专利名称：晶圆加热装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种晶圆加热装置，特别涉及一种能够加热晶圆，使其广生沉积薄膜的加热装置。
背景技术：
在半导体制作过程中，要加热一晶圆(Wafer)，其是利用一晶圆加热装置，以对晶圆进行加热，而晶圆加热的目的在于化学气相沉积(Chemical vapor deposition, CVD),其是为了沉积(deposit) —些积体电路所需要的薄膜(oxide film),但为了使晶圆能达到均温及减少热应力，使晶圆能有较佳的均温性，故晶圆加热装置具有相当的影响性。 现有的晶圆加热装置，其具有一柱体，柱体的顶端耦接有一呈圆形的加热座，加热座设有至少一呈环形的加热管，加热管的一端延伸至柱体中，加热座进一步具有至少四推杆，该四推杆为陶瓷所制，该四推杆能够选择性延伸至加热座的外部，并且该四推杆设于加热座的四位置能够构成一矩形。如上所述，四推杆突伸至加热座的外部，一机械手臂将一晶圆移至四推杆的顶端，而后机械手臂与晶圆相分离，柱体上升，以使加热座与晶圆二者相互贴合，四推杆缩回加热座中。另一实施例，则为四推杆缩回加热座中，以使加热座与晶圆二者相互贴合。加热管对晶圆加热，使晶圆达到一设定温度，而沉积一具有一厚度的薄膜。综合上述，现有的晶圆加热装置具有下述缺点I、当单一推杆，因某种原因，而产生断裂时，其余三根推杆仍可撑住晶圆，而使工作人员无法立即察觉推杆断裂的情况。2、推杆断裂时所产生的陶瓷碎片会掉落至加热座，该陶瓷碎片会使加热座与晶圆二者无法紧密贴合，故晶圆无法达到设定温度，或者受热不均匀，导致所沉积的薄膜的厚度不对或不均匀，更有甚者，可能导致晶圆的产品合格率降低，或者报废。3、承第I点所述，当工作人员发现问题时，往往已经过一段时间，对晶圆制作过程来说，可能已有数百片或数千片晶圆已报废，对厂商而言，可能造成相当程度的损失。
发明内容本实用新型的目的即在提供一种当发生推杆断裂问题时，工作人员能立即发现的晶圆加热装置，以避免上述缺点的产生。为达上述目的，本实用新型提出了一种晶圆加热装置，其包含有一加热座；一立柱，其一端耦接所述加热座的底端；一加热管，设于所述加热座中，所述加热管的一端延伸至所述立柱中；以及三个推杆，其能够选择性由所述加热座的顶端突伸至所述加热座外部，并且以一纵向设于所述加热座中。[0017]本实用新型提出的晶圆加热装置，其特征在于，所述三个推杆的任二个推杆之间的距离为一设定距离。本实用新型提出的晶圆加热装置，其特征在于，所述设定距离为一等距。本实用新型提出的晶圆加热装置，其特征在于，所述三个推杆的任二个推杆之间
具有一设定夹角。本实用新型提出的晶圆加热装置，其特征在于，所述设定夹角为一等角。本实用新型提出的晶圆加热装置，其特征在于，所述三个推杆设于该加热座的位置能够构成一等角三角形。本实用新型提出的晶圆加热装置，其特征在于，所述加热管为一环形。 综合上述，本实用新型的有益效果在于，通过本实用新型提出的晶圆加热装置，当任一推杆产生断裂时，其余推杆无法支撑晶圆，晶圆会产生倾斜，所以输送装置，如机械手臂，会产生有碰撞，其有可能导致晶圆破裂，或输送装置发出故障警报，而使工作人员能立即发现异常状态，所以至多一个晶圆的半成品会于该过程中产生报废，从而能降低厂商的损失。
图I为本实用新型的一种晶圆加热器的立体示意图。图2为本实用新型的晶圆加热器的剖面示意图。附图标记说明1_加热座；2_立柱；3_加热管；4_推杆。
具体实施方式
以下结合附图，对本实用新型上述的和另外的技术特征和优点作更详细的说明。请配合参考图I与图2所示，本实用新型的一种晶圆加热装置，其包含有一加热座I、一立柱2、一加热管3与三个推杆4。立柱2的一端耦接加热座I的底端。加热管3设于加热座I中，加热管I的一端延伸至立柱2中，并且该端能够选择性延伸至立柱2的外部，加热管3为一环形。推杆4能够选择性由加热座I的顶端突伸至加热座I外部，并且以一纵向设于加热座I中，而三个推杆于加热座I的位置分布，举例而言，三个推杆的任二个推杆之间的距离为一设定距离，该设定距离为一等距；或者，三个推杆的任二个推杆之间具有一设定夹角，设定夹角为一等角；又或者，三个推杆设于加热座I的位置能够构成一等角三角形。推杆4突伸至加热座I外部，一输送装置将一晶圆移至推杆4的顶端，输送装置与晶圆相分离，立柱2上升，以使加热座I与晶圆二者相互贴合，推杆4缩回加热座I中；或者，推杆4缩回加热座I中，以使加热座I与晶圆二者相互贴合。加热管3对晶圆加热，以使晶圆均匀受热，进而使晶圆产生一沉积的薄膜，该薄膜
具有一厚度。如上所述，本实用新型使用的三个推杆4，构成一足以承载晶圆的平面，若其一推杆产生断裂时，前述的平面则不复存在，故其余的推杆不能支撑晶圆，而使晶圆产生倾斜的情况，工作人员可立即判断出推杆产生断裂。[0035]或者，输送装置会因断裂的推杆，而产生有碰撞的情况，其有可能导致晶圆破裂，输送装置发出故障警报，以立即通知工作人员生产线具有异常状态。如上所述，于该过程中，仅至多一个晶圆的半成品会于该过程中产生报废，工作人员已立即发现异常状况，故能降低厂商的损失。因工作人员能够立即发现断裂的推杆，所以晶圆于尚未加热前，就已被发现有异 常状态，故晶圆不可能产生有受热未均匀或达到设定温度，而导致所沉积的薄膜的厚度不对或不均匀问题，或者使晶圆的产品合格率降低或报废的问题亦不可能产生。以上说明对本实用新型而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离以下所附权利要求所限定的精神和范围的情况下，可做出许多修改，变化，或等效，但都将落入本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种晶圆加热装置，其特征在于，包含有 一加热座； 一立柱，其一端耦接所述加热座的底端； 一加热管，其设于所述加热座中，所述加热管的一端延伸至所述立柱中；以及三个推杆，其能够选择性由所述加热座的顶端突伸至所述加热座外部，并且以一纵向设于所述加热座中。
2.根据权利要求I所述的晶圆加热装置，其特征在于，所述三个推杆的任二个推杆之间的距离为一设定距离。
3.根据权利要求2所述的晶圆加热装置，其特征在于，所述设定距离为一等距。
4.根据权利要求I所述的晶圆加热装置，其特征在于，所述三个推杆的任二个推杆之间具有一设定夹角。
5.根据权利要求4所述的晶圆加热装置，其特征在于，所述设定夹角为一等角。
6.根据权利要求I所述的晶圆加热装置，其特征在于，所述三个推杆设于该加热座的位置能够构成一等角三角形。
7.根据权利要求I所述的晶圆加热装置，其特征在于，所述加热管为一环形。
专利摘要一种晶圆加热装置，其具有一加热座，该加热座的底端耦接有一立柱，该加热座中设有一加热管与三个推杆，该三个推杆能够选择性延伸至加热座外部，以支撑移动中的晶圆；当三个推杆中的任一推杆断裂损坏时，其余的二个推杆将无法支撑移动中的晶圆，使工作人员能立即发现推杆断裂的问题，而立即停工检修，故能避免后续将要加热的晶圆继续进行加热，免除将要加热的晶圆因推杆断裂而损坏。
文档编号C23C16/46GK202519328SQ201220146298
公开日2012年11月7日 申请日期2012年4月9日 优先权日2012年4月9日
发明者彭康琪 申请人:煜诠科技有限公司