技术特征：
技术总结
本公开提供了用于在处理腔室中的层沉积期间支撑基板载体(130)和掩模载体(140)的固持布置(100)。固持布置(100)包括可连接至基板载体(130)和掩模载体(140)中的至少一个的两个或更多个对准致动器。固持布置(100)被配置为在第一平面中或平行于第一平面支撑基板载体(130)，其中两个或更多个对准致动器中的第一对准致动器(110)被配置为至少在第一方向(1)上使基板载体(130)和掩模载体(140)相对于彼此来移动，其中两个或更多个对准致动器中的第二对准致动器(120)被配置为至少在第一方向(1)上和不同于第一方向(1)的第二方向(2)上使基板载体(130)和掩模载体(140)相对于彼此来移动，并且其中第一方向(1)和第二方向(2)在第一平面中。
技术研发人员：托马索·维尔切斯;迪特尔·哈斯;斯蒂芬·班格特;奥利弗·海默尔;丹尼尔·吉斯隆
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2015.01.12
技术公布日：2017.08.29