研磨工具、研磨方法及研磨装置与流程

文档序号:12282876阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种研磨工具,其特征在于,

所述研磨工具具有呈球带状的研磨面,

从所述研磨面的内缘一直到外缘设有多个不与被研磨物抵接的非接触部,

在将所述研磨面投影在与该研磨面的旋转中心轴垂直的面上时的投影面中,将任意直径处的从周长去除所述非接触部后的部分的长度设为有效周长,此时所述外缘处的所述有效周长是所述内缘处的所述有效周长的0.7倍以上6倍以下。

2.根据权利要求1所述的研磨工具,其特征在于,

所述非接触部是从所述内缘朝向所述外缘、在周向上宽度扩大的多个槽。

3.根据权利要求2所述的研磨工具,其特征在于,

所述多个槽从所述内缘朝向所述外缘呈放射状。

4.根据权利要求2所述的研磨工具,其特征在于,

所述多个槽从所述内缘朝向所述外缘呈涡卷状。

5.根据权利要求3或4所述的研磨工具,其特征在于,

在从所述研磨面去除所述多个槽后的区域中,还设有沿所述研磨面的周向延伸的多个第2槽。

6.根据权利要求5所述的研磨工具,其特征在于,

在周向上相邻的所述区域之间以隔一个设一个的方式设置所述多个第2槽。

7.根据权利要求1所述的研磨工具,其特征在于,

所述非接触部由多个空孔构成,该空孔的每单位面积的密度从所述内缘朝向所述外缘提高。

8.根据权利要求1~7中任意一项所述的研磨工具,其特征在于,

在所述外缘处的所述有效周长与所述内缘处的所述有效周长不同的情况下,所述任意直径处的所述有效周长从所述内缘朝向所述外缘呈线性变化。

9.一种研磨方法,使用了权利要求1~8中任意一项所述的研磨工具,所述研磨方法的特征在于:

使所述研磨工具以旋转轴为中心进行旋转,

并且将通过所述被研磨物的中心并与所述旋转轴相交的直线在所述研磨面的球带的宽度方向的中心通过的位置作为摆动中心,使所述被研磨物和所述研磨工具中的至少一方相对于另一方以固定的摆动幅度相对摆动,来研磨所述被研磨物。

10.一种研磨装置,其特征在于,该研磨装置具有:

权利要求1~8中任意一项所述的研磨工具;

加压单元,其使所述被研磨物与所述研磨工具的研磨面抵接来进行加压;

旋转单元,其使所述研磨工具以所述旋转轴为中心进行旋转;以及

摆动单元,其将通过所述被研磨物的中心并与所述旋转轴相交的直线在所述研磨面的球带的宽度方向的中心通过的位置作为摆动中心,使所述被研磨物和所述研磨工具中的至少一方相对于另一方以固定的摆动幅度相对摆动。

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