一种在柔性基底薄膜上制备功能性图形薄膜的方法与流程

文档序号:12347470阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种在柔性基底薄膜上制备功能性图形薄膜的方法,包括:

把柔性基底薄膜固定在真空仓中的旋转工件台上,所述柔性基底薄膜的厚度为0.1~0.5mm;

在所述柔性基底薄膜上制备包含功能性图形薄膜形状的光刻胶,从而光刻胶上暴露出来的柔性基底薄膜的部分与要形成的功能性图形薄膜的形状一致;

将金属靶材固定在真空仓中的靶台上;

抽取真空;

产生等离子体;

将所述等离子体经引出、成束、加速、中和形成中性离子束;

采用中性离子束轰击金属靶材,从金属靶材溅射出来的金属原子向所述柔性基底薄膜沉积从而在所述柔性基底薄膜暴露的部分上形成功能性图形薄膜,所述离子束的能量为200~1000eV,轰击时间为60~480s;功能性图形薄膜的厚度为0.1~5nm;

打开真空仓,取出柔性基底薄膜。

2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述金属靶材的材料包括铜、钨、钽、镍、铝或银。

3.根据权利要求1所述的方法,其中,抽取真空的方法包括:先用机械泵粗抽,再用分子泵细抽,直到真空度达到并且在全过程中保持至少为6×10-3Pa。

4.根据权利要求1所述的方法,其中,根据权利要求1所述的制备功能性图形薄膜的方法,产生等离子体的方法包括:

电磁线圈产生高频高压;

阴极钨丝产生辉光放电;

通入惰性气体,这些惰性气体在高频高压下电离分解产生等离子体。

5.根据权利要求4所述的方法,其中,惰性气体包括氦、氖、氩、氪或氙。

6.根据权利要求5所述的方法,其中,形成中性离子束的方法包括:将等离子体引出、成束、加速、中和从而形成中性离子束。

7.根据权利要求6所述的方法,其中,使用多孔屏栅将等离子体引出并成束从而形成为离子束,使用加速栅对离子束加速,使用浸没式中和阴极发射电子对离子束进行中和形成中性离子束。

8.根据权利要求1至7之一所述的方法,其中,所述柔性基底薄膜为塑料袋。

9.根据权利要求8所述的方法,其中,所述塑料袋的材料包括聚乙烯。

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