一种钼钾合金靶材的制备方法与流程

文档序号:12079014阅读:来源:国知局
技术总结
一种钼钾合金靶材的制备方法,包括以下步骤:首先选取钼粉和K2MoO4粉末,然后将选取的K2MoO4粉末配制成去离子水溶液,配制完成后将K2MoO4溶液按照质量比为(5~10):(90~95)均匀的喷入到选取的钼粉中,充分混合后将混合物填充在色套内预压紧,随后经脱气处理、压制成型、真空热压烧结、多次锻打、真空退火、机械加工以及涂覆高分子保护膜后制得产品;本发明操作简单,制成的靶材密度高,成分均匀,可进行后续的机械加工,镀膜效果好并且能够有效的节约成本。

技术研发人员:张灵杰
受保护的技术使用者:洛阳科威钨钼有限公司
文档号码:201610991892
技术研发日:2016.11.11
技术公布日:2017.03.22

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