专利名称：溅镀设备人机介面自动抽气系统的制作方法
技术领域：
本发明属于溅镀设备人机界面自动抽气系统，具体涉及实验型镀膜设备薄膜沉积机制。
背景技术：
现有PVD等离子体物理气象沉积设备是借助在靶极上通入高电压直流、交流或射频电源来离子化工作气体(通常为氩气等惰性气体)，以产生等离子体，等离子体受电场影响使负离子轰击靶面，靶原子或分子获得动能向一定方向飞溅，并沉积薄膜于对向的基片上。于人机接口上通常无一自动程序可完成前置抽气作业，而使人员需自行判断压力值以开启相对应阀门及帮浦，再作业上极易发生错误，而导致设备损坏或影响实验进行，浪费人力及无法节约实验成本。
发明内容
综上所述，为了克服现有技术不足，本发明的主要目的在于提供溅镀设备人机接口自动抽气系统。为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是:
溅镀设备人机界面自动抽气系统，通过人机界面设置相对应按键以启动自动抽气系统，并透过继电器电路来启动帮浦，再利用压力传感器回馈信号至PLC以判断是否与设定值相同及是否需要结束程序或继续执行。综上所述本发明利用现有机制搭配自行撰写的程控达到节约成本的效果、制作方便。
图1系为本发明接口流程图。图2系为本发明方块图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明做进一步说明。请参阅图1所示,派镀设备人机界面自动抽气系统，如图1所示:自动抽气系统启动后，开启相对应阀门，启动RP帮浦，启动BP帮浦，压力传感器侦测实际压力值是否与设定值相同以决定是否开启主阀，主阀开启后启动TP帮浦，同时压力传感器持续侦测以决定是否可结束抽气程序程序。请参阅图2所示，溅镀设备人机界面自动抽气系统原理图，如图2所示:经由人机接口下指令，PLC启动相对应的继电器电路以启动相对应的帮浦进行不同阶段的抽气动作，之后再由压力传感器进行不同阶段的压力侦测以决定是否进行下一级抽气或结束程序。综上所述，动作皆在幕后执行，使用者无需自行判断何时需启动不同的帮浦，只需要设定不同阶段帮浦启动的压力设定值即可，达到自动抽气的目的，无需人员操作。
以上所述实例是对本发明技术方案的说明而非限制，所属技术领域普通技术人员的等同替换或者根据现有技术而做的修改，只要未超出本发明技术方案的思路和范围，均应包含在本发明的权力要·求范围之内。
权利要求
1.溅镀设备人机界面自动抽气系统，其特征在于通过继电器电路及压力传感器回授信号，来做为启动或关闭帮浦的动作。
2.根据权利要求I所述之溅镀设备人机界面自动抽气系统，其特征在于压力侦测为.O.05拖尔启动TP帮浦。
3.根据权利要求I所述之溅镀设备人机界面自动抽气系统，其特征在于结束动作的压力侦测为O. 005拖尔。
全文摘要
本发明系提供溅镀设备人机介面自动抽气系统，通过人机介面设置相对应按键以启动自动抽气系统，并透过继电器电路来启动帮浦，再利用压力传感器回馈信号至PLC以判断是否与设定值相同及是否需要结束程式或继续执行。综上所述本发明利用现有机制搭配自行撰写的程式控制达到节约成本的效果、制作方便。
文档编号C23C14/54GK103255378SQ20121003657
公开日2013年8月21日 申请日期2012年2月19日 优先权日2012年2月19日
发明者周文彬, 刘幼海, 刘吉人 申请人:吉富新能源科技(上海)有限公司