液体材料气化装置的制作方法

文档序号:12779516阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种液体材料气化装置,其特征在于,包括:

气液混合部,将液体材料和气体混合而生成气液混合体;以及

气化部,加热所述气液混合体,使所述液体材料气化,

所述气液混合部具有将所述气液混合体导出的气液混合体导出管,

所述气化部具有加热所述气液混合体的加热流道,

所述气液混合体导出管的导出口配置在所述加热流道内。

2.根据权利要求1所述的液体材料气化装置,其特征在于,所述加热流道形成在内置有加热器的加热模块的内部。

3.根据权利要求2所述的液体材料气化装置,其特征在于,

所述气化部具有第一连接部,所述第一连接部与所述加热流道连通并向所述加热模块的外部伸出,

所述气液混合体导出管具有第二连接部,所述第二连接部设置在所述气液混合体导出管的与所述导出口相反侧的外周部,并与所述第一连接部连接,

在所述气液混合体导出管的导出口配置在所述加热流道内的状态下,所述第一连接部和所述第二连接部彼此连接。

4.根据权利要求1所述的液体材料气化装置,其特征在于,所述气液混合体导出管的内部流道整体呈等断面形状。

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