专利名称：真空镀膜用的输入电极自动接合机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及等离子增强化学气相沉积技术，特别涉及一种真空镀膜用的输入电极自动接合机构。
背景技术：
等离子增强化学气相沉积(PECVD)是在电源(包括射频电源、直流电源或交流电源等)接通的条件下通入相关气体，生成的薄膜沉积在基底上，可应用于半导体、太阳能、显示器及电子应用的设备中。由于该工艺没有环境污染产生，没有化学污水排放，同时消耗功率低，效率较高，因此逐步被应用。然而，目前射频输入电极使用时，一般需要靠人工将其接合后才能使用，其操作麻烦，人工资源耗费也大，同时使得等离子增强化学气相沉积工艺 的效率低下。
实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种射频输入电机自动接合机构，该机构的使用可减少人工操作，有效提高等离子增强化学气相沉积工艺的生产效率。本实用新型的技术方案为一种真空镀膜用的输入电极自动接合机构，包括固定电极、动电极、射频接入件和气动件，固定电极与真空室的室腔固定连接，动电极设于固定电极下方，动电极伸入真空室的外壁，动电极与真空室外壁的相接处设有密封件，密封件外周依次设置水冷套和绝缘套，动电极下端设置射频接入件，动电极下端通过绝缘隔离件与气动件连接，固定电极外周设有上屏蔽件，动电极外周设有下屏蔽件。所述真空室为等离子增强化学气相沉积室，包括沉积室腔和真空室壁，真空室壁设于沉积室腔外周；其中，沉积室腔为真空室的室腔，真空室壁为真空室的外壁。所述上屏蔽件和下屏蔽件相接，固定电极固定于上屏蔽件中部，动电极滑动于下屏蔽件中部。本真空镀膜用的输入电极自动接合机构使用时，其原理是当工件进入真空室进行等离子增强化学气相沉积时，系统的驱动机构驱动气动件动作，气动件末端驱使动电极滑动并与固定电极相接，射频机构通过射频接入件即可进行等离子增强化学气相沉积。本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果本输入电极自动接合机构采用气动件(包括气缸形式等)驱动使固定电极和动电极自动接合，将其应用于等离子增强化学气相沉积工艺，可有效提高生产效率；同时，减少人工操作，有效降低生产成本。
图I为本输入电极自动接合机构的结构示意图。
具体实施方式
[0011]下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。实施例本实施例一种真空镀膜用的输入电极自动接合机构，其结构如图I所示，包括固定电极I、动电极2、射频接入件3和气动件4，固定电极与真空室的室腔5固定连接，动电极设于固定电极下方，动电极伸入真空室的外壁6，动电极与真空室外壁的相接处设有密封件7，密封件外周依次设置水冷套8和绝缘套9，动电极下端设置射频接入件，动电极下端通过绝缘隔离件10与气动件连接，固定电极外周设有上屏蔽件11，动电极外周设有下屏蔽件12。真空室为等离子增强化学气相沉积室，包括沉积室腔和真空室壁，真空室壁设于 沉积室腔外周；其中，沉积室腔为真空室的室腔，真空室壁为真空室的外壁。上屏蔽件和下屏蔽件相接，固定电极固定于上屏蔽件中部，动电极滑动于下屏蔽件中部。本真空镀膜用的输入电极自动接合机构使用时，其原理是当工件进入真空室进行等离子增强化学气相沉积时，系统的驱动机构驱动气动件动作，气动件末端驱使动电极滑动并与固定电极相接，射频机构通过射频接入件即可进行等离子增强化学气相沉积。如上所述，便可较好地实现本实用新型，上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围；即凡依本实用新型内容所作的均等变化与修饰，都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。
权利要求1.真空镀膜用的输入电极自动接合机构，其特征在于，包括固定电极、动电极、射频接入件和气动件，固定电极与真空室的室腔固定连接，动电极设于固定电极下方，动电极伸入真空室的外壁，动电极与真空室外壁的相接处设有密封件，密封件外周依次设置水冷套和绝缘套，动电极下端设置射频接入件，动电极下端通过绝缘隔离件与气动件连接，固定电极外周设有上屏蔽件，动电极外周设有下屏蔽件。
2.根据权利要求I所述的真空镀膜用的输入电极自动接合机构，其特征在于，所述真空室为等离子增强化学气相沉积室，包括沉积室腔和真空室壁，真空室壁设于沉积室腔外周；其中，沉积室腔为真空室的室腔，真空室壁为真空室的外壁。
3.根据权利要求I所述的真空镀膜用的输入电极自动接合机构，其特征在于，所述上屏蔽件和下屏蔽件相接，固定电极固定于上屏蔽件中部，动电极滑动于下屏蔽件中部。
专利摘要本实用新型公开一种真空镀膜用的输入电极自动接合机构，包括固定电极、动电极、射频接入件和气动件，固定电极与真空室的室腔固定连接，动电极设于固定电极下方，动电极伸入真空室的外壁，动电极与真空室外壁的相接处设有密封件，密封件外周依次设置水冷套和绝缘套，动电极下端设置射频接入件，动电极下端通过绝缘隔离件与气动件连接，固定电极外周设有上屏蔽件，动电极外周设有下屏蔽件。本输入电极自动接合机构采用气动件(包括气缸形式等)驱动使固定电极和动电极自动接合，将其应用于等离子增强化学气相沉积工艺，可有效提高生产效率；同时，减少人工操作，有效降低生产成本。
文档编号C23C16/505GK202465871SQ20122005004
公开日2012年10月3日 申请日期2012年2月16日 优先权日2012年2月16日
发明者朱刚劲, 朱刚毅, 朱文廓 申请人:肇庆市腾胜真空技术工程有限公司