一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法
【专利摘要】本发明公开了一种高织构热解碳薄膜快速制备的方法，包括下述步骤：(1)将密度为1.85～1.90g/cm3的碳/碳复合材料靶材表面加工平整，清洗表面油渍备用；(2)将碳/碳复合材料靶材置平整的石墨板上，使激光束聚焦于碳/碳复合材料靶材表面，激光束与碳/碳复合材料靶材表面保持垂直；(3)采用大功率激光，快速加热、气化碳/碳复合材料靶材中的碳元素，形成气态碳原子，并在温度≥2000℃热壁上着床、生长,制备出高织构热解碳薄膜。本发明通过采用大功率激光促进高织构热解碳薄膜的生长，使热解碳薄膜的生长速率达到25～30μm/s，比流态化床工艺的2×10-2μm/s提高3个数量级。
【专利说明】一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种热解碳薄膜的制备方法，特别是一种高织构热解碳薄膜的激光促进快速气相生长方法。
【背景技术】
[0002]热解碳具有独特的物理、化学性质，如低密度、耐高温、抗中子辐射、导热性能好等，广泛应用于航天航空、核能、生物医学等领域。热解碳一般采用有机气体在高温下裂解生成，可用的有机气体包括乙炔、丙烯、丁二烯、甲烷等，制备方式主要有固定床和流态化床工艺，通过控制碳源气体浓度、流量、热解温度、以及流化状态等工艺条件，获得不同结构的热解碳产物。由于含碳有机气体在高温下的裂解反应属于复杂的聚合与裂变反应，反应的过程无法实时监控，导致热解碳产物中存在碳黑等结构缺陷，热解碳织构难以控制，且由于受含碳有机气体的扩散和传输控制，热解碳的生长速率缓慢，一般在2 X 10_2 μ m/s左右，难以满足快速制备高性能的高织构热解碳的要求，需要发展新型的热解碳制备技术。
[0003]以碳/碳复合材料为原料，通过激光加热，快速制备得到高织构热解碳薄膜的方法，在现有技术中还未见报道。
【发明内容】
[0004]本发明的目的在于克服现有技术之不足而提供一种快速制备高织构热解碳薄膜的方法。
[0005]本发明一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，以碳/碳复合材料坯体为原料，以大功率激光器为热源，将激光束聚焦于碳/碳复合材料坯体表面进行加热，待表面烧蚀形成开口后，调节激光焦距，使激光束延伸至碳/碳复合材料坯体中，形成倒圆锥状容腔，在倒圆锥状容腔形成过程中，碳/碳复合材料坯体中的碳被激光加热气化，气化后的碳元素沉积于倒圆锥状容腔的壁上，生长成为高织构热解碳薄膜。
[0006]本发明一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，所述碳/碳复合材料坯体为干燥且表面平整、清洁的碳/碳复合材料坯体。
[0007]本发明一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，所述碳/碳复合材料坯体的密度为 1.85 ?1.90g/cm3。
[0008]本发明一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，所述大功率激光器激光波长为10.6 μ m，工作输出功率为3?4.5kffo
[0009]本发明一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，所述大功率激光器为针板放电型横流0)2激光器。
[0010]本发明一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，在激光束与碳/碳复合材料坯体表面相交的位置，喷施惰性气体。
[0011]本发明一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，喷施的惰性气体压强为0.2-0.4Mpa0
[0012]本发明一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，所述倒圆锥状容腔与开口构成倒圆锥状孔，倒圆锥状孔的底面即为开口，其直径为5?10mm，倒圆锥状孔的孔高为10?15mm0
[0013]本发明一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，，沉积于倒圆锥状容腔的壁上的高织构热解碳薄膜的厚度为50-150 μ m，优选为100?120 μ m。
[0014]本发明一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，沉积于倒圆锥状容腔的壁上的高织构热解碳薄膜与碳/碳复合材料坯体形成结合紧密的冶金结合。
[0015]本发明一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，通过喷施压强为0.2-0.4Mpa的氩气，保护工件免受氧化。
[0016]本发明一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，所述倒圆锥状孔采用激光钻孔方式成型，激光束首先聚焦于碳/碳复合材料坯体的上表面以下2mm处，烧出开口后，激光束的焦点垂直向下延伸至上表面以下6_处，形成倒圆锥状容腔，与此同时，碳/碳复合材料坯体中的碳被激光加热气化，气化后的碳元素沉积于倒圆锥状容腔壁温度多2000°C的部位，生长成为高织构热解碳薄膜。
[0017]本发明一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，气化后的碳元素沉积于倒圆锥状容腔壁上温度为1800-2000°C的部位，生长成为高织构热解碳薄膜。
[0018]本发明一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，所述碳/碳复合材料坯体中的碳被激光加热气化并生长为热解碳薄膜，全过程耗时为2?5秒。
[0019]本发明一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，所述热解碳薄膜的生长速率为25 ?30 μ m/s。
[0020]本发明一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，沉积于倒圆锥状容腔的壁上的高织构热解碳薄膜经高温处理后，其石墨化度为多85%，所述高温处理的温度为2200-2250°C。
[0021]本发明的机理简述如下:
[0022]本发明采用大功率激光作用于碳/碳复合材料靶材，一方面利用激光在短时集聚的高能量，使碳/碳复合材料靶材局部区域的碳元素气化，提供热解碳薄膜生长所需的气态碳原子。另一方面，加热倒圆锥状孔的内壁温度至多2000°C，提供高温气相生长床，促进气态碳原子着床、快速生长为高织构热解碳薄膜。
[0023]本发明由于采用上述工艺方法，因而，具有如下优点和积极效果:
[0024]1、采用碳/碳复合材料作为靶材提供的纯净碳源气体，相比于现有方法采用含碳有机气体在高温下的裂解反应得到的碳源气体，纯净度更高，热解碳产物杂质含量更少，热解碳薄膜结构更可控。
[0025]2、采用的倒圆锥状孔开口大、容腔小，使容腔中被激光加热气化后的气体在所喷施氩气的高压下受到压缩，形成正压，促进热解碳薄膜的快速沉积。
[0026]3、通过喷施压强为0.2-0.4Mpa的氩气，使工件被激光加热的高温部位与周围空气隔绝，保护工件免受氧化。同时封堵倒圆锥状孔的开口，使得倒圆锥状孔内生成的气化碳沿倒圆锥状孔壁流动吸附，并迅速沉积并致密化、从而在倒圆锥状孔的壁上快速升高织构热解碳薄膜。
[0027]4、采用大功率激光，快速加热、气化碳原子并使其生长为高织构热解碳薄膜，全过程耗时仅为2?5秒，热解碳薄膜的生长速率达到25?30 μ m/s,生长速率比流态化床工艺的2 X 10_2 μ m/s提高3个数量级。
[0028]3、采用大功率激光，在快速气化碳原子的同时加热生长床，使气化后的碳原子在温度多2000°C热壁上着床、生长，有利于获得高织构的热解碳薄膜。
[0029]4、采用本发明，将密度为1.86g/cm3的碳/碳复合材料靶材，经波长为10.6μπκ输出功率为5.5kff的激光促进快速制备高织构热解碳薄膜，热解碳薄膜的生长速率达到26 μ m/s，比流态化床工艺的2X 10_2 μπι/s提高3个数量级。
[0030]综上所述，本发明提供的高织构热解碳薄膜的快速制备方法，通过采用大功率激光，在快速气化碳原子的同时加热生长床，使气化后的碳原子在温度多2000°C热壁上着床、生长，获得高织构的热解碳薄膜。
【专利附图】
【附图说明】
[0031]附图1为本发明的高织构热解碳薄膜的快速气相生长原理示意图
[0032]附图2为实施例3所制备的高织构热解碳薄膜
[0033]图1中:1-碳/碳复合材料，2-激光束，3-高织构热解碳薄膜。
[0034]图2中:1-碳/碳复合材料，3-高织构热解碳薄膜。
【具体实施方式】
[0035]实施例中热解碳的沉积速率是通过测量碳纤维表面热解碳的厚度，再除以沉积时间得到。
[0036]实施例1:
[0037](I)将密度为1.85g/cm3的碳/碳复合材料靶材表面加工平整，清洗表面油渍备用；
[0038](2)将碳/碳复合材料靶材置平整的石墨板上，使激光束聚焦于碳/碳复合材料靶材表面，激光束与碳/碳复合材料勒!材表面保持垂直；
[0039](3)将激光束聚焦于碳/碳复合材料坯体表面进行加热，同时在激光束与碳/碳复合材料坯体表面相交的位置，喷施压力为0.2MPa的惰性气体；待表面烧蚀形成开口后，继续喷施惰性气体，并调节激光焦距使激光束延伸至碳/碳复合材料坯体中，形成倒圆锥状容腔，所述倒圆锥状容腔与开口构成倒圆锥状孔，倒圆锥状孔的底面即为开口，其直径为7mm，倒圆锥状孔的孔高为13mm。倒圆锥状孔开口大、容腔小，使容腔中被激光加热气化后的气体在所喷施氩气的高压下受到压缩，形成正压，促进热解碳薄膜的快速沉积；
[0040](4)采用大功率激光，快速加热、气化碳/碳复合材料靶材中的碳元素，形成气态碳原子，并在温度为多2000°C热壁上着床、生长成为高织构热解碳薄膜。控制激光波长为10.6 μ m、输出功率为5.2kW，加热时间为3秒，得到热解碳薄膜的厚度为75 μ m。
[0041]本发明通过采用大功率激光促进高织构热解碳薄膜的气相生长过程，使热解碳薄膜的生长速率达到25 μπι/s，热解碳薄膜经2200°C高温处理后的石墨化度为86.3%，生长速率比流态化床工艺的2X 10_2 μπι/s提高3个数量级。
[0042]实施例2:
[0043](I)将密度为1.88g/cm3的碳/碳复合材料靶材表面加工平整，清洗表面油渍备用；
[0044](2)将碳/碳复合材料靶材置平整的石墨板上，使激光束聚焦于碳/碳复合材料靶材表面，激光束与碳/碳复合材料勒!材表面保持垂直；
[0045](3)将激光束聚焦于碳/碳复合材料坯体表面进行加热，同时在激光束与碳/碳复合材料坯体表面相交的位置，喷施压力为0.3MPa的惰性气体；待表面烧蚀形成开口后，继续喷施惰性气体，并调节激光焦距使激光束延伸至碳/碳复合材料坯体中，形成倒圆锥状容腔，所述倒圆锥状容腔与开口构成倒圆锥状孔，倒圆锥状孔的底面即为开口，其直径为6mm，倒圆锥状孔的孔高为10mm。倒圆锥状孔开口大、容腔小，使容腔中被激光加热气化后的气体在所喷施氩气的高压下受到压缩，形成正压，促进热解碳薄膜的快速沉积；
[0046](4)采用大功率激光，快速加热、气化碳/碳复合材料靶材中的碳元素，形成气态碳原子，并在温度多2000°C热壁上着床、生长成为高织构热解碳薄膜。控制激光波长为10.6 μ m、输出功率为4.6kW，加热时间为2秒，得到热解碳薄膜的厚度为50 μ m。
[0047]本发明通过采用大功率激光促进高织构热解碳薄膜的气相生长过程，使热解碳薄膜的生长速率达到25 yrn/s，热解碳薄膜经2200°C高温处理后的石墨化度为87.1%，生长速率比流态化床工艺的2X 10_2 μπι/s提高3个数量级。
[0048]实施例3:
[0049](I)将密度为1.86g/cm3的碳/碳复合材料靶材表面加工平整，清洗表面油渍备用；
[0050](2)将碳/碳复合材料靶材置平整的石墨板上，使激光束聚焦于碳/碳复合材料靶材表面，激光束与碳/碳复合材料勒!材表面保持垂直；
[0051](3)将激光束聚焦于碳/碳复合材料坯体表面进行加热，同时在激光束与碳/碳复合材料坯体表面相交的位置，喷施压力为0.4MPa的惰性气体；待表面烧蚀形成开口后，继续喷施惰性气体，并调节激光焦距使激光束延伸至碳/碳复合材料坯体中，形成倒圆锥状容腔，所述倒圆锥状容腔与开口构成倒圆锥状孔，倒圆锥状孔的底面即为开口，其直径为9mm，倒圆锥状孔的孔高为15mm。倒圆锥状孔开口大、容腔小，使容腔中被激光加热气化后的气体在所喷施氩气的高压下受到压缩，形成正压，促进热解碳薄膜的快速沉积；
[0052](4)采用大功率激光，快速加热、气化碳/碳复合材料靶材中的碳元素，形成气态碳原子，并在温度多2000°C热壁上着床、生长成为高织构热解碳薄膜。控制激光波长为10.6 μ m、输出功率为5.5kW，加热时间为4秒，得到热解碳薄膜的厚度为104 μ m。
[0053]本发明通过采用大功率激光促进高织构热解碳薄膜的气相生长过程，使热解碳薄膜的生长速率达到26 μπι/s，热解碳薄膜经2200°C高温处理后的石墨化度为85.2%，生长速率比流态化床工艺的2X 10_2 μπι/s提高3个数量级。
[0054]实施例4:
[0055](I)将密度为1.89g/cm3的碳/碳复合材料靶材表面加工平整，清洗表面油渍备用；
[0056](2)将碳/碳复合材料靶材置平整的石墨板上，使激光束聚焦于碳/碳复合材料靶材表面，激光束与碳/碳复合材料勒!材表面保持垂直；
[0057](3)将激光束聚焦于碳/碳复合材料坯体表面进行加热，同时在激光束与碳/碳复合材料坯体表面相交的位置，喷施压力为0.25MPa的惰性气体；待表面烧蚀形成开口后，继续喷施惰性气体，并调节激光焦距使激光束延伸至碳/碳复合材料坯体中，形成倒圆锥状容腔，所述倒圆锥状容腔与开口构成倒圆锥状孔，倒圆锥状孔的底面即为开口，其直径为9mm，倒圆锥状孔的孔高为14mm。倒圆锥状孔开口大、容腔小，使容腔中被激光加热气化后的气体在所喷施氩气的高压下受到压缩，形成正压，促进热解碳薄膜的快速沉积；
[0058](4)采用大功率激光，快速加热、气化碳/碳复合材料靶材中的碳元素，形成气态碳原子，并在温度多2000°C热壁上着床、生长成为高织构热解碳薄膜。控制激光波长为10.6 μ m、输出功率为5.3kW，加热时间为4秒，得到热解碳薄膜的厚度为116 μ m。
[0059]本发明通过采用大功率激光促进高织构热解碳薄膜的气相生长过程，使热解碳薄膜的生长速率达到29 μπι/s，热解碳薄膜经2200°C高温处理后的石墨化度为86.7%，生长速率比流态化床工艺的2X 10_2 μπι/s提高3个数量级。
[0060]实施例5:
[0061](I)将密度为1.90g/cm3的碳/碳复合材料靶材表面加工平整，清洗表面油渍备用；
[0062](2)将碳/碳复合材料靶材置平整的石墨板上，使激光束聚焦于碳/碳复合材料靶材表面，激光束与碳/碳复合材料勒!材表面保持垂直；
[0063](3)将激光束聚焦于碳/碳复合材料坯体表面进行加热，同时在激光束与碳/碳复合材料坯体表面相交的位置，喷施压力为0.35MPa的惰性气体；待表面烧蚀形成开口后，继续喷施惰性气体，并调节激光焦距使激光束延伸至碳/碳复合材料坯体中，形成倒圆锥状容腔，所述倒圆锥状容腔与开口构成倒圆锥状孔，倒圆锥状孔的底面即为开口，其直径为5mm，倒圆锥状孔的孔高为11mm。倒圆锥状孔开口大、容腔小，使容腔中被激光加热气化后的气体在所喷施氩气的高压下受到压缩，形成正压，促进热解碳薄膜的快速沉积；
[0064](4)采用大功率激光，快速加热、气化碳/碳复合材料靶材中的碳元素，形成气态碳原子，并在温度多2000°C热壁上着床、生长成为高织构热解碳薄膜。控制激光波长为10.6 μ m、输出功率为5.lkW，加热时间为2秒，得到热解碳薄膜的厚度为60 μ m。
[0065]本发明通过采用大功率激光促进高织构热解碳薄膜的气相生长过程，使热解碳薄膜的生长速率达到30 μπι/s，热解碳薄膜经2200°C高温处理后的石墨化度为85.1%，生长速率比流态化床工艺的2X 10_2 μπι/s提高3个数量级。
[0066]实施例6:
[0067](I)将密度为1.86g/cm3的碳/碳复合材料靶材表面加工平整，清洗表面油渍备用；
[0068](2)将碳/碳复合材料靶材置平整的石墨板上，使激光束聚焦于碳/碳复合材料靶材表面，激光束与碳/碳复合材料勒!材表面保持垂直；
[0069](3)将激光束聚焦于碳/碳复合材料坯体表面进行加热，同时在激光束与碳/碳复合材料坯体表面相交的位置，喷施压力为0.28MPa的惰性气体；待表面烧蚀形成开口后，继续喷施惰性气体，并调节激光焦距使激光束延伸至碳/碳复合材料坯体中，形成倒圆锥状容腔，所述倒圆锥状容腔与开口构成倒圆锥状孔，倒圆锥状孔的底面即为开口，其直径为8mm，倒圆锥状孔的孔高为14mm。倒圆锥状孔开口大、容腔小，使容腔中被激光加热气化后的气体在所喷施氩气的高压下受到压缩，形成正压，促进热解碳薄膜的快速沉积；
[0070](4)采用大功率激光，快速加热、气化碳/碳复合材料靶材中的碳元素，形成气态碳原子，并在温度多2000°C热壁上着床、生长成为高织构热解碳薄膜。控制激光波长为10.6 μ m、输出功率为4.8kW，加热时间为4秒，得到热解碳薄膜的厚度为101.2 ym。
[0071]本发明通过采用大功率激光促进高织构热解碳薄膜的气相生长过程，使热解碳薄膜的生长速率达到25.3 μ m/s,热解碳薄膜经2200°C高温处理后的石墨化度为86.2%，生长速率比流态化床工艺的2X 10_2 μπι/s提高3个数量级。
[0072]实施例7:
[0073](I)将密度为1.87g/cm3的碳/碳复合材料靶材表面加工平整，清洗表面油渍备用；
[0074](2)将碳/碳复合材料靶材置平整的石墨板上，使激光束聚焦于碳/碳复合材料靶材表面，激光束与碳/碳复合材料勒!材表面保持垂直；
[0075](3)将激光束聚焦于碳/碳复合材料坯体表面进行加热，同时在激光束与碳/碳复合材料坯体表面相交的位置，喷施压力为0.36MPa的惰性气体；待表面烧蚀形成开口后，继续喷施惰性气体，并调节激光焦距使激光束延伸至碳/碳复合材料坯体中，形成倒圆锥状容腔，所述倒圆锥状容腔与开口构成倒圆锥状孔，倒圆锥状孔的底面即为开口，其直径为6mm，倒圆锥状孔的孔高为13mm。倒圆锥状孔开口大、容腔小，使容腔中被激光加热气化后的气体在所喷施氩气的高压下受到压缩，形成正压，促进热解碳薄膜的快速沉积；
[0076](4)采用大功率激光，快速加热、气化碳/碳复合材料靶材中的碳元素，形成气态碳原子，并在温度多2000°C热壁上着床、生长成为高织构热解碳薄膜。控制激光波长为10.6 μ m、输出功率为4.6kW，加热时间为3秒，得到热解碳薄膜的厚度为80 μ m。
[0077]本发明通过采用大功率激光促进高织构热解碳薄膜的气相生长过程，使热解碳薄膜的生长速率达到26.6 μ m/s,热解碳薄膜经2200°C高温处理后的石墨化度为86.9%，生长速率比流态化床工艺的2X 10_2 μπι/s提高3个数量级。
[0078]实施例8:
[0079](I)将密度为1.86g/cm3的碳/碳复合材料靶材表面加工平整，清洗表面油渍备用；
[0080](2)将碳/碳复合材料靶材置平整的石墨板上，使激光束聚焦于碳/碳复合材料靶材表面，激光束与碳/碳复合材料勒!材表面保持垂直；
[0081](3)将激光束聚焦于碳/碳复合材料坯体表面进行加热，同时在激光束与碳/碳复合材料坯体表面相交的位置，喷施压力为0.4MPa的惰性气体；待表面烧蚀形成开口后，继续喷施惰性气体，并调节激光焦距使激光束延伸至碳/碳复合材料坯体中，形成倒圆锥状容腔，所述倒圆锥状容腔与开口构成倒圆锥状孔，倒圆锥状孔的底面即为开口，其直径为6mm，倒圆锥状孔的孔高为13mm。倒圆锥状孔开口大、容腔小，使容腔中被激光加热气化后的气体在所喷施氩气的高压下受到压缩，形成正压，促进热解碳薄膜的快速沉积；
[0082](3)采用大功率激光，快速加热、气化碳/碳复合材料靶材中的碳元素，形成气态碳原子，并在温度多2000°C热壁上着床、生长成为高织构热解碳薄膜。控制激光波长为10.6 μ m、输出功率为4.7kW，加热时间为3秒，得到热解碳薄膜的厚度为75.3 ym。
[0083]本发明通过采用大功率激光促进高织构热解碳薄膜的气相生长过程，使热解碳薄膜的生长速率达到25.1 ym/s，热解碳薄膜经2200 °C高温处理后的石墨化度为85.4%，生长速率比流态化床工艺的2X 10_2 μπι/s提高3个数量级。
【权利要求】
1.一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，其特征在于:以碳/碳复合材料坯体为原料，以大功率激光器为热源，将激光束聚焦于碳/碳复合材料坯体表面进行加热，待表面烧蚀形成开口后，调节激光焦距，使激光束延伸至碳/碳复合材料坯体中，形成倒圆锥状容腔，在倒圆锥状容腔形成过程中，碳/碳复合材料坯体中的碳被激光加热气化，气化后的碳元素沉积于倒圆锥状容腔的壁上，生长成为高织构热解碳薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，其特征在于:所述碳/碳复合材料还体的密度为1.85?1.90g/cm3。
3.根据权利要求1所述的一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，其特征在于:所述大功率激光器激光波长为10.6 μ m，工作输出功率为3?4.5kW。
4.根据权利要求3所述的一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，其特征在于:所述大功率激光器为针板放电型横流0)2激光器。
5.根据权利要求1所述的一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，其特征在于:在激光束与碳/碳复合材料坯体表面相交的位置，喷施惰性气体。
6.根据权利要求5所述的一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，其特征在于:喷施的惰性气体压强为0.2-0.4M。
7.根据权利要求1-6任意一项所述的一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，其特征在于:所述倒圆锥状容腔与开口构成倒圆锥状孔，倒圆锥状孔的底面即为开口，其直径为5?10mm，倒圆维状孔的孔高为10?15mm。
8.根据权利要求7所述的一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，其特征在于:所述倒圆锥状孔采用激光钻孔方式成型，激光束首先聚焦于碳/碳复合材料坯体的上表面以下2mm处，烧出开口后，激光束的焦点垂直向下延伸至上表面以下6mm处，形成倒圆锥状容腔，与此同时，碳/碳复合材料坯体中的碳被激光加热气化，气化后的碳元素沉积于倒圆锥状容腔壁上温度多2000 °C的部位，生长成为高织构热解碳薄膜。
9.根据权利要求7所述的一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，其特征在于:沉积于倒圆锥状容腔的壁上的高织构热解碳薄膜的厚度为50?150 μ m。
10.根据权利要求9所述的一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，其特征在于:碳/碳复合材料坯体中的碳被激光加热气化，气化后的碳元素沉积于倒圆锥状容腔的壁上，生长成为高织构热解碳薄膜，全过程耗时为2?5秒。
11.根据权利要求9所述的一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，其特征在于:所述热解碳薄膜的生长速率为25?30 μ m/s。
12.根据权利要求8所述的一种高织构热解碳薄膜的快速制备方法，其特征在于:沉积于倒圆锥状容腔的壁上的高织构热解碳薄膜经高温处理后，其石墨化度为多85%，所述高温处理的温度为2200?2250°C。
【文档编号】C23C16/48GK104498893SQ201410800367
【公开日】2015年4月8日 申请日期:2014年12月19日 优先权日:2014年12月19日
【发明者】张福勤, 夏莉红, 郑吉祥, 黎炳前 申请人:中南大学