 设计来说，必须先等候前一工件完成这溅镀或冷却后，下一工件才能载入以进行此道制造 工艺，若欲大量生产时会使整批工件完成的时间过长，造成产能降低。况且，对于电子设备， 如手机、笔记本电脑等形状不规则的塑胶外壳来说，定位不易，针对不同工件，同一设备可 能需更换不同载具，十分麻烦。在移载的改良方面，前案TW94122792中是对于光盘的移载结构提出创新设计，其 采用旋转式运动模式，配合供料装置与出料装置亦采用环状设计；如此，该光盘移载结构于 动作时可具有多工的效能，同一时间可以同时进行多片光盘的移载，解决之前移载结构中 多是以直线式运动模式，或是扇形往复式移动，但仅是解决其同一时间只能进行单一或少 量光盘的取料或出料，移载数量低，工作效率差的问题。并未解决针对不规则的工件如何定 位的问题，而电子设备外壳的溅镀制造工艺步骤也较光盘的制作更为复杂。因此，针对不同尺寸的工件设计一套自动化的运输方式及溅镀制造工艺，且便于 对此类的产品定位，以及如何达到一次溅镀多个工件，同时又保证每一个工件的镀膜品质 是本发明所欲解决的问题。

发明内容
为解决先前技术的缺点，以满足使用者对输送系统的需求，本发明人基于多年从 事研究与诸多实务经验，经多方研究设计与专题探讨，于本发明提出一种连贯式溅镀方法， 以作为前述期望的实现方式与根据。本发明提供一种单一出入口之溅镀机用于非中心定位工件连贯式生产方法，该方
4法包括(a)提供一设备，包括一转盘、一溅镀腔体，其中，溅镀腔体内至少有m个相互独立 的溅镀室，且该溅镀腔体可间歇式旋转，该转盘设有至少3个的工作站，以及复数个非中心 定位机构，依该些工作站的位置分布，三机械手臂，以分别(1)提供将一工件传送至转盘上 的第一工作站，(2)由第二工作站载入工件至该溅镀腔体内的溅镀室，(3)自第三工作站卸 载工件；(b)调整转盘上的非中心定位机构，使之适合工件之尺寸后固定，及依该工件形状 调整三机械手臂的位置；(c)设定转盘以间歇式旋转，使工件由一工作站旋转至另一工作 站时即停留一第一预定时间，同时也设定溅镀腔体以间歇式旋转并停留一第二预定时间； (d)装载于该转盘上的该些工件被旋转至该些工作站，当转盘停止时，机械手臂之一载入该 工件于第一工作站的同时，机械手臂之二自第二工作站载入工件于溅镀腔体其中的一溅镀 室，溅镀腔体间歇式旋转一次以让机械手臂之二自溅镀腔体的另一溅镀室载入另一工件于 第二工作站；及(e)转盘再间歇式旋转一次，以使第三工作站的工件得以卸载。
若欲对塑料工件进行两次溅镀时，需经过两次冷却制造工艺，本发明并提供另一 种单一出入口的溅镀机用于非中心定位工件连贯式生产方法，该方法包括(a)提供一设 备，包括一转盘、一溅镀腔体，一冷却装置及一检测装置，其中，溅镀腔体可间歇式旋转，并 具有至少m个相互独立的溅镀室，转盘设有至少五个工作站，每一工作站设有一非中心定 位机构，其中第一至第三工作站设有三机械手臂，以分别(1)提供将一工件传送至转盘上 的第一工作站，(2)由第二工作站载入工件至溅镀腔体的溅镀室，(3)自第三工作站卸载 工件；(b)调整转盘上的该些非中心定位机构，使之适合工件的尺寸后固定，及依工件形状 调整三机械手臂位置；(c)设定转盘以间歇式旋转，使工件由一工作站旋转至另一工作站 时即停留一第一预定时间，同时也设定溅镀腔体以间歇式旋转并停留一第二预定时间；(d) 装载于转盘上的该些工件被旋转至该些工作站，当转盘停止时，机械手臂之一载入工件于 第一工作站的同时，机械手臂之二自溅镀腔体内其中的一溅镀室载入工件于第二工作站， 在第四工作站，以检测装置对工件进行检测以及在第五工作站，以冷却装置对工件进行冷 却；及(e)转盘间歇式旋转一次，机械手臂之三自第三工作站中已经过第二次溅镀的工件 卸载。


为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本 发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可 以根据这些附图获得其他的附图。图1显示本发明单一出入口的溅镀机用于非中心定位工件一次溅镀的连贯式溅 镀设备示意图；图2显示本发明对工件进行一次溅镀的流程图；图3A及图3B显示本发明单一出入口的溅镀机用于非中心定位工件二次溅镀的连 贯式溅镀设备示意图；及图4显示本发明对工件进行二次溅镀之流程图。附图标号1:连贯式溅镀设备10:输送装置
IOa 第一输送装置IOb 第二输送装置
105 温风箱107 定位器
16 机械手臂12 转盘
12a 12d 第一 四工作站120 非中心定位机构
1202 水平定位夹持器1204 垂直定位夹持器
14 溅镀腔体141 144 溅镀室
18 检测装置
3 连贯式溅镀设备30 输送装置
30a 第一输送装置30b 第二输送装置
305 温风箱307 定位器
36 机械手臂32 转盘
32a 32g 第一 七工作站320 非中心定位机构
3202 水平定位夹持器3204 垂直定位夹持器
34 溅镀腔体341 344 溅镀室
38 检测装置31 第一冷却装置
33 第二冷却装置35 翻面机构
具体实施例方式为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文依本发明单一出入口溅 镀机用于非中心定位工件的连贯式生产方法，特举较佳实施例，并配合相关附图，作详细说 明如下，其中相同的元件将以相同的元件符号加以说明。本发明的实施例请参考图1的设备示意图及图2的流程图。本发明提供单一出入 口溅镀机用于非中心定位工件的连贯式生产方法，在本发明的第一实施例中，若此工件仅 进行一次溅镀，则此方法包括SlOO 提供一设备1，可用以连续地运输工件，并同时进行溅镀及其他制造工艺， 请同时参阅图1，图1显示本发明的单一出入口之溅镀机配合转动运输装置，进行连贯式流 程的设备示意图。此设备1包含一输送装置10、一转盘12、一溅镀腔体14及三机械手臂 16。所述的输送装置10用以进料及出料，本发明实施例中，输送装置包括一第一输送 装置IOa用以进料以及一第二输送装置IOb用以出料。进料及出料可为同一输送装置，该 输送装置10可以是输送带式、堆迭供料台或转盘式，本发明实施例中是使用输送带式的输 送装置10传送欲溅镀工件。输送装置10可依需要装设一温风箱105以及一定位器107。其中，定位器107设 置于该输送装置10上，用以将工件夹持固定，准备传送到转盘12上。上述的转盘12设有至少3个之工作站，第一工作站12a、第二工作站12b及第三工 作站12c，分别在各工作站进行装载工件，溅镀工件以及卸载工件的动作。藉由转盘12的旋 转，可以输送工件至不同工作站，同时进行不同的制造工艺步骤。而为了对溅镀后的工件进 行检测，以检测工件溅镀品质，故本发明实施例中更增设一第四工作站12d，配备一检测装 置18，以在工件溅镀后对该工件进行检测。
为了适用于不同尺寸的工件，各工作站上设有非中心定位机构120。本实施例中， 每个非中心定位机构120包括一组水平定位夹持器1202及一组垂直定位夹持器1204，可根 据批次工件尺寸调整后即固定，亦可随工件形状尺寸放置载具。非中心定位机构120—开 始即根据工件的形状尺寸调整设定，用以使该工件定位。欲将工件在转 盘12与输送装置10之间，以及转盘12和溅镀腔体14之间往复传 送，本发明实施例中设置三机械手臂16，以分别提供将工件由输送装置10至转盘12上的第 一工作站12a，由第二工作站12b载入该工件至溅镀腔体14内以及自该第三工作站12c卸 载工件。传送工件亦不限于利用机械手臂，也可利用其他传输方式。在一最佳实施例中，所 述的三机械手臂16，设有一可调吸盘(未图示)，抓取工件时，可视工件尺寸大小，设定一次 抓取复数个工件。前述的溅镀腔体14设置于转盘12的第二工作站，用以溅镀工件，为了使溅镀腔体 14可同时溅镀多个工件，但每一工件又可具有良好的镀膜品质，在本发明实施例中的溅镀 腔体14内，具有第一 第四个相互独立的溅镀室141 144。可允许工件分别在不同溅镀 室内，同时进行溅镀。但是，溅镀室的个数m可依设备条件决定。此外，溅镀腔体14可间歇式旋转，并在溅镀腔体14旋转一圈的过程中，有多个工 件依次进入溅镀腔体14，同时在各个溅镀室中进行溅镀制造工艺。当溅镀室旋转至溅镀腔 体14入口时，表示该溅镀室内的工件已完成溅镀。S105 调整转盘12上的非中心定位机构120，使该工件定位，并依该工件形状调整 该三机械手臂16的位置以抓取工件。其中，本发明实施例中，是设定非中心定位机构120 的水平定位夹持器1202及垂直定位夹持器1204的距离来使工件定位，但也可以不同的载 具代替。而在本发明实施例中，机械手臂16则是利用可调吸盘来抓取工件。因此，需调整 机械手臂16的可调吸盘位置后固定。并且依工件尺寸设定该可调吸盘一次抓取的工件个 数。由于转盘12，可依制造工艺流程多寡调整转盘12上所设置的工作站数量及位置， 故此步骤中可依需要设定该转盘12每次旋转站数为一站或是两站，顺时针或逆时针旋转。 在本发明实施例中，若工件只做一次溅镀，且工作站依顺时针方向设置为12a、12b、12d、12c 四个工作站，则设定转盘每次顺时针旋转一站。SllO 设定转盘12以间歇式旋转，使该工件由一工作站旋转至另一工作站时即停 留一第一预定时间，同时也设定溅镀腔体14以间歇式旋转并停留一第二预定时间。在本发 明最佳实施例中，转盘12每旋转一次停止8 15秒以在各工作站进行不同制造工艺。在 本实施例中第二预定时间为8 15秒。S115 装载于转盘12上的工件被旋转至各工作站，当转盘12停止时，机械手臂16 之一载入工件于第一工作站12a的同时，机械手臂16之二自该第二工作站12b载入工件于 溅镀腔体14。溅镀腔体14间歇式旋转一次以让该机械手臂16之二自溅镀腔体14另一溅 镀室载入另一工件于该第二工作站12b。其中，由于转盘12及溅镀腔体14皆可旋转，故，二者需互相配合才能使工件在转 盘12与溅镀腔体14间的交互装载的方式更加流畅。本发明实施例中，假设预备溅镀的工件位于第二工作站12b，但溅镀腔体14入口的溅镀室为空，则转盘12和溅镀腔体14之间装卸流程包括(1)将第二工作站12b的工件 载入第一溅镀室141 ； (2)溅镀腔体14旋转一格(90度)，将第二溅镀室142旋转至溅镀腔 体14的入口 ； (3)将第二溅镀室142中完成溅镀的工件卸载至第二工作站12b ； (4)间歇式 旋转转盘12，将后续欲溅镀的工件转至第二工作站12b，重复步骤(1) (4)，使工件可在第 二工作站12b与溅镀腔体14往复传送。请注意工件在第二工作站12b载入第一溅镀室141进行溅镀，当溅镀腔体14旋转 一圈使第一溅镀室141再度回到溅镀腔体14入口位置时，工件已完成溅镀并准备卸载，此 过程中有三个工件以上述方式依序由溅镀室卸载至转盘12以及由转盘12传入溅镀腔体 14。S120 该转盘12再间歇式旋转，以使第三工作站12c的工件得以卸载至第二输送 装置10b。此外，本发明另一实施例，是对工件进行两次溅镀制造工艺。请参照图4，为本发明 实施例二次溅镀的流程图。欲对工件进行二次溅镀制造工艺的步骤如下S200 提供一设备，如图3A所示，显示本发明实施例的设备示意图。上述设备3包 括一输送装置30、一转盘32、一溅镀腔体34、一冷却装置31、一检测装置38及三机械手臂 36。所述的输送装置30及溅镀腔体34与前一实施例的设备相同。包括一第一输送装 置30a用以进料，以及一第二输送装置30b用以出料。进料及出料可为同一输送装置30，可 以是输送带式、堆迭供料台或转盘式。输送装置30可依需要装设一温风箱305以及一定位 器307。其中，定位器307设置于该输送装置30上，用以将工件夹持固定，准备传送到转盘 32上。溅镀腔体34设置于转盘32的第二工作站，用以溅镀工件，溅镀腔体34内具有m 个相互独立的溅镀室，溅镀室的个数可依设备条件设置。在本实施例中，溅镀腔体34内，具 有第一 第四个相互独立的溅镀室341 344。溅镀腔体34可旋转，并在溅镀腔体34旋转 一圈的过程中，有多个工件依次进入溅镀腔体34中，并同时在各个溅镀室中进行溅镀制造 工艺。当溅镀室再度被旋转至溅镀腔体34入口时，表示该溅镀室内的工件已完成溅镀。值得注意的是，一般二次溅镀制造工艺是工件进行第一次溅镀之后，需再经过冷 却制造工艺，防止以塑料基材为主的工件变形。故，转盘32上至少包括五个工作站，除了如 前一实施例中提及的四个工作站之外，更增设一第五工作站32e，配备一冷却装置31，用以 对工件进行冷却。工作站个数可依流程步骤的多少做增减。因此，在本实施例中为了确保工件在二 次溅镀时，塑料外壳及所镀的金属层不致因受热膨胀不一致而造成塑料外壳的变形，故在 本发明实施例中，除了前一实施例中提及的四个工作站之外，多出两个用以冷却的工作站 32e及32f，使工件可进行两次冷却。此外，也视制造工艺需要决定工件是否需要翻面，因 此，又添设一工作站32g，并配备一翻面机构35以对工件进行翻面，但也可依需要配备其他 设备。因此，本发明实施例中，在转盘32设置七个工作站32a 32g。而工作站32a 32g进行的程序及设备如下第一工作站32a及第三工作站32c 设有机械手臂36，以将工件装载于转盘32上或由转盘32卸载。第二工作站32b 设有上述溅镀腔体34及机械手臂36。机械手臂36用以将工件 由转盘32送入溅镀腔体34的溅镀室内进行溅镀。需注意的是，在第二工作站32b或位于溅镀腔体34入口的溅镀室二个位置中至少 须有一者为空，才能在转盘32与溅镀腔体34间装卸工件；第四工作站 32d 具有一检测装置38，用以对溅镀完成的工件进行检测；第五工作站32e及第六工作站32f 分别具有一第一冷却装置31及一第二冷却装 置33，用以对欲进行第二次溅镀的工件进行冷却；及第七工作站32g 可依制造工艺需要而改变配备必要的装置，在本发明实施例中 本站设有一翻面机构35，可用以对欲进行第二次溅镀的工件翻面。各工作站上设有非中心定位机构320。本实施例中，每个非中心定位机构320包括 一组水平定位夹持器3202及一组垂直定位夹持器3204，可根据批次工件尺寸调整后即固 定，亦可随工件形状尺寸放置载具。非中心定位机构320 —开始即根据工件的形状尺寸调 整设定。S205 调整转盘32上的非中心定位机构320，使该工件定位，并依该工件形状调整 该三机械手臂16的位置以抓取工件。其中，本发明实施例中，是设定非中心定位机构120 的水平定位夹持器1202及垂直定位夹持器1204的距离来使工件定位，但也可以不同的载 具代替。而在本发明实施例中，机械手臂36则是利用可调吸盘来抓取工件。因此，需调整 机械手臂36的可调吸盘位置后固定。并且依工件尺寸设定该可调吸盘一次抓取的工件个 数。同时依需要设定该转盘32每次旋转站数为一站或是两站，转盘32为顺时针或逆 时针旋转。在本发明实施例中，工作站的位置分布依顺时针方向为32a、32g、32b、32f、32d、 32c、32e，并设定转盘一次旋转两站。也就是说，在本实施例中，针对欲做两次溅镀制造工艺的某一工件而言， 其流程为32a(装载)一32b (第一次溅镀)一32d(检测)一32e (第一次冷 却)一32g (翻面)一32f (第二次冷却)一32c — 32a — 32b (第二次溅镀)一32d (检 测)一32e — 32g — 32f — 32c (卸载)。S210 设定转盘32以间歇式旋转，使该工件由一工作站旋转至另一工作站时即停 留一第一预定时间，同时也设定溅镀腔体34以间歇式旋转并停留一第二预定时间。在本发 明最佳实施例中，转盘32每旋转一次停止8 15秒以在各工作站进行不同制造工艺。在 本实施例中第二预定时间也是约8 15秒。S215 装载于转盘32上的工件被旋转至各工作站，当转盘32停止时，机械手臂36 之一载入工件于第一工作站32a的同时，机械手臂36之二自该溅镀腔体34内中之一第一 溅镀室341载入工件于第二工作站32b ；在第四工作站32d，以检测装置38对工件进行检 测，以控管工件在溅镀后的镀膜品质；在第五工作站32e以第一冷却装置31对工件进行第 一次冷却。本发明实施例中，更包括在第六工作站32f，以第二冷却装置33对工件进行第二 次冷却，以及在第七工作站32g，以翻面机构35对工件进行翻面。
本发明实施例中，假设第二工作站32b为空，但溅镀腔体34入口的溅镀室已存在 一溅镀完成的工件，则转盘32和溅镀腔体34之间装卸流程包括(1)将第一溅镀室341中 完成溅镀的工件卸载至第二工作站32b ； (2)间歇式旋转转盘32，将后续欲溅镀的工件转至 第二工作站12b ； (3)将第二工作站32b的工件载入第一溅镀室341进行溅镀；(4)溅镀腔 体34旋转一格(90度)，重复步骤(1) (4)，使工件可在第二工作站12b与溅镀腔体14 往复传送。
S220 转盘32间歇式旋转一次，该机械手臂之三自该第三工作站中已经过第二次 溅镀的工件卸载。要注意的是工件第一次经过第三工作站32c时，不做卸载工件的动作，与此同时 在第一工作站32a也不做装载动作，等到第三工作站32c做卸载动作时，第一工作站32a才 做装载。本实施例亦可适用以图3B的设备，进行非中心定位工件二次溅镀的连贯式制造 工艺，其中各工作站于转盘32上依顺时针方向之顺序为32a、32b、32d、32C、32e及32f，此 时转盘32设定每次以顺时针方向旋转一站，各工作站之功能同前述，可依流程多寡任意增 减。若该批次工件欲溅镀两次，则针对某一工件而言，其制造工艺流程为32a(装 载)一32b (第一次溅镀)一32d (检测)一32c —32e (第一次冷却)一32f (第二次冷 却)一32a — 32b (第二次溅镀)一32d (检测)一32c (卸载)。由上述流程可看出，在工件两次溅镀完成后于32c卸载，但须等到32a有空位时才 装载。值得注意的是，上述于不同工作站的制造工艺可同步进行，同时处理多个工件，且 相较于现有技术中，一次对多个工件进行溅镀的方式而言，以本发明的方法进行溅镀流程 所沉积的薄膜具有较佳的均勻性，虽然是一次镀一个工件，但在一溅镀腔体中包含复数个 溅镀室独立运作，可对不同时间送入的工件同时进行溅镀，故所费的时间相较于一次仅能 溅镀一个工件的现有技术而言，大大节省所费时间。再者，本发明利用非中心定位机构进行定位，可适用于各种不同形状尺寸工件的 溅镀制造工艺。且利用转盘来传送工件至不同的工作站，可藉由调整转盘上各工作站的位 置和个数，以及调整转盘的设定，来改变溅镀流程的步骤，在制造工艺流程调整上具有很大 的弹性。不限于本发明实施例中一次及二次溅镀的方法，也可适用于多次溅镀，或者若在一 次及二次溅镀流程中增设其他制造工艺，亦可适用。本发明虽以较佳实例阐明如上，然其并非用以限定本发明精神与发明实体仅止于 上述实施例。凡熟悉此项技术者，当可轻易了解并利用其它元件或方式来产生相同的功效。 因此，在不脱离本发明的精神与范畴内所作的修改，均应包含在权利要求范围内。
权利要求
一种连贯式溅镀方法，其特征在于，所述方法包括(a)提供一设备，所述设备包括一转盘，所述转盘设有至少3个工作站，以及复数个非中心定位机构，依所述这些工作站的位置分布，一溅镀腔体，其中，所述溅镀腔体内具有至少m个相互独立的溅镀室，且所述溅镀腔体可间歇式旋转，一机械手臂，用以将一工件由所述第二工作站载入至所述溅镀腔体内；(b)调整所述转盘上的所述这些非中心定位机构，使所述工件定位，及调整所述机械手臂的位置以抓取工件；(c)设定所述转盘以间歇式旋转，使所述工件由一工作站旋转至另一工作站时即停留一第一预定时间，同时也设定所述溅镀腔体以间歇式旋转并停留一第二预定时间；(d)装载于所述转盘上的所述这些工件被旋转至所述这些工作站，当所述转盘停止时，载入所述工件于所述第一工作站，同时，所述机械手臂自所述第二工作站载入所述工件于溅镀腔体其中的一第一溅镀室，所述溅镀腔体间歇式旋转一次以让所述机械手臂自所述溅镀腔体中一第二溅镀室载入另一工件于所述第二工作站；及(e)所述转盘再间歇式旋转一次，以使所述第三工作站的工件得以卸载。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤(a)中，所述设备还包括一输送装置， 所述输送装置可具有一第一输送装置及一第二输送装置，分别用来进料及出料，且所述输 送装置可以是输送带式、堆迭供料台或转盘式。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述转盘还包括一第四工作站，配备一检测 装置，以在工件溅镀后对所述工件进行检测。
4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，步骤(d)中还包括在所述第四工作站，以所 述检测装置对所述工件进行检测。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(b)还包括依所述这些工作站在转盘上 的位置分布，设定所述转盘每次旋转站数。
6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述非中心定位机构可由一组水平定位夹 持器及一组垂直定位夹持器组成，或为根据所述工件形状尺寸设计的载具。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述设备还包括二机械手臂，分别用以提供 将一工件传送至转盘上的所述第一工作站，及自所述第三工作站卸载所述工件。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述三机械手臂设有一可调吸盘。
9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，步骤(b)还包括，依工件尺寸设定所述可调 吸盘一次抓取的工件个数，以及调整所述可调吸盘的位置。
10.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一预定时间及所述第二预定时间为 8 15秒。
11.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述溅镀腔体内的所述第一溅镀室在所述 溅镀腔体间歇式旋转一圈之后，回到所述溅镀腔体的入口处，所述第一溅镀室内的工件完 成溅镀，并准备自所述第一溅镀室载入所述第二工作站。
12.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述转盘还包括一第五工作站及一第六工 作站，分别设置一第一冷却装置及一第二冷却装置，以在工件欲进行第二次溅镀前，先进行 两次冷却。
13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，步骤(d)还包括，所述第一冷却装置及所 述第二冷却装置对工件进行冷却。
14.如权利要求1所述的方法,其特征在于，所述转盘还包括一第七工作站，配备一翻 面机构，以对所述工件进行翻面。
全文摘要
本发明提供单一出入口溅镀机用于非中心定位工件的连贯式生产方法，此方法包括提供一设备，具有一转盘，一溅镀腔体，及机械手臂。溅镀腔体可旋转，且具有复数个相互独立溅镀室。接着，设定转盘以间歇式旋转，使工件由一工作站旋转至另一工作站时即停留一第一预定时间，同时也设定溅镀腔体以间歇式旋转并停留一第二预定时间；当转盘停止时，载入工件于第一工作站，同时，机械手臂自第二工作站载入工件于溅镀腔体其中的一第一溅镀室；转盘再间歇式旋转一次，以使该第三工作站的工件得以卸载。
文档编号C23C14/34GK101942643SQ20091015203
公开日2011年1月12日 申请日期2009年7月10日 优先权日2009年7月10日
发明者胡维彦, 郑兆希 申请人:向熙科技股份有限公司