热丝cvd钨丝固定拉直张紧机构的制作方法

文档序号:3387201阅读:320来源:国知局
专利名称:热丝cvd钨丝固定拉直张紧机构的制作方法
技术领域
本实用新型涉及ー种钨丝固定拉直张紧机构,特别涉及ー种热丝CVD钨丝固定拉直张紧机构。
背景技术
人造钻石是ー种由直径10到30纳米的钻石结晶聚合而成的多结晶钻石,在上世纪五十年代ー种叫化学气相沉淀(CVD)的制造合成钻石的方法被成功研发出来,热丝CVD 系统中化学反应的能量是靠钨丝发热提供的,衬底也是靠钨丝的热辐射而加热到一定的生长温度的,因而钨丝的形状影响着钨丝与衬底的距离。在人造钻石沉淀积聚时,钨丝由于发热温度较高会不断的发生形变,从而导致钨丝与衬底的水平距离不一致,造成产出的钻石品质下降。

实用新型内容本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足,从而提供ー种使用方便的热丝 CVD钨丝固定拉直张紧机构。本实用新型的技术方案—种热丝CVD钨丝固定拉直张紧机构,包含有左支撑架、右支撑架、钨丝、正极钥棒、负极钥棒,所述正、负极目棒固定在左、右支撑架的相对端,鹤丝一端固定在正极钥棒上,另一端安放在负极钥棒上,并与ー个角钢形状的拉直张紧机构的竖端固紧,角钢形状的拉直张紧机构的竖直端和水平端固接处设有ー铰链,所述铰链固定在右支撑架厚度中,在角钢形拉直张紧机构可围绕该铰链旋转,角钢形拉直张紧机构的水平端连接有ー个配重。角钢形状的拉直张紧机构的水平端与竖直端的夹角为15° 165°。热丝CVD钨丝固定拉直张紧机构被包含于CVD反应室中,在钨丝正下面设置有沉积台。本实用新型的有益效果是本实用新型的热丝CVD钨丝固定拉直张紧机构,结构简单,易于推广,巧妙的利用了杠杆原理,采用ー个张直拉紧机构使加热钨丝一直保持张紧拉直的状态,从而有效的保持了钨丝与衬底的水平距离的一致,极大的保证了所生产钻石的品质。

图I是本实用新型的热丝CVD钨丝固定拉直张紧机构的剖视结构示意图。图中标号I为CVD反应室,标号2为负极钥棒,标号3为拉直张紧机构,标号4为铰链,标号5为右支撑架,标号6为配重,标号7为沉积台,标号8为左支撑架,标号9为正极钥棒,标号10为钨丝。
具体实施方式
參见图1,一种热丝CVD钨丝固定拉直张紧机构被包含于CVD反应室I里,[0015]CVD反应室I内固定有左、右支撑架8和5,在左、右支撑架上分别设有正极钥棒9 和负极钥棒2,钨丝10的一端固定在正极钥棒9上,另一端安放在负极钥棒2上并与直角的角钢形状的拉直张紧机构3的竖端固紧,角钢形状的拉直张紧机构3的竖直端和水平端固接处设有ー铰链4,铰链4固定在右支撑架5厚度中,在角钢形拉直张紧机构3可围绕铰链4旋转,角钢形拉直张紧机构的水平端连接有一个配重6,由于配重的重力作用,使得角钢形拉直张紧机构3 —直拉直钨丝10,使得钨丝10与其正下方的沉积台7的距离保持一致,从而保证了生长出来的钻石的品质。
权利要求1.一种热丝CVD钨丝固定拉直张紧机构,包含有左支撑架、右支撑架、钨丝、正极钥棒、 负极钥棒,其特征是所述正、负极目棒固定在左、右支撑架的相对端,钨丝一端固定在正极钥棒上,另一端安放在负极钥棒上,并与ー个角钢形状的拉直张紧机构的竖端固紫,角钢形状的拉直张紧机构的竖直端和水平端固接处设有ー铰链,所述铰链固定在右支撑架厚度中,在角钢形拉直张紧机构可围绕该铰链旋转,角钢形拉直张紧机构的水平端连接有ー个配重。
2.根据权利要求I所述的热丝CVD钨丝固定拉直张紧机构,其特征是所述角钢形状的拉直张紧机构的水平端与竖直端的夹角为15° 165°。
3.根据权利要求I所述的热丝CVD钨丝固定拉直张紧机构,其特征是所述热丝CVD钨丝固定拉直张紧机构被包含于CVD反应室中,在钨丝正下面设置有沉积台。
专利摘要一种热丝CVD钨丝固定拉直张紧机构,包含有左支撑架、右支撑架、钨丝、正极钼棒、负极钼棒,所述正、负极目棒固定在左、右支撑架的相对端,钨丝一端固定在正极钼棒上,另一端安放在负极钼棒上,并与一个角钢形状的拉直张紧机构的竖端固紧,角钢形状的拉直张紧机构的竖直端和水平端固接处设有一铰链,所述铰链固定在右支撑架厚度中,在角钢形拉直张紧机构可围绕该铰链旋转,角钢形拉直张紧机构的水平端连接有一个配重,本实用新型的热丝CVD钨丝固定拉直张紧机构有效的保持了钨丝与衬底的水平距离的一致,极大的保证了所生产钻石的品质。
文档编号C23C16/48GK202337820SQ20112048460
公开日2012年7月18日 申请日期2011年11月29日 优先权日2011年11月29日
发明者温峰城, 苑执中 申请人:台钻科技(郑州)有限公司
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