一种钼钾合金靶材的制备方法与流程

文档序号:12079014阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种钼钾合金靶材的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:

步骤一、选取钼纯度为99.96%、粒度为1~3μm的钼粉以及纯度为99.96%、粒度为10~30μm的K2MoO4粉末,备用;

步骤二、将步骤一选取的K2MoO4粉末加入到去离子水中,配制成质量浓度为2~5%的去离子水溶液,备用;

步骤三、将步骤二中配制的K2MoO4溶液放入喷雾瓶中,并按照质量比为(5~10):(90~95)将喷雾瓶中的K2MoO4溶液均匀的喷入到步骤一选取的钼粉中,充分混合后备用;

步骤四、采用不锈钢板、碳钢或者钛板制作色套,并将步骤三得到的混合物填充在色套内,然后将色套密封后抽真空,然后在室温下进行预压紧,预压压紧力为10~30MPa,预压过程中确保压头除了上下方向运动外,四周其他方向都固定无法运动;

步骤五、将经步骤四处理后的色套,置于脱气炉中进行脱气处理,脱气温度为300~600℃,脱气时间根据装粉量不同从10h~30h;

步骤六、将经步骤五脱气完毕的色套放入热等静压成型机中在温度为1000~1300℃、压制压力为100~130MPa的条件下压制成型,然后去色套,制成管坯,备用;

步骤七、将步骤六制得的管坯放入真空热压烧结炉中,在温度为1100~1500℃的条件下烧结2~3h,烧结完成后取出备用;

步骤八、将经步骤七烧结管坯进行多次锻打,锻打完成后放入真空退火炉中进行真空退火,退火温度为700~1200℃,保温0.5~1h后缓慢冷却至室温;

步骤九、将经步骤八退火处理后的管坯经机械加工至溅射靶材的目标尺寸,备用;

步骤十、将经步骤九加工后的溅射靶材在惰性气体保护氛围下,使用等离子喷涂的方法喷涂高分子保护膜,涂覆完成后制得产品。

2.如权利要求1所述的一种钼钾合金靶材的制备方法,其特征在于:所述步骤四中色套抽真空后真空度达到1×10-2Pa。

3.如权利要求1所述的一种钼钾合金靶材的制备方法, 其特征在于:所述步骤四中色套的内表面上涂覆有玻璃粉。

4.如权利要求1所述的一种钼钾合金靶材的制备方法,其特征在于:所述步骤六中所述的烧结过程包括以下阶段:1)室温~1100℃,升温速率5~10℃/min,保温5~10min,2)1100~1200℃,升温速率5~10℃/min,同时压力保持在5~100MPa内;2)1200℃保温1~2h;3)1200~1500℃,升温速率5~10℃/min;4)1500℃保温3~5h,5)1500℃~室温,降温速率1~3℃/min,同时压力降低至5MPa,直至冷却至室温后,完全卸去压力。

5.如权利要求1所述的一种钼钾合金靶材的制备方法,其特征在于:所述步骤九机械加工采用车削加工和磨削加工,所述车削采用HRC大于70的刀具,车削时加工的转速为100~200转/分钟,所述车削时的进刀量为0.1~0.5mm,所述磨削时的进刀量为0.002~0.005mm,所述磨削的砂轮线速度为20~40m/s。

6.如权利要求1所述的一种钼钾合金靶材的制备方法,其特征在于:所述步骤十中靶材以100~200r/min的速度围绕中心轴旋转,喷枪的移动速度为500~1000mm/min,工作气体的温度为800~1300℃,喷涂距离为40~60mm,喷涂角度为75~90°,工作气体压力为2~5MPa。

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