1.一种在钽喷丝头表面渗氮并镀DLC膜的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：
(1)将钽喷丝头表面抛光至0.02μm以上；
(2)将表面抛光后的钽喷丝头清洗并烘干；
(3)用显微镜检测清洗后的钽喷丝头，若无任何污染则放入炉内，将炉内抽真空至真空度为5×102Pa，温度升到500—700℃，保温1—1.5h后加入氢和氮，其中，氢和氮的体积比为(4.5—5.5):1，用冷却水冷却，待炉内温度降至100℃以下时取出钽喷丝头；
(4)将取出的钽喷丝头清洗并烘干；
(5)用显微镜检测清洗后的钽喷丝头，若无任何污染则放入炉内，用磁控溅射的方法在钽喷丝头表面镀上DLC膜；镀膜采用的靶材为乙炔，镀膜条件如下：真空度为5×10-3—8×10-3Pa，温度180—280℃，溅射时间为1—3h；镀膜后将钽喷丝头冷却至100℃以下，即得表面镀DLC膜的钽喷丝头。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(2)和(4)所述的清洗是先将表面抛光后的钽喷丝头在浓度为98％的硫酸中，于140℃条件下进行煮酸处理25—35min，然后用清水冲洗后再用去离子水清洗，再在超声清洗槽里用酒精、丙酮和去离子水依次进行超声清洗。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(3)和(5)所述显微镜为放大150倍的测量显微镜。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(5)所述溅射时间为60—80min。