技术总结
本发明公开了一种在钽喷丝头表面渗氮并镀DLC膜的方法。包括如下步骤：(1)钽喷丝头表面抛光至0.02μm以上；(2)将表面抛光后的钽喷丝头清洗并烘干；(3)用显微镜检测清洗后的钽喷丝头，若无任何污染则放入炉内，将炉内抽真空至真空度为5×102Pa，温度升到500—700℃，保温1—1.5h后加入氢和氮，其中，氢和氮的体积比为(4.5—5.5):1，用冷却水冷却，待炉内温度降至100℃以下时取出钽喷丝头；(4)将取出的钽喷丝头清洗并烘干；(5)用显微镜检测清洗后的钽喷丝头，若无任何污染则放入炉内，用磁控溅射的方法在钽喷丝头表面镀上DLC膜；镀膜采用的靶材为乙炔，镀膜条件如下：真空度为5×10‑3—8×10‑3Pa，温度180—280℃，溅射时间为1—3h；镀膜后将钽喷丝头冷却至100℃以下。
技术研发人员：蒋坤林;许登峰
受保护的技术使用者：长沙南方钽铌有限责任公司
文档号码：201611183942
技术研发日：2016.12.20
技术公布日：2017.05.31