沉积装置以及使用该装置制造有机发光显示器的方法
【专利摘要】一种沉积装置，包括：沉积源，用于接收沉积材料；和多个喷嘴，沿着第一方向设置在沉积源的一侧以用于将沉积材料喷射到相对的基板上。沉积源包括：中心区域和外侧区域，其中外侧区域位于中心区域的、有关于第一方向的相应端部。喷嘴包括：第一喷嘴，设置在各个外侧区域并且从沉积源往向外延伸，形成第一喷嘴的一端部的表面在第一方向上与基板表面形成第一倾斜角。
【专利说明】沉积装置以及使用该装置制造有机发光显示器的方法
【技术领域】
[0001]本实施方式涉及沉积装置以及使用该装置制造有机发光(OLED)显示器的方法。
【背景技术】
[0002]在显示设备中，有机发光显示器具有宽视角、优异的对比度和快的响应速度。因此，有机发光显示器作为下一代显示设备而备受瞩目。
[0003]通常，有机发光显示器具有将发光层插入到阳极与阴极之间以呈现色彩的结构。从阳极和阴极发射的空穴和电子在发光层中重新结合从而实现光发射。此外，为了提供更好的发光效率，可以选择性地将中间层插入到各个电极与发光层之间，例如选择性地将电子注入层(EIL)、电子传输层(ETL)、空穴传输层(HTL)和空穴注入层(HIL)插入到各个电极与发光层之间。
【发明内容】
[0004]实施方式涉及沉积装置，包括:用于接收沉积材料的沉积源；和沿着第一方向设置在沉积源的一侧以用于将沉积材料喷射到相对的基板上的多个喷嘴。沉积源包括中心区域和多个外侧区域，其中外侧区域位于中心区域在第一方向上的相应端部。多个喷嘴包括多个第一喷嘴，设置在所述多个外侧区域并且从沉积源向外延伸，用于形成第一喷嘴的一端部的表面在第一方向上与基板表面形成第一倾斜角。
[0005]基板在第一方向上的中心可以与沉积源在第一方向上的中心对齐。沉积源的中心区域在第一方向上可以具有满足如下条件的长度:
【权利要求】
1.一种沉积装置，包括: 沉积源，用于接纳沉积材料；以及 多个喷嘴，沿着第一方向设置在所述沉积源的一侧以用于将所述沉积材料喷射到相对的基板上， 其中， 所述沉积源包括中心区域和多个外侧区域，其中所述外侧区域位于所述中心区域在所述第一方向上的相应端部；并且 所述多个喷嘴包括多个第一喷嘴，所述第一喷嘴设置在所述多个外侧区域并且从所述沉积源向外延伸，其中用于形成每个所述第一喷嘴的一端部的表面在所述第一方向上与基板表面形成第一倾斜角。
2.根据权利要求1所述的沉积装置，其中， 在所述第一方向上的所述基板的中心与在所述第一方向上的所述沉积源的中心对齐，并且 所述沉积源的所述中心区域在所述第一方向的长度满足如下条件:
3.根据权利要求1所述的沉积装置，其中， 所述第一倾斜角在43至53度范围内。
4.根据权利要求1所述的沉积装置，其中， 所述第一倾斜角在25至35度范围内。
5.根据权利要求3所述的沉积装置，其中， 设置在所述中心区域的所述多个第二喷嘴在所述沉积源的外侧方向上倾斜，从而使得用于形成各个所述第二喷嘴的一端部的表面在所述第一方向上相对于所述基板表面具有第二倾斜角，并且 所述第二倾斜角小于所述第一倾斜角。
6.根据权利要求1所述的沉积装置，其中， 在所述第一方向上，多个所述第一喷嘴相对于所述沉积源的中心被对称地设置。
7.—种有机发光显不器的制造方法,包括: 提供沉积装置，其包括用于接纳沉积材料的沉积源和沿着第一方向设置在所述沉积源的一侧以用于将所述沉积材料喷射到基板上的多个喷嘴； 将所述基板设置成面对所述喷嘴；以及 当在与第一方向相交的第二方向上移动所述沉积源期间，通过所述喷嘴喷射所述沉积材料， 其中， 所述沉积源包括中心区域和多个外侧区域，其中所述外侧区域位于所述中心区域在所述第一方向上的相应端部；并且所述多个喷嘴的多个第一喷嘴设置在各个外侧区域，在所述第一方向上以第一倾斜角从所述沉积源喷射所述沉积材料。
8.根据权利要求7所述的方法，其中， 所述第一喷嘴包括:用于形成其一端部的表面，所述表面相对于所述基板的表面在外侧方向上倾斜，并且在所述第一方向上具有第一倾斜角。
9.根据权利要求7所述的方法，其中， 所述基板在所述第一方向上的中心与所述沉积源在所述第一方向上的中心对齐，并且 所述中心区域在所述第一方向上具有满足如下条件的长度:
10.根据权利要求8所述的方法，其中， 所述第一倾斜角在43至53度范围内。
11.根据权利要求8所述的方法，其中， 所述第一倾斜角在25至35度范围内。
12.根据权利要求7所述的方法，其中， 在所述第一方向上，所述第一喷嘴相对于所述沉积源的中心被对称地设置。
13.根据权利要求7所述的方法，其中， 第二喷嘴设置在所述中心区域并且在所述沉积源的外侧方向上倾斜， 形成所述第二喷嘴的一端部的表面在所述第一方向上相对于所述基板表面具有第二倾斜角，并且 所述第二倾斜角小于所述第一倾斜角。
【文档编号】C23C16/455GK103710682SQ201310362008
【公开日】2014年4月9日 申请日期:2013年8月19日 优先权日:2012年10月9日
【发明者】李相信 申请人:三星显示有限公司