技术总结
一种靶材的回收方法，提供靶材组件，所述靶材组件包括背板和与所述背板连接的靶材；提供磨床，所述磨床具有载物台和磨头，所述载物台的台面与所述磨头的磨削面相对，将所述靶材组件放置在所述载物台上，所述靶材与所述载物台接触，所述磨头与所述背板接触；所述载物台与所述磨头中的至少一个进行旋转至所述背板与所述靶材分离。采用本发明的方法可以降低回收靶材的成本，而且，还可以回收磁控溅射后厚度较小的靶材。
技术研发人员：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;李超
受保护的技术使用者：宁波江丰电子材料股份有限公司
技术研发日：2014.12.31
技术公布日：2018.10.30