本实用新型涉及光学镀膜领域,特别涉及一种BAR条光学镀膜夹具。
背景技术:
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光通信用半导体激光器的制备,代表了先进微纳加工和器件集成工艺的发展方向,得到了国际上各个国家的高度重视。光通信用的半导体激光器是光纤通信的核心。目前光通信用半导体激光器主要应用INP衬底片进行外延生长及后端加工,在后端加工中BAR条光学镀膜工艺是保证激光器参数的关键工序。
BAR条光学镀膜就是在BAR条的两端镀上相应的光学介质膜层,BAR条规格长度10mm~24mm,宽度200um~500um,厚度120um;如何保证夹住BAR条的同时,还能实现正反两面的镀,期间不要再重新拆装BAR条,此为夹具设计的重点及难点。
技术实现要素:
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为了解决上述问题,本实用新型的目的在于提供一种BAR条光学镀膜夹具,该BAR条光学镀膜夹具结构简单、设计合理,有利于实现正反两面镀膜的时候,期间不要再重新拆装BAR条。
本实用新型提供的技术方案为:
本实用新型BAR条光学镀膜夹具,其特征在于:包括呈片状的夹具本体和设在夹具本体上的穿孔,所述穿孔内设有以用于夹紧BAR条的固定夹紧压片和活动夹紧压片。
进一步的,上述固定夹紧压片通过设在其两侧的保护架来夹紧固定。
进一步的,上述夹具本体由叠置的底片和面盖构成,在底片与面盖的上部设有滑孔槽道,所述活动夹紧压片设在滑孔槽道内,以利滑动。
进一步的,上述夹具本体上设有第二穿孔,所述第二穿孔内滑动设有固定在活动夹紧压片上部的刀片座。
进一步的,上述夹具本体上部设有穿入第二穿孔内的调节锁紧螺丝。
本实用新型结构简单,加工成本低,实用性高,可以简单方便可靠的夹住BAR条,在双面镀膜过程不要重新拆装夹具,只要简单的把镀膜夹具翻个面即可。对于不同宽度(200um~500um)的BAR条也不需要重新加工整个夹具,只要换上相应厚度(200um~500um)的压紧刀片装上即可,极大的节约物料成本。
附图说明:
图1是本实用新型BAR条光学镀膜夹具的主视图;
图2是图1的A-A剖面图;
图3是图1的B-B剖面图;
图4是图1的俯视图。
具体实施方式:
本实用新型BAR条光学镀膜夹具,包括呈片状的夹具本体1和设在夹具本体上的穿孔2,所述穿孔2内设有以用于夹紧BAR条的固定夹紧压片3和活动夹紧压片4。
进一步的,上述固定夹紧压片3通过设在其两侧的保护架5来夹紧固定。
进一步的,上述夹具本体1由叠置的底片101和面盖102构成,在底片与面盖的上部设有滑孔槽道103,所述活动夹紧压片设在滑孔槽道内,以利滑动。
进一步的,上述夹具本体1上设有第二穿孔6,所述第二穿孔6内滑动设有固定在活动夹紧压片上部的刀片座7。
进一步的,上述夹具本体上部设有穿入第二穿孔内的调节锁紧螺丝8,调节锁紧螺丝8端部抵靠在刀片座7表面,通过调节螺丝的旋进或旋出来实现夹紧或松开BAR条。
本实用新型结构简单,加工成本低,实用性高,可以简单方便可靠的夹住BAR条,在双面镀膜过程不要重新拆装夹具,只要简单的把镀膜夹具翻个面即可。对于不同宽度(200um~500um)的BAR条也不需要重新加工整个夹具,只要换上相应厚度(200um~500um)的压紧刀片装上即可,极大的节约物料成本。