一种磁控溅射镀膜基带卷绕纠偏装置的制作方法

文档序号:11974922研发日期:2016年阅读:434来源:国知局
技术简介:
本专利针对磁控溅射镀膜中抽真空时原膜基带卷层因松弛产生微量滑动偏移的问题,提出在放卷机架上设置由硬质材料制成的挡板,通过紧贴卷端面施加压力,阻止卷层间滑动,减少表面划伤并提升产品齐整度。
关键词:卷绕纠偏,挡板结构,真空滑移

本实用新型涉及磁控溅射镀膜领域,提供一种磁控溅射镀膜基带卷绕纠偏装置,用于柔性、卷绕式、连续型磁控溅射镀膜作业过程中抽真空时阻止原膜基带卷层之间的微量滑动偏移。



背景技术:

柔性、卷绕式、连续型磁控溅射镀膜中使用的原膜基带是卷式,长度约千米及以上。成卷的原膜基带(即原膜基带卷)的相邻卷层间会密闭有空气。磁控溅射镀膜作业时,需将原膜基带卷放入镀膜机内的放卷机架上后抽真空,由于真空作用,原膜基带卷会产生松弛现象,不能被排出的相邻卷层间密闭的空气起到润滑剂的作用,卷层之间发生微量滑动偏移。该偏移可经多层累积,造成原膜基带卷端面的齐整偏差,同时该偏移也对原膜基带表面造成微小的划伤,以至于影响产品的最终质量。

放卷机架包括机架、固连在机架上的轴套、转动设置在轴套内的卷绕轴。卷绕轴卷绕有原膜基带。

根据卷绕原膜基带的不同长度,原膜基带卷的直径也有所不同。



技术实现要素:

本实用新型的目的是提供一种磁控溅射镀膜基带卷绕纠偏装置,用于柔性、卷绕式、连续型磁控溅射镀膜作业过程中抽真空时阻止原膜基带卷层之间的微量滑动偏移。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现:

一种磁控溅射镀膜基带卷绕纠偏装置,包括设置在放卷机架上、位于原膜基带卷两端的挡板,由硬质材料制成的挡板紧贴原膜基带卷端面。

本实用新型的有益效果是:

使用时,磁控溅射镀膜基带卷绕纠偏装置的挡板不随卷绕轴转动。挡板内平面紧贴设置在放卷机架上的原膜基带卷端面,可对具有相对滑动趋势的原膜基带卷卷层施加压力以克服该相对滑动趋势,阻止抽真空时因原膜基带卷卷层的松弛及卷层之间的微量滑动偏移。减少了柔性卷带表面因卷层移动所产生的划伤,益于提高产品质量。

作为对本实用新型的改进,制成挡板的材料可以为不锈钢,也可以为硬质塑料。

上述改进,在保证挡板足够强度的同时,避免挡板锈蚀,加强对于原膜基带的产品防护作用。

作为对本实用新型的进一步改进,挡板为薄片结构,在挡板上还开设有去重孔。

这种改进,可以在保证挡板强度的同时,益于选材,减轻挡板自身的重量。

作为对本实用新型的另一种改进,挡板可拆卸设置在放卷机架的轴套上。即:内孔直径与轴套相适应的两个哈夫中的上哈夫固联在挡板上、下哈夫与上哈夫可拆卸设置在轴套上;上哈夫与下哈夫圆形凹槽的弧度小于π。

上述改进,不会破坏放卷机架原有的结构,上哈夫与下哈夫之间留有足够的紧固空间,将挡板与轴套连接时,连接方便、可靠。

附图说明

图1是一种磁控溅射镀膜基带卷绕纠偏装置的结构示意图

图2是一种磁控溅射镀膜基带卷绕纠偏装置中下哈夫的主视图

图3是图2的俯视图

图4是上下两个哈夫与挡板相连的示意图。

具体实施方式

下面结合附图,对本实用新型作进一步说明:

参见图1、图2、图3、图4所示,总体上说,一种磁控溅射镀膜基带卷绕纠偏装置,包括设置在放卷机架上、位于原膜基带卷两端的挡板1,由硬质材料制成的挡板紧贴原膜基带卷端面。

具体地说:

挡板1为薄片结构,采用板材下料。制成挡板1的材料为硬质材料,可以选用硬质塑料,也可以选用不锈钢。挡板1相对于放卷机架是静止的,在使用过程中,只承受原膜基带施加的较小的压力、无冲击。本案中,兼考虑到对于原膜基带的防护要求,制成挡板1的材料选用不锈钢板材,经冲压而成。为减轻挡板1的重量,在挡板1上还开设有去重孔2。

挡板1仅需在原膜基带导入的过程中对可能产生相对滑动的卷层施加作用力,故挡板1又为扇形。

根据卷层的数量,原膜基带卷具有不同半径的规格,挡板1的高度(即扇形挡板的半径)与原膜基带卷的半径相适应。

挡板1有相对设置的两片,设置在放卷机架上,位于原膜基带卷两端并靠紧原膜基带卷端面。显然,挡板1与原膜基带卷轴线垂直、需与放卷机架刚性连接,基于此,挡板1与放卷机架的连接部位可不做特定要求。但考虑到充分利用放卷机架空间、易于拆装,又不破坏放卷机架的现有结构,故采取挡板1可拆卸设置在放卷机架的轴套上的连接方式,即以成对使用的两个哈夫作为开合式抱箍与轴套可拆卸连接,挡板1与两个哈夫中的上哈夫固联。

具体实施方式之一是:

参见图4,两个哈夫配合使用后,其内径与轴套的内径相适应。两个哈夫的主体结构相同,上哈夫3与下哈夫4圆形凹槽402的弧度小于π,在每个哈夫的两端还有搭耳403,在搭耳403上开设有用于使用螺栓5将两个哈夫可拆卸连接起来的通孔401。

在扇形挡板弦的中部开设内径不小于哈夫上圆形凹槽直径的圆形凹槽,该圆形凹槽的弧度不大于上哈夫3上圆形凹槽的弧度。将挡板1与上哈夫3固联,需使挡板1上的圆形凹槽与上哈夫上的圆形凹槽方向相同,两个圆形凹槽的圆心重合。

将挡板1与上哈夫3固联的连接方式有多种,本案中选用以螺钉6将挡板1和上哈夫3固联的连接方式。该连接方式为现有技术,此不赘述。

具体实施方式之二是:

上哈夫与挡板为一体结构。挡板的下沿沿与挡板呈90°的方向折弯,折弯部分的宽度与下哈夫的厚度相当,在折弯部分的中部开设与在下哈夫搭耳上开设的通孔相对应的通孔以使用螺栓将挡板与下哈夫可拆卸连接。在挡板上开设弧度小于π的圆形凹槽,圆形凹槽位于挡板的中部。

本案中选用具体实施方式之一所述的方案。

使用时,磁控溅射镀膜基带卷绕纠偏装置的挡板不随卷绕轴转动。挡板内平面紧贴设置在放卷机架上的原膜基带卷端面,可对具有相对滑动趋势的原膜基带卷卷层施加压力以克服该相对滑动趋势,阻止抽真空时因原膜基带卷卷层的松弛及卷层之间的微量滑动偏移。

本实用新型的有益效果是:

使用该磁控溅射镀膜基带卷绕纠偏装置,可阻止抽真空时因原膜基带卷卷层的松弛及卷层之间的微量滑动偏移。减少了柔性卷带表面因卷层移动所产生的划伤,益于提高产品质量。结构简单,安装便捷。

当前第1页1 2 3 
网友询问留言 留言:0条
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!