X技术
首页
登录
注册
一种用于金属基板抛光后的清洗液及其使用方法与流程
文档序号:12817532
阅读:
来源:国知局
导航:
X技术
>
最新专利
>
金属材料;冶金;铸造;磨削;抛光设备的制造及处理,应用技术
>
一种用于金属基板抛光后的清洗液及其使用方法与流程
技术特征:
技术总结
本发明提供了一种用于金属化学机械抛光后的清洗液,包含至少一种有机酸,有机磷酸类化合物,至少一种阴离子表面活性剂。该清洗液可用于含金属的晶片抛光后的表面清洗。可将抛光后残留在晶片表面的研磨颗粒、金属离子、金属腐蚀抑制剂等有机物去除,降低表面缺陷。
技术研发人员:
荆建芬;张建;蔡鑫元;杨俊雅;宋凯
受保护的技术使用者:
安集微电子(上海)有限公司
技术研发日:
2015.12.31
技术公布日:
2017.07.07
完整全部详细技术资料下载
当前第2页
1
2
相关技术
一种无磷环保除锈防锈剂的制作...
一种高渗透性金属清洗剂的制作...
一种电解锰带锰阴极板的清理方...
一种提升铝合金表面硅烷膜性能...
一种可伸缩的耐次氯酸辅助阳极...
一种滑轨防锈剂的制作方法与工...
船用防锈剂的制作方法与工艺
一种少残留水基防锈剂及其制备...
金属化学机械抛光浆料的制作方...
含铜酸性蚀刻液循环再生回用设...
网友询问留言
已有
0
条留言
还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1
金属清洗液相关技术
一种金属材料清洗液的制作方法
一种乳化油膜浓缩系统的制作方法
镀镍废水零排放装置的制造方法
一种对金属极低腐蚀的光刻胶清洗液的制作方法
一种改进的金属设备用清洗液的制作方法
冲洗液检测杯的制作方法
低温抛光液的制作方法
电化学法金属表面除锈除垢工艺的制作方法
水性研磨清洗液的制作方法
一种超微孔陶瓷膜管过滤机的制作方法
水基型金属清洗液相关技术
一种清洗液循环利用的金属零部件清洗烘干装置的制作方法
一种水基型金属防锈剂的制作方法与工艺
水基油墨清洗液的制作方法与工艺
一种环保高效的金属清洗液的制作方法与工艺
一种金属清洗液的制作方法与工艺
一种金属清洗液的制造方法与工艺
一种富水基清洗液组合物的制造方法与工艺
一种TFT‑LCD显示屏水基清洗液及其制备方法与流程
金属基板相关技术
半导体装置及其制造方法与制造工艺
一种基于磁控溅射技术的PCB板制备方法与制造工艺
具有集成电气功能的基于PCB的半导体封装的制造方法与工艺
一种辐射散热的LED用胶膜及其制备方法与制造工艺
一种树脂组合物及其应用的制造方法与工艺
一种高温红外调频介质浆料及其制备方法与制造工艺
高压AC倒装LED芯片COB光源模块的制造方法与工艺
一种具备电场自适应特性的柔性电子电喷印设备及其方法与制造工艺
表面贴装发光二极管支架的制造方法与工艺
一种防水COB组合射灯透镜的制造方法与工艺
金属抛光相关技术
机器人自动喷釉除尘柜的制作方法
一种3d打印低温金属产品桌面抛光装置的制造方法
金属拉链牙头抛光机的制作方法
一种抛光均匀的金属抛光机的制作方法
一种改进的金属抛光装置的制造方法
一种适用于金属制品的抛光装置的制造方法
金属圆杆的抛光机构的制作方法
一种金属制品无尘抛光装置的制造方法
用于金属抛光的化学抛光液及其制备方法
气雾型金属去污擦亮剂及其制备方法
金属表面抛光机相关技术
一种多表面抛光工艺的制造方法与工艺
一种多面抛光机的制造方法与工艺
一种用于金属管材内表面的抛光装置及其操作方法与制造工艺
表面改性金属及金属表面的改性方法与制造工艺
涂覆基材的金属表面的方法和根据所述方法涂覆的物件与制造工艺
表面涂抛擦设备的制造方法与工艺
手机后壳三工位五轴抛光机的制造方法与工艺
铜包铜线表面抛光装置的制造方法
一种低噪音的金属材料表面抛光装置的制造方法
抛光机的制作方法
金属抛光膏相关技术
一种用于金属的化学抛光液和抛光工艺的制作方法
一种用于金属的化学抛光液和抛光工艺的制作方法
一种铸件焊缝抛光膏的制作方法
一种高效率的金属抛光液的制作方法
一种金属板表面的抛光方法
一种改性金属抛光液的制作方法
一种金属手轮抛光装置的制造方法
一种金属刹车板及其使用方法
金属抛光剂材料组合物和金属抛光剂的制备方法及应用
一种金属材料抛光液的制作方法
金属表面抛光技术相关技术
用于清洗抛光后铜件表面蜡垢的除蜡剂的制作方法
一种变压器壳体外表面抛光剂及其制备方法
一种改进的金属抛光装置的制造方法
一种3d打印金属件表面抛光方法
金属圆杆的抛光机构的制作方法
用于晶片表面金属薄膜抛光过程的电涡流测量装置的制造方法
一种自增压高速磨粒磁流孔内表面抛光方法及装置的制造方法
用于抛光井口密封表面的工具的制作方法
不影响正表面的晶硅perc电池碱抛光方法
一种简易钢材表面抛光装置的制造方法
手工金属抛光镜面教程相关技术
一种金属手轮抛光装置的制造方法
金属抛光剂材料组合物和金属抛光剂的制备方法及应用
一种金属材料抛光液的制作方法
一种检测器主体内腔的镜面抛光方法
一种用于金属抛光的抛光液的制作方法
一种金属抛光剂的制作方法
一种金属材料抛光装置的制造方法
一种带有集屑功能的手工抛面机的制作方法
一种局部仿镜面金属复合薄膜的制作方法
一种采用激光消融加工金属镜面的设备的制造方法