专利名称：复合微粒制造设备与方法
技术领域：
本发明涉及使附着材料附着于微粒从而形成复合微粒的复合微粒制造设备与方 法。
背景技术：
此前，物理气相沉积方法(PVD)或化学气相沉积方法(CVD)用作使附着材料附 着于诸如微粒的被附着物的方法。CVD方法是通过化学反应在气相中使附着材料附着于 附着基板的方法。PVD方法是通过热气相沉积、溅射、离子电镀法等而使附着材料附着于被附着 物的方法。在CVD方法与PVD方法中，根据构成附着基板以及附着材料的材料而选择合适 的方法。如果被附着物是微粒，则使用附着材料的选择范围相对较宽的PVD方法。具 体地，频繁使用溅射方法。溅射方法是将阳极与阴极以及被附着物和附着材料(靶)一起排列于He气或Ar 气的气氛中的方法，其中被附着物和附着材料(靶)位于阳极和阴极之间。此外，在电 极之间施加电压，从而使附着材料从靶溅出并附着于被附着物。如果被附着物是微粒，人们提出了各种形式的溅射设备，以使附着材料均勻附 着于整个微粒。例如，提出了通过由旋转筒状台造成的离心力而将粉末压到旋转台的内 表面的制造复合微粒的方法。(例如参见日本专利特开2008-45197号公报)然而，由溅射方法造成的附着材料的附着在微粒表面上形成膜的速率低；因 此，需要长时间的处理。而且，生产率不能随着应用范围而得到提高。与此相比，通过PVD方法进行的加热气相沉积在被附着物上形成附着膜的速率 高，于是，生产率较高。然而，在附着材料位于上方而被附着物位于附着材料下方的状态中，加热气相 沉积无法提供附着。因此，为了通过加热气相沉积而使附着材料附着于被附着物，有必 要使被附着物布置于附着材料(气相沉积源)上方并加热附着材料以便蒸发。这种情况下，为使被附着物布置于气相沉积源上方，被附着物必须具有一定程 度的尺寸。例如，如果被附着物是基板等，则可以固定地吸取被附着物并允许被附着物 在上方面向气相沉积源。然而，如果被附着物是微粒，则难以将被附着物布置于气相沉 积源上方。而且，如果气相沉积源上方布置有多个微粒，则难以均勻地将被附着物沉积 到各个微粒上。如上所述，如果以难以布置于气相沉积源上方的微粒作为被附着物，则加热气相沉积不能使附着材料附着于微粒。在通过旋转筒状台以将复合微粒压向旋转台的内表面以实现溅射的上述方法 中，难以从筒状旋转台取出作为结果的复合微粒。因此，回收率较低。
发明内容
本发明期望提供能使附着材料沉积于微粒上并增加回收率的复合微粒制造设备 与方法。根据本发明的实施例，提供了一种复合微粒制造设备，其包括旋转体，其容 纳有允许附着材料附着的微粒，并具有底面、侧壁和法兰部；离心机，其使旋转体旋转 以对旋转体中的微粒施加离心力；倾斜变化装置，其用于将旋转体移动到任意倾斜角 度，使得旋转体的底面从垂直于重力方向的水平面形成平行于重力方向的垂直面；以及 搅拌装置，其在微粒从最高点落下的旋转侧上布置为更接近于垂直于从旋转体的旋转中 心以重力方向画出的垂线的水平线，而离垂线稍远。根据本发明的另一实施例，提供了一种复合微粒制造方法，该方法包括以下步 骤将微粒放置于旋转体中，该旋转体包括形成为盘状的底面、设于底面上的侧壁以及 与底面相对的法兰部；使旋转体旋转以对微粒施加离心力；使旋转体倾斜到任意角度， 从而使旋转体的底面处于垂直于重力方向的水平面与平行于重力方向的垂直面之间；使 附着材料附着于旋转体中的微粒；以及借助于搅拌装置搅拌旋转体中的微粒，所述搅拌 装置在微粒从最高点落下的旋转侧上布置为更接近于垂直于从旋转体的旋转中心沿重力 方向画出的垂线的水平线，而离垂线稍远。根据本发明的实施例的复合微粒制造设备与方法，对旋转体中的微粒施加离心 力并限定了搅拌装置的设置位置。于是，使附着材料容易均勻地附着于微粒的前表面， 并可抑制微粒从旋转体的落下，从而增加回收率。本发明可提供使附着材料容易附着于微粒且回收率较高的复合微粒制造设备与 方法。
图1表示根据本发明的实施例的复合微粒制造设备的构造；图2表示根据本发明的实施例的复合微粒制造方法的实施例；图3表示根据本发明的实施例的复合微粒制造方法的实施例；图4表示根据本发明的实施例的复合微粒制造方法的实施例；图5A 图5D表示根据本发明的实施例的复合微粒制造方法的实施例；图6表示根据本发明的实施例的复合微粒制造方法的实施例；图7A 图7C表示根据本发明的实施例的搅拌装置的实施例；图8表示根据本发明的实施例的复合微粒制造设备的实施例的构造；以及图9是表示本实施例的搅拌装置的设置角度与微粒回收率之间的关系的图。
具体实施例方式下面，参照附图描述本发明的优选实施例。然而，本发明不限于下面所描述的实施例。以下面的顺序进行描述1.复合微粒制造设备的实施例2.复合微粒制造方法3.搅拌装置1.复合微粒制造设备的实施例以下对根据本发明的实施例的复合微粒制造设备的具体实施例进行描述。图1是根据本实施例的复合微粒制造设备的示意性构造图。参照图1，复合微粒制造设备10包括旋转体11，其中放置有使附着材料附着 的微粒12;离心机13，其使旋转体11旋转；以及倾斜变化装置14，其以任意角度倾斜 并支撑旋转体11。不仅包括上述构造，设备10还包括未图示的用于搅拌微粒12的搅拌装置，其构 造在下面的复合微粒制造方法中详细描述。旋转体11包括底面11A、侧壁IlB以及布置于侧壁IlB —端以便面向底面IlA 的法兰部IlC。底面IlA形成为盘状，其中心部布置有离心机13。侧壁IlB布置于盘状底面IlA的圆周部，并形成为大致垂直于底面IlA而延 伸。法兰部IlC的中心部设有开口部30，微粒12被投送到开口部30中。倾斜变化装置14由转动支撑部件14A和使转动支撑部件14A转动的致动器14B 构成。致动器14B由诸如马达的驱动装置构成，并使转动支撑部件14A以任意角度转 动。转动支撑部件14A由这样的部件构成，即该部件可以支撑旋转体11和离心机13， 并通过驱动致动器14B而使旋转体11和离心机13以任意角度倾斜。离心机13布置于旋转体11的底面1IA与倾斜变化装置14的转动支撑部件14A 之间。旋转体11可与转动支撑部件14A—起旋转，且旋转体11可通过倾斜变化装置14 以任意角度倾斜。复合微粒制造机器10设有未图示的减压装置，从而附着材料可在减压状态下附 着于旋转体11中的微粒12。此外，复合微粒制造设备10包括未图示的气相沉积装置， 其使附着材料蒸发，从而使附着材料气相沉积于微粒12上。2.复合微粒制造方法下面描述使用如上所述的制造设备的复合微粒制造方法。如图1所示，在起动复合微粒制造设备10之前，旋转体11的底面IlA置于垂直 于重力方向的水平面上。将作为被附着物的微粒12从开口部30投入旋转体11。在投放微粒12期间，使旋转体11的底面IlA形成垂直于重力方向的水平面，这 样容易使微粒12容纳于其中。微粒12的直径从几μ m到几百ym，并可使用例如碳、硅、氧化物、氮化物和 有机物以及金属与合金。微粒12可使用的物质没有任何具体限制，只要所述物质具有微 粒形式并可进行气相沉积。如图2所示，随后通过驱动离心机13而使旋转体11旋转。旋转体11的旋转对容纳于旋转体11中的微粒12施加离心力，以将其压向旋转体11的侧壁11B。这样，对 微粒12施加离心力可使微粒12固定于旋转体11的侧壁IlB上。优选地，旋转体11的旋转速度处于使得侧壁IlB承受2G以上的力的速度，从 而，当旋转体11由倾斜变化装置14倾斜直到旋转体11的底面IlA变成平行于垂直方向 时，微粒12仍不会落下。具体地，旋转体11例如包括直径为40cm的底面11A、高度为IOcm的侧壁IlB 以及宽度为IOcm的法兰部11C，并以大约IOOrpm的转速旋转。旋转体11设有与底面IlA相对的法兰部11C。因此，即使旋转体11旋转，施 加有离心力的微粒12可固定于侧壁11B，而不会从旋转体11的内部飞出。参照图3，在随后操作离心机13以对旋转体11中的微粒12施加离心力的同时， 倾斜变化装置14使转动支撑部件14A转动。转动支撑部件14A转动以使旋转体11改变 至任意角度Θ，从而旋转体11的底面IlA从垂直于重力方向的水平面改变到平行于重力 方向的垂直面。如上所述，因为承受着足够的离心力，即使旋转体11的旋转方向变为垂直时， 由离心力而固定于侧壁IlB的微粒仍不会落下，而是停留于旋转体11的侧壁IlB上。为了易于使附着材料附着于被压向旋转体11的侧壁IlB的微粒12，旋转体11 的倾斜角度(转动支撑部件14A关于水平面的角度)θ关于垂直于重力方向的水平面为 45 135度。而且，倾斜角度θ优选地为80 100度，特别优选地为90度。如图4所示，气相沉积装置15布置于如上所述的复合微粒制造设备10中的预定 位置。气相沉积装置15容纳有附着材料15Α，并加热和蒸发附着材料15Α以形成附着材 料15Α的排放区域31。在该排放区域中，附着材料15Α可气相沉积于微粒12上。附着材料15Α可使用例如碳、硅、氧化物、氮化物和有机物以及金属与合金。 附着材料15Α可使用任何材料而无具体限制，只要所述材料可通过气相沉积装置蒸发并 可气相沉积于微粒12上。顺便提及，图4表示具有垂直地倾斜的底面IlA的旋转体11，并为了简化说明 而省略了复合微粒制造装置10的其它构造。本实施例的复合微粒制造设备设有搅拌装置16。该搅拌装置16用于在旋转体 11中搅拌被旋转体11的旋转所形成的离心力而压向侧壁IlB的微粒12。参照图5Α 图5D，在旋转体11旋转的同时，气相沉积装置15加热并使附着材 料15Α气相沉积，所述附着材料15Α附着于微粒12。不仅可具有图4所示的构造，图5Α 图5D所示的复合微粒制造设备10还在可 监视旋转体11中的微粒12的位置处设有膜厚监视器17，以测量附着于微粒12的附着材 料的膜厚。在图5Α 图5D所示的复合微粒制造设备10中，搅拌装置16包括平行于旋转 体11的侧壁IlB的支撑部件16Α和像梳齿一样以同一方向从支撑部件16Α突出的多个棒 状部件16Β。如图5Α所示，旋转体11首先由倾斜变化装置14倾斜，使得底面IlA平行于垂 直方向。气相沉积装置15布置于旋转体11中。加热容纳于气相沉积装置15中的附着 材料(沉积源)15Α以便使其蒸发。附着材料15Α的蒸发使得附着材料15Α开始气相沉
6积在微粒12上。如图5B所示，由离心力压向旋转体11中的侧壁IlB的微粒12穿过排放区域 31，即以已加热的附着材料15A蒸发的方向穿过。由于微粒12穿过排放区域31，已蒸 发的附着材料附着于压向侧壁IlB的多个微粒12中的暴露于旋转体11的中心侧前表面的 微粒12。附着材料附着于微粒12以形成复合微粒20。在制造复合微粒20时，微粒12由旋转体11的旋转造成的离心力而固定于侧壁 11B。微粒12可稳定地布置于已加热和蒸发的附着材料所排放的位置，即布置于气相沉 积装置15的上方。这样，使用加热气相沉积以使附着材料附着于微粒的前表面，以制造 复合微粒。于是，可增加复合微粒的制造效率。如图5C所示，随后使用搅拌装置16搅拌旋转体11中的微粒12。搅拌装置16 的棒状部件16B插入旋转体11中的微粒12中以与微粒12接触。该接触使得旋转体11 中尚未被沉积的微粒12取代已被沉积的前侧复合微粒20。如图5D所示，在通过膜厚监视器17测量附着于微粒12的附着材料的膜厚的同 时，制造出使附着材料以预定厚度附着于微粒12的复合微粒20。顺便提及，在一些情况下，取决于沉积条件等，由膜厚监视器17测得的附着材 料的膜厚的测量值可不同于实际附着于微粒12的附着材料的膜厚。因此，预先计算出由 膜厚监视器17测得的值与实际附着于微粒的附着材料的膜厚的测量值的比。基于此，可 计算出实际附着于微粒12的附着材料的膜厚。使用的搅拌装置16与微粒12和旋转体11中的复合微粒20接触，并搅拌被压向 并固定于侧壁IlB的微粒12。这使得靠近于侧壁IlB的微粒12取代了旋转体11的中心 处的微粒12。由气相沉积装置15使附着材料气相沉积的地方是微粒12的暴露于旋转体11的 中心方向的前表面。因此，如图5B所示，如果不搅拌微粒，则仅固定于侧壁IlB的微 粒12的前表面进行了气相沉积。于是，不能得到完全均勻的复合。通过搅拌而替换旋 转体11中的微粒12的位置，使旋转体11中的其它微粒12取代暴露于旋转体11的中心 方向的微粒12。微粒12的充分搅拌可进行完全均勻的气相沉积，从而制造出均勻的复合 微粒。参照图6，随后倾斜变化装置14使转动支撑部件14A转动，从而旋转体11的 底面IlA从平行于重力方向的垂直面移动到垂直于重力方向的水平面，且使离心机13停止。使离心机13停止以使旋转体11的旋转停止，从而压向侧壁IlB的复合微粒20 在重力方向上落下。回收已落下的复合微粒20。可通过如上所述的步骤制造复合微粒。根据如上所述的复合微粒制造方法，当回收复合微粒时，使旋转体转动，从而 使底面移动到垂直于重力方向的水平面。因此，可有效地回收通过上述方法制造的复合 微粒。顺便提及，在如上所述的复合微粒制造设备中，搅拌装置16包括平行于旋转体 11的侧壁IlB的支撑部件16A和像梳齿一样以同一方向从支撑部件16A突出的多个棒状 部件16B。然而，搅拌装置16可具有其它构造。
例如，如图7A所示，如果旋转体11中容纳的微粒12数量很多，则优选地使用 包括设有面部件18A的支撑部件18B的搅拌装置18，面部件18A与多个微粒12进行表 面接触。旋转体11以可对微粒12施加离心力的速度旋转。由于旋转微粒12和面部件 18A彼此进行表面接触，因此在使微粒12本身旋转的同时，位于前表面侧上的微粒12被 靠近于侧壁IlB的微粒12所取代。如图7B所示，如果旋转体中容纳的微粒数量少，则优选地使用包括设有多个棒 状部件19A的支撑部件19B的搅拌装置19，多个棒状部件19A与多个微粒12进行线接 触。通过将棒状部件19A插到所述微粒12中并使支撑部件19B在与旋转体11的旋转轴 同轴的方向上往复，可均勻地搅拌微粒12。如图7C所示，如果旋转体11中容纳的微粒12数量少，则优选地使用包括支撑 部件21B和从支撑部件21B突出以与多个微粒12进行点接触的多个棒状部件21A的搅拌 部件21。通过使棒状部件21A的远端与由于旋转体11的旋转而具有小的转动惯量的微 粒12点接触，可均勻地搅拌微粒12。3.搅拌装置在上述的复合微粒制造方法中，当微粒在旋转体中进行气相沉积时，可能无法 进行合适的搅拌。这种情况下，难以使附着材料以均勻的膜厚附着于微粒。如果搅拌强度高，则被压向旋转体的侧壁的微粒可能落下。另一方面，如果搅 拌强度低，在从侧壁起以任意厚度沉积的多个微粒中，附着材料仅气相沉积于位于前表 面处的微粒上。因此，难以制造出均勻的复合微粒。旋转体中的微粒因为与搅拌装置接触，故在旋转方向上的速度降低。这种情况 下，如果与搅拌装置相撞而在旋转方向上损失其速度的微粒不能恢复速度，则微粒不能 获得足够的离心力，从而在旋转期间会从旋转体落下。如果微粒从旋转体落下，则从装料(charge)估计的沉积量变得不精确，从而降 低了复合微粒的回收率。在图5A 图5D所示的上述复合微粒制造方法中，在通过膜 厚监视器检查沉积量的同时进行气相沉积。然而，如果微粒在沉积期间落下，则会改变 抽样输入，从而不能控制精确的沉积量。而且，如果微粒落入沉积源中，则会污染沉积 源。明显地，上述的微粒的速度降低和落下与微粒同旋转体中的搅拌装置之间的接 触位置有关。即使在同搅拌装置的接触使得微粒的速度降低的情况下，如果旋转使得微 粒的速度恢复，则会对压向旋转体的侧壁方向的微粒施加足够的离心力。因此，几乎不 出现微粒的落下。然而，如果不能使由于与搅拌装置的接触而减少的速度得到恢复，则 不能得到足够的离心力，从而微粒可能落下。下面考虑搅拌装置的设置位置影响微粒的速度的原因。与搅拌装置进行接触的微粒以随机的方向弹回。弹回的微粒受重力作用而落入旋转体中。落下位置根据弹回方向而不同。如果 微粒的落下位置是在旋转方向上的速度不能抵消落下速度的位置，则微粒的离心力仍然 维持。在微粒从最高点落下的旋转侧上，旋转方向上的速度不能抵消落下速度的位置 例如是从旋转体的旋转中心以重力方向画出的垂线与垂直于从旋转体的旋转中心以重力
8方向画出的垂线的水平线之间的位置。在图8所示的复合微粒制造设备中具体地对该位置加以标记。水平线定义为0 度，其在微粒12从最高点落下的旋转侧上从旋转体11的旋转中心画出。此外，垂线定 义为-90度，其从旋转体的旋转中心画出。这种情况下，在图8中，旋转方向上的速度 不能抵消落下速度的位置处于旋转体的重力方向上的垂线(-90度)与垂直于重力方向上 的垂线的水平线(0度)之间。如上所述，在旋转体的重力方向上的垂线(-90度)与垂直于重力方向上的垂线 的水平线(0度)之间的位置处，旋转体的旋转方向上的矢量与重力方向上的矢量具有相 同的分量。因此，这样的位置对应于使微粒落下的重力与旋转体的旋转方向不能彼此抵 消的方向。于是，微粒通过由离心力保持而停留于旋转体中。然而，如果微粒的落下位置为抵消离心力的位置，例如位于微粒从最低点、即 从图8中的旋转体的重力方向上的垂线起上升的方向中。这种情况下，旋转体的旋转方 向上的矢量具有与重力方向相反的矢量。因此，所述位置对应于使微粒落下的重力与旋 转体的旋转方向彼此抵消的方向。于是，微粒的速度减少，从而微粒不能由离心力保 持，从而引起微粒的落下。具体地，离心力被抵消处的微粒的落下位置对应于图8所示的复合微粒制造设 备中的从-90度到180度的位置。如上所述，如果微粒的落下位置位于从旋转体的重力方向上的垂线(-90度)起 的旋转方向侧，则微粒的落下速度抵消旋转体的旋转方向。微粒不能由离心力保持，从 而可能落下。上面描述了在设有搅拌装置的位置处的微粒的行为。实际中，诸如旋转体中的 微粒的接触、微粒的物理性质等多个因素是叠加在一起的。然而认为，在设有搅拌装置 的位置处的微粒的行为是微粒落下的关键因素。如上所述，搅拌装置设置为更接近于垂直于旋转体的重力方向上的垂线的水平 线(0度)，而离重力方向上的垂线(-90度)稍远。尽管微粒与搅拌装置相撞而损失旋转 方向上的速度，然而其在落下过程中承受由旋转体施加于旋转方向上的充分的离心力。 于是，可以避免微粒的落下。因此，根据微粒的物理性质而优化复合微粒制造设备、搅拌装置的旋转数和位 置。这样可避免由于微粒的落下造成的回收率的降低，以提供回收率的最大值并避免沉 积源的污染。[例子]基于下面例子具体地描述本发明。使用实际的复合微粒制造设备证明微粒的回收率。复合微粒制造设备配置为包括旋转体，该旋转体由直径为40cm的底面、高度为 IOcm的侧壁以及宽度为IOcm的法兰部构成。将每个包含铁作为主要成分并具有大约20 μ m的平均直径的微粒投入旋转体。 微粒的装料量使得由离心力压向侧壁的微粒具有3 4cm的高度。在该例子中，在旋转体由倾斜变化装置倾斜从而旋转体的底面形成平行于重力 方向的垂直面的状态中，在对微粒施加足够的离心力的同时，改变搅拌装置的设置角度，并仅进行搅拌处理两个小时而不进行沉积处理。随后，在搅拌处理之后检查停留于 旋转体中的微粒的回收率。将从旋转轴的水平方向定义为0度，并将重力方向的垂直位置定义为-90度，通 过从15度到-90度每隔15度而改变搅拌装置的设置角度，检查回收率以进行比较。图9表示搅拌装置的设置角度与微粒的回收率之间的关系。如果搅拌装置设置于对应于-90度的位置，则回收率为大约90%。换言之，由 于落下等原因，大约10%的微粒不能回收。然而，如果搅拌装置设置于对应于-75度的 位置，则与搅拌装置设置于对应于-90度的位置的情况相比提高了回收率。该结果表明 可通过下述办法而减少微粒的落下，从而提高回收率。即，搅拌装置设置为更接近于对 应于0度的位置，而离-90度的位置稍远，S卩，更接近于垂直于垂线的水平线，而离垂线 较远，所述垂线从旋转体的旋转轴以重力方向画出。如果搅拌装置设置于对应于-15与-60度之间的位置，则回收率大约为98%， 即显著地提高。为了避免由于搅拌造成的微粒的落下，在微粒从最高点落下的旋转方向 侧，搅拌装置设置于距从旋转体的旋转中心画出的水平线-15度与距从旋转体的旋转中 心画出的水平线-60度之间。通过将搅拌装置设置于对应于-60度以下的位置，确保了与搅拌装置接触且弹 回的微粒的落下位置处于-90度以下。这提高了回收率。顺便提及，如果搅拌装置设置更接近于最高点(90度)侧，而离0度稍远，则与 搅拌装置接触并弹回的微粒落下更接近于0度而非-90度。因此，尽管由于离心力稍微 降低而导致回收率令人满意，然而从设备的角度来看这样的设置不是优选的。因此，在该实验条件中，搅拌装置设置于从-15度到-60度的范围。因此，即 使微粒与搅拌装置相撞而损失旋转方向上的速度，其在旋转方向上的落下过程中受到由 旋转体造成的足够的离心力。于是，可以避免由于微粒从容器落下而造成的回收率的降 低，并抑制由于微粒落入沉积源中而造成的对沉积源的污染。本发明不限于上述实施例。本领域的技术人员应当明白，在不脱离所附权利要 求及其等同物的范围内，取决于设计需要和其它因素可出现各种变化、组合、子组合和替代。
权利要求
1.一种复合微粒制造设备，其包括旋转体，其用于容纳允许附着有附着材料的微粒，并具有底面、侧壁和法兰部；离心机，其用于使所述旋转体旋转，以对所述旋转体中的所述微粒施加离心力；倾斜变化装置，其用于将所述旋转体移动到任意倾斜角度，从而使所述旋转体的所 述底面从垂直于所述重力方向的水平面形成平行于重力方向的垂直面；以及搅拌装置，其在所述微粒从最高点落下的旋转侧上布置为更接近于垂直于从所述旋 转体的旋转中心以重力方向画出的垂线的水平线，而离所述垂线较远。
2.如权利要求1所述的复合微粒制造设备，其中，所述搅拌装置布置为更接近于从所述旋转体的所述旋转中心以所述重力方向 画出的所述垂线，而离垂直于所述垂线的水平线较远。
3.如权利要求2所述的复合微粒制造设备，其中，如果在所述旋转体中将所述水平线定义为0度并将所述垂线定义为-90度，则 所述搅拌装置布置于-15度与-60度之间。
4.如权利要求1所述的复合微粒制造设备，其中，所述搅拌装置具有与所述旋转体中的多个所述微粒形成表面接触、线接触或 点接触的形状。
5.—种复合微粒制造方法，其包括以下步骤将微粒放置于旋转体中，所述旋转体包括形成为盘状的底面、设于所述底面上的侧 壁以及与所述底面相对的法兰部；旋转所述旋转体，以对所述微粒施加离心力；将所述旋转体倾斜到任意角度，从而使所述旋转体的所述底面处于垂直于重力方向 的水平面与平行于所述重力方向的垂直面之间；使附着材料附着于所述旋转体中的所述微粒；以及通过搅拌装置搅拌所述旋转体中的所述微粒，所述搅拌装置在微粒从最高点落下的 旋转侧上布置为更接近于垂直于从所述旋转体的所述旋转中心以所述重力方向画出的垂 线的水平线，而离所述垂线较远。
6.如权利要求5所述的复合微粒制造方法，其中，通过使所述旋转体倾斜到使承受所述离心力的所述微粒不会在所述重力方向 上落下的角度，进行所述的使所述附着材料附着于所述微粒的步骤。
全文摘要
本发明提供了一种复合微粒制造设备，其包括旋转体，其容纳允许附着有附着材料的微粒并具有底面、侧壁以及法兰部；离心机，其使旋转体旋转以对旋转体中的微粒施加离心力；倾斜变化装置，其将旋转体移动到任意倾斜角度，从而旋转体的底面从垂直于重力方向的水平面形成平行于重力方向的垂直面；以及搅拌装置，其在微粒从最高点落下的旋转侧上布置为更接近于垂直于从旋转体的旋转中心以重力方向画出的垂线的水平线，而离垂线较远。本发明可以使附着材料容易均匀地附着于微粒的前表面，并可抑制微粒从旋转体的落下，从而增加回收率。
文档编号C23C16/44GK102019420SQ201010270500
公开日2011年4月20日 申请日期2010年9月2日 优先权日2009年9月11日
发明者本村勇人, 须藤业, 香取健二 申请人:索尼公司