清洗液组合物的制作方法

技术总结
本发明涉及清洗液组合物，具体地，提供一种能够清洗在金属的化学机械平坦化工程等中产生的金属氧化物与金属研磨粒子的清洗液组合物。根据本发明提供的清洗液组合物，由于能够增强对金属研磨粒子的络合力，并能够维持还原力，因此能够改善清洗液的稳定性，对金属表面进行高防腐蚀力的清洗工程。

技术研发人员：许濬;郑玄铁
受保护的技术使用者：易安爱富科技有限公司
文档号码：201610448914
技术研发日：2016.06.21
技术公布日：2017.01.04