1.带有循环媒介自动控温结构的薄膜沉积设备加热底盘，其特征在于，在所述加热底盘的上盘体和下盘体之间通过媒介导流槽盖板和媒介挡板的固定配合形成所述循环媒介自动控温结构，所述上盘体的下表面边缘有外侧凸台和内侧凸台，两圈凸台之间形成环形沟槽，内侧凸台分布有三个导流口，所述上盘体上还设置有陶瓷柱孔和热电偶孔；
所述媒介挡板为一个圆盘结构，从边缘向上下两侧有凸起，在一侧突起上分布有三个挡板媒介出口，挡板媒介出口与所述上盘体内侧凸台的导流口位置对应，所述媒介挡板上还设有媒介流通孔和挡板通孔，挡板通孔位置与所述上盘体陶瓷柱孔的位置对应；
所述下盘体盘面上设有与所述上盘体陶瓷柱孔对应的螺纹孔以及与热电偶孔对应的热电偶安装螺纹孔，在下盘体盘面靠近中心的位置设有媒介入口和媒介出口，以媒介入口为中心，在下盘体盘面上向外辐射三个导流槽，导流槽两侧设凸台，用于和所述导流槽盖板焊接，形成媒介流道，导流槽终端有终端孔，当所述上盘体和下盘体固定一体后，所述终端孔对应在所述环形沟槽的范围内。
2.根据权利要求1所述的带有循环媒介自动控温结构的薄膜沉积设备加热底盘，其特征在于，所述上盘体内侧凸台的三个导流口均匀分布，将所述内侧凸台的圆周分成三个相等的圆弧。
3.根据权利要求1所述的带有循环媒介自动控温结构的薄膜沉积设备加热底盘，其特征在于，所述导流槽盖板的端部设有端孔，端孔与所述导流槽的终端孔位置对应。
4.根据权利要求1所述的带有循环媒介自动控温结构的薄膜沉积设备加热底盘，其特征在于，将所述媒介挡板焊接在所述上盘体上时，上盘体外侧凸台 与媒介挡板不设媒介出口一侧的突起高度在一个平面上。