1.一种靶材的回收方法，其特征在于，
提供靶材组件，所述靶材组件包括背板和与所述背板连接的靶材；
提供磨床，所述磨床具有载物台和磨头，所述载物台的台面与所述磨头的磨削面相对，将所述靶材组件放置在所述载物台上，所述靶材与所述载物台接触，所述磨头与所述背板接触；
所述载物台与所述磨头中的至少一个进行旋转至所述背板与所述靶材分离。
2.如权利要求1所述的回收方法，其特征在于，所述载物台与所述磨头中的至少一个进行旋转至所述背板与所述靶材分离包括：
所述载物台与所述磨头的旋转方向相反，或者，
所述载物台与所述磨头的旋转方向相同，且，所述载物台与所述磨头的旋转速度不同，或者，
所述载物台与所述磨头中的至少一个旋转，另一个静止。
3.如权利要求1所述的回收方法，其特征在于，所述台面与所述磨削面平行。
4.如权利要求1所述的回收方法，其特征在于，所述磨床为立柱圆台磨床。
5.如权利要求4所述的回收方法，其特征在于，所述磨削面的型号为小于等于600号。
6.如权利要求4所述的回收方法，其特征在于，所述磨头的转速为大于等于780r/min且小于等于1180r/min。
7.如权利要求4所述的回收方法，其特征在于，所述磨头的进给量为大于等于0.1mm/min且小于等于0.16mm/min。
8.如权利要求1所述的回收方法，其特征在于，所述靶材的材料为金属。
9.如权利要求8所述的回收方法，其特征在于，所述靶材的材料为钽。
10.如权利要求1所述的回收方法，其特征在于，所述靶材的纯度为大于等于99.9％。