技术总结
本实用新型公开了一种工件装夹夹具，包括位于溅镀室的腔室底部的底座、底座上的固定轴、处于相邻两个固定轴之间的工件装夹板、工件装夹板上设置的工件装夹孔、位于所述底座和所述溅镀室的腔室底部之间的传动轴；由于每个工件装夹板上的工件装夹孔可同时装夹至少两种不同类型的工件，因此能够同时溅镀不同类型的工件，提高溅镀的效率。
技术研发人员：徐子明;傅绍英;向勇;胡杨
受保护的技术使用者：成都西沃克真空科技有限公司
文档号码：201620434998
技术研发日：2016.05.12
技术公布日：2016.11.16