一种有蜡抛光的抛光垫专用刷子的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种有蜡抛光的抛光垫专用刷子，包括圆盘状的刷体，所述刷体的顶面带有若干凸起或凹陷，所述刷体的底面分布有刷毛，所述刷毛呈环形分布，所述刷体的材质为聚氯乙烯，所述刷毛的材质为尼龙。本实用新型的有益效果是：由于采用上述技术方案，保持了抛光垫的洁净，保持了抛光速率和抛光质量，也提高了抛光垫的使用寿命。由此可见，本方案的使用提高了产品的合格率和生产效率，同时减低了能耗，节约了成本，提高了效益。
【专利说明】一种有蜡抛光的抛光垫专用刷子
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种刷子，尤其是涉及一种有蜡抛光的抛光垫专用刷子。
【背景技术】
[0002]硅片进行有蜡抛光后，需用用刷子对抛光垫进行刷洗，以防止抛光液在抛光垫上长时间滞留而形成结晶，而结晶会对硅片产生损伤，降低抛光质量。另外，对抛光垫进行刷洗有助于其表面结构的回复，延长了抛光垫的使用寿命，也保证了硅片抛光效果的一致性。现有的刷子是设备自带的一小型刷子，每次抛光完成后会自动对抛光垫进行刷洗，但其不能彻底清除抛光垫表面空隙中残余的抛光液和细微的结晶，不利于抛光垫表面结构的回复。另外，由于自带刷子尺寸较小，刷洗过程中使得抛光垫受力不均，这会对抛光垫的表面状态产生一定影响。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的是提供一种结构简单、提高抛光质量的有蜡抛光的抛光垫专用刷子。
[0004]本实用新型的技术方案是:一种有蜡抛光的抛光垫专用刷子，包括圆盘状的刷体，所述刷体的顶面带有若干凸起或凹陷，所述刷体的底面分布有刷毛，所述刷毛呈环形分布。
[0005]优选地，所述刷体的材质为聚氯乙烯，所述刷毛的材质为尼龙。
[0006]优选地，所述刷体的直径为48cm,厚度为3cm,所述刷毛的长度为1.5cm。
[0007]本实用新型具有的优点和积极效果是:
[0008]由于采用上述技术方案，保持了抛光垫的洁净，保持了抛光速率和抛光质量，也提高了抛光垫的使用寿命。由此可见，本方案的使用提高了产品的合格率和生产效率，同时减低了能耗，节约了成本，提高了效益。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型的结构示意图；
[0010]图2是本实用新型的仰视图；
[0011]图3是本实用新型的俯视图。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图及【具体实施方式】对本实用新型作进一步说明。
[0013]如图1至图3所示，本实用新型包括圆盘状的刷体1，所述刷体I的顶面带有若干凹陷，所述刷体I的底面分布有刷毛2，所述刷毛2呈环形分布。
[0014]所述刷体I的材质为聚氯乙烯，所述刷毛2的材质为尼龙。
[0015]所述刷体I的直径为48cm,厚度为3cm,所述刷毛2的长度为1.5cm。
[0016]使用时，将本实用新型放置在待清洁的抛光垫上，将机械臂与本实用新型的顶面相连接(可以通过吸附的方式连接)，带动本实用新型以一定的运动轨迹运动，对旋转的抛光垫进行清洗。本实用新型对抛光垫上的抛光液和结晶清洁得更为彻底，而且有助于抛光垫表面绒孔结构的回复，有助于延长抛光垫的使用寿命和抛光质量的提高。
[0017]实验一:选择200片相同的6寸娃片进行试验，晶向〈111〉，拉晶方式:FZ,掺杂兀素:P，厚度:630632 μ m。下表为使用本实用新型前后检测项的数值。
【权利要求】
1.一种有蜡抛光的抛光垫专用刷子，其特征在于:包括圆盘状的刷体(1)，所述刷体(I)的顶面带有若干凸起或凹陷，所述刷体(I)的底面分布有刷毛(2)，所述刷毛(2)呈环形分布。
2.根据权利要求1所述的有蜡抛光的抛光垫专用刷子，其特征在于:所述刷体(I)的材质为聚氯乙烯，所述刷毛(2)的材质为尼龙。
3.根据权利要求1或2所述的有蜡抛光的抛光垫专用刷子，其特征在于:所述刷体(I)的直径为48cm，厚度为3cm，所述刷毛(2)的长度为1.5cm。
【文档编号】B24D13/14GK203765483SQ201320803485
【公开日】2014年8月13日 申请日期:2013年12月5日 优先权日:2013年12月5日
【发明者】张宇, 王力, 石明, 曲涛, 李翔 申请人:天津中环领先材料技术有限公司