具有角度补正机构的磨边机载台装置的制作方法

文档序号:3367474阅读:131来源:国知局
专利名称:具有角度补正机构的磨边机载台装置的制作方法
技术领域
本发明涉及一种磨边机,特别涉及一种具有角度补正机构的磨边机载台装置。
背景技术
请参考图1,表示现有磨边机载台的立体外观图;现有的磨边机载台10在磨边制程中,在进行玻璃基板(面板,图未示)磨边前,必须要先进行玻璃基板定位的程序;亦艮口,将玻璃基板传送到两侧的气浮装置11上,于气浮装置11真空吸附而定位后,以对位 CCD (Charge-coupled Device,中文全称电荷耦合元件)进行取像,再计算输出补正角度值,之后便令气浮装置11真空破坏且造成气浮,并驱动位于该载台10中央部份的旋转基座 12上升,以令该玻璃基板脱离该气浮装置11,再驱动马达(图未示)转动旋转基座12以补正该玻璃基板的角度至计算后的预定角度,然后再驱动旋转基座12下降,而将该玻璃基板交付给气浮装置11并将该玻璃基板予以真空吸附,以利后续对位CCD进行取像的动作。若再次取像并计算该玻璃基板的角度不符合预设值时,该磨边机载台10便要再重复进行前述的玻璃基板定位程序,直到该玻璃基板的角度符合预设值,此时,方可进行玻璃基板的磨边作业。由于旋转基座12上升、下降或转动,以及气浮装置11对玻璃基板进行真空吸附, 难免会有机械误差产生;使得该玻璃基板的定位程序往往要执行至少两次,导致整体的作业工时拉长,生产成本增加,而有再加以改进的必要。基于上述问题,发明人提出了一种具有角度补正机构的磨边机载台装置,以克服现有技术的缺陷。

发明内容
本发明一目的在于提供一种通过角度补正机构对基板进行角度补正的磨边机载
台装直ο本发明的另一目的,在于提供一种可缩短工时,且降低成本的磨边机载台装置。为达上述目的,本发明提供一种具有角度补正机构的磨边机载台装置,其包括一基座,其连设于一旋转盘上,而该旋转盘枢设于一旋转盘固定座;及一角度补正机构,其架设于该基座与该旋转盘固定座之间,该角度补正机构包括有一固定板、一枢动板、一致动器及一从动器,而该固定板连设于该旋转盘固定座,该枢动板枢接于该固定板,该致动器固设于该枢动板,并通过该从动器枢接该基座;利用该致动器的动力而驱动该从动器运动,使得该基座能够相对该旋转盘固定座作旋转,进而对一承载于该基座上的基板进行角度的补正。所述的磨边载台装置,其中,该从动器包括有一导螺杆及一螺套,而该导螺杆枢穿该螺套,当该致动器令该导螺杆转动时,该螺套能够在导螺杆上移动,而带动该基座相对该旋转盘固定座作旋转。所述的磨边载台装置,其中,该螺套突设有一支撑柱,使得该从动器通过该支撑柱而枢接该基座。所述的磨边载台装置,其中,枢动板突设有一枢轴、该固定板设有一枢孔,凭借该枢轴与该枢孔的组配,而令该固定板枢接该枢动板。所述的磨边载台装置,其中,尚包括有一弧形导轨,其架设于该枢动板与该固定板之间。所述的磨边载台装置,其中,该弧形导轨包括有一弧形滑槽及与该弧形滑槽相组配的一弧形滑轨,而该弧形滑槽固设于该枢动板,该弧形滑轨固设于该固定板。所述的磨边载台装置,其中,尚包括有两个挡块,其分别设置在该弧形导轨两端, 用以限制该弧形导轨的最大滑动行程。所述的磨边载台装置,其中,尚包括有一气浮装置,其架设于该基座上,用于承载该基板。所述的磨边载台装置,其中,该基板为一玻璃基板。所述的磨边载台装置,其中,该致动器为一伺服马达。


图1表示现有磨边机载台的立体外观图;图2表示本发明磨边机载台的立体外观图;图3表示本发明磨边机载台的部分立体外观图;图4表示本发明磨边机载台装置的角度补正机构的立体图;图5表示本发明磨边机载台装置的角度补正机构的部分分解图。附图标记说明10-磨边机载台;11-气浮装置;12-旋转基座;1-磨边机载台; 2-角度补正机构;21-致动器;22-从动器;221-导螺杆;222-螺套;223-支撑柱;23-固定板;231-枢孔;24-枢动板;241-枢轴;3-基座;31-旋转盘;32-旋转盘固定座;33-线性轨;4-弧形导轨;41-弧形滑槽;42-弧形滑轨;51-挡块;52-挡块;θ -角度。
具体实施例方式虽然本发明使用了几个较佳实施例进行解释,但是下列附图及具体实施方式
仅仅是本发明的较佳实施例;应说明的是,下面所揭示的具体实施方式
仅仅是本发明的例子,并不表示本发明限于下列附图及具体实施方式
。请同时参考图2至图5,其中,图2表示本发明磨边机载台的立体外观图,图3表示本发明磨边机载台的部分立体外观图,图4表示本发明磨边机载台装置的角度补正机构的立体图,图5表示本发明磨边机载台装置的角度补正机构的部分分解图。本发明的磨边机载台1如图2所示,至少包括一角度补正机构2及一基座3。基座3大致呈矩形结构,其连设于一旋转盘31上,而旋转盘31枢设于一旋转盘固定座32 ;而基座3上具有相对应设置的两个线性轨33,其可设置一用以承载基板(图未示; 如玻璃基板等)的装置(图中未示;如气浮装置)。角度补正机构2架设于该基座3与该旋转盘固定座32之间,该角度补正机构2包括一致动器21、一从动器22、一固定板23及一枢动板24,而致动器21可为一伺服马达,致动器21与从动器22设置在枢动板M上,从动器22包括一导螺杆221及一螺套222,而导螺杆221枢穿螺套222,当致动器21令导螺杆221转动时,螺套222便可在导螺杆221上移动,而可带动基座3相对旋转盘固定座32作旋转;致动器21连接导螺杆221的一端,螺套222突设有一支撑柱223,使得从动器22可通过支撑柱223而枢接基座3,固定板23连设于旋转盘固定座32,枢动板M枢接于固定板23,致动器21固设于枢动板M,并通过从动器22而枢接基座3 ;枢动板M突设有一枢轴Ml,固定板23设有一枢孔231,凭借枢轴Ml 与枢孔231的组配,而令固定板23可枢接枢动板24。磨边载台装置1更包括有一弧形导轨4,其架设于枢动板对与固定板23之间,弧形导轨4包括有一弧形滑槽41及与该弧形滑槽41相组配的一弧形滑轨42,而弧形滑槽41 固设于枢动板对,弧形滑轨42固设于固定板23。再者,磨边载台装置1尚包括有两个挡块51、52,其分别设置在弧形导轨4两端,用以限制该弧形导轨4的最大滑动行程。因此,在需要进行角度补正时,通过致动器21驱动从动器22导螺杆221转动,并带动螺套222线性移动,同时通过弧形导轨4的弧形滑槽41与弧形滑轨42的相对作用,使枢动板M下的弧形滑槽41随着弧形滑轨42并带动枢动板M作一 θ角的微幅转动,进而带动载台1的基座3以旋转盘31的中心做一 θ角的微幅转动,以进行角度的补正。当然,前述θ角度的取得,可以根据对位CCD撷取影像以进行计算所获得。凭借上述的结构,并相较于现有技术,本发明的角度补正机构2直接地以对磨边机载台1的基座3进行θ角的补正。亦即,本发明在执行基板定位程序过程中,基板一直吸附在气浮置上,而无需如现有技术所述的必需通过旋转基座(如图1的12)上升、下降或转动,以及配合气浮装置(如图1的11)对基板进行真空吸附或破真空等反复动作。因此,本发明相较现有技术,于执行基板磨边前的定位程序时至少可减少2. 5秒的时间,而可达到缩减工时、降低成本的功效。虽然本发明以相关的较佳实施例进行解释,但是这并不构成对本发明的限制。应说明的是,本领域的技术人员根据本发明的思想能够构造出很多其他类似实施例,这些均在本发明的保护范围之中。
权利要求
1.一种具有角度补正机构的磨边机载台装置,其特征在于,包括一基座,其连设于一旋转盘上,而该旋转盘枢设于一旋转盘固定座;及一角度补正机构,其架设于该基座与该旋转盘固定座之间,该角度补正机构包括有一固定板、一枢动板、一致动器及一从动器,而该固定板连设于该旋转盘固定座,该枢动板枢接于该固定板,该致动器固设于该枢动板,并通过该从动器枢接该基座;利用该致动器的动力而驱动该从动器运动,使得该基座能够相对该旋转盘固定座作旋转,进而对一承载于该基座上的基板进行角度的补正。
2.根据权利要求1所述的磨边载台装置,其特征在于,该从动器包括有一导螺杆及一螺套,而该导螺杆枢穿该螺套,当该致动器令该导螺杆转动时,该螺套能够在导螺杆上移动,而带动该基座相对该旋转盘固定座作旋转。
3.根据权利要求2所述的磨边载台装置,其特征在于,该螺套突设有一支撑柱,使得该从动器通过该支撑柱而枢接该基座。
4.根据权利要求1所述的磨边载台装置,其特征在于,枢动板突设有一枢轴、该固定板设有一枢孔,凭借该枢轴与该枢孔的组配,而令该固定板枢接该枢动板。
5.根据权利要求1所述的磨边载台装置,其特征在于,尚包括有一弧形导轨,其架设于该枢动板与该固定板之间。
6.根据权利要求5所述的磨边载台装置,其特征在于,该弧形导轨包括有一弧形滑槽及与该弧形滑槽相组配的一弧形滑轨,而该弧形滑槽固设于该枢动板,该弧形滑轨固设于该固定板。
7.根据权利要求5所述的磨边载台装置,其特征在于,尚包括有两个挡块,其分别设置在该弧形导轨两端,用以限制该弧形导轨的最大滑动行程。
8.根据权利要求1所述的磨边载台装置,其特征在于,尚包括有一气浮装置,其架设于该基座上,用于承载该基板。
9.根据权利要求8所述的磨边载台装置,其特征在于,该基板为一玻璃基板。
10.根据权利要求1所述的磨边载台装置,其特征在于,该致动器为一伺服马达。
全文摘要
本发明揭示了一种具有角度补正机构的磨边机载台装置,凭借致动器驱动从动器的导螺杆转动,并带动螺套线性移动,同时凭借弧形导轨的弧形滑槽与弧形滑轨的相对作用,使枢动板下的弧形滑槽随着弧形滑轨并带动枢动板作θ角的微幅转动,进而带动载台的基座以旋转盘的中心做θ角的微幅转动,以进行角度的补正,进而达到缩短工时及降低成本的功效。
文档编号B24B9/08GK102476335SQ20101056615
公开日2012年5月30日 申请日期2010年11月24日 优先权日2010年11月24日
发明者丁伟伦, 李龙生, 杨宗霖, 江炳洛, 王土城, 蔡启勋, 连振东 申请人:均豪精密工业股份有限公司
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