一种蒸镀单元及蒸镀装置的制作方法

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸镀单元及蒸镀装置。

背景技术：

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，简称OLED)显示器因其具有自发光、轻薄、功耗低、高对比度、高色域、可实现柔性显示等优点，已被广泛地应用于包括电脑、手机等电子产品在内的各种电子设备中。

OLED显示器件包括阴极层、有机材料功能层以及阳极层等，其中，有机材料功能层一般采用电阻加热法蒸镀法制备。具体的电阻加热法蒸镀法采用电阻丝加热真空蒸镀机中的坩埚，使得坩埚中的蒸镀材料蒸发或升华并蒸镀至蒸发区域。

现有的蒸镀成膜技术，如图1所示，通过蒸镀源101将蒸镀材料蒸镀至与该蒸镀源101相对的基板100上，以形成有机薄膜层。为了对蒸镀源101在基板100上的蒸镀区域的大小进行调节，设置不同高度的角度板103。例如，为了使得蒸镀材料蒸镀至蒸镀区域A，可以选用高度为H1的角度板103，而当需要扩大蒸镀区域，将蒸镀材料蒸镀至蒸镀区域B时，需要用高度为H2的角度板103，其中H2小于H1。这样一来，当蒸镀材料和蒸镀要求改变时，这就需要频繁的更换角度板103以对蒸镀区域做相应的调整，从而延长了蒸镀工艺的时长，降低生产效率。

技术实现要素：

本实用新型的实施例提供一种蒸镀单元及蒸镀装置，能够提高蒸镀生产效率。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

本实用新型实施例一方面提供一种蒸镀单元，包括蒸镀源以及设置于所述蒸镀源的蒸镀口至少一侧的角度板组件，所述角度板组件包括竖直安装于所述蒸镀源上的用于限定所述蒸镀源的最大蒸发角度 的固定板。所述角度板组件还包括相对于所述固定板移动的活动板，用于对所述蒸镀源的蒸发角度进行调节，以使得所述蒸发角度小于或等于所述最大蒸发角度。

进一步的，所述活动板与所述固定板平行设置，以使得所述活动板相对于所述固定板移动时改变所述角度板组件沿竖直方向高度。

进一步的，所述活动板与所述固定板交叉设置，以使得所述活动板相对于所述固定板移动时改变所述角度板组件与所述蒸镀口的水平距离。

进一步的，所述固定板上设置有竖直的导向槽，所述活动板安装于所述导向槽内；所述固定板与所述活动板之间设置有高度限位部，用于在所述活动板移动至预设高度时，以使得所述活动板保持在所述预设高度。

进一步的，所述导向槽的导向面上安装有滚动部件，所述滚动部件与所述活动板相接触。

进一步的，所述角度板组件包括竖直安装于所述蒸镀源上的导向部件，所述活动板安装于所述导向部件内，所述活动板与所述固定板之间具有间隙；所述固定板与所述活动板之间设置有高度限位部，用于在所述活动板移动至预设高度时，以使得所述活动板保持在所述预设高度。

进一步的，所述固定板与所述活动板铰接，且在所述固定板与所述活动板之间设置有角度限定部，用于在所述活动板转动至预设角度时，以使得所述活动板保持在所述预设角度。

进一步的，所述活动板包括多个活动子板，相邻两个活动子板之间铰接，且相邻两个活动子板之间设置有角度限定子部，用于在所述活动子板转动至预设角度时，以使得所述活动子板保持在所述预设角度。

进一步的，所述角度限定部包括条状连接件，所述条状连接件的一端与所述固定板的侧面活动连接，另一端设置有挂钩；所述活动板的侧面设置有多个与所述挂钩相配合的凹槽。在所述活动板转动至预设角度时，所述挂钩钩入与所述凹槽中，以使得所述活动板保持在所 述预设角度。

进一步的，所述固定板和所述活动板由钢板构成，且所述钢板的表面覆盖有金属网。

进一步的，所述固定板和所述活动板上靠近所述蒸镀口的一侧表面设置有多个孔。

进一步的，上述蒸镀单元还包括：驱动部件。所述驱动部件为安装于所述蒸镀源上的液压缸，所述液压缸的活塞杆与所述活动板的底部相连接；或者，所述驱动部件为安装于所述蒸镀源上的直线电机，所述直线电机的滑块与所述活动板的侧面相连接。

本实用新型的另一方面还提供一种蒸镀装置，包括第一蒸镀单元，所述第一蒸镀单元为上述任一所述的蒸镀单元。

进一步的，在所述第一蒸单元的蒸镀口两侧均设置有所述角度板组件的情况下，所述蒸镀装置还包括分别位于所述第一蒸镀单元两侧的第二蒸镀单元和第三蒸镀单元；所述第二蒸镀单元和所述第三蒸镀单元的角度板组件中固定板和活动板交叉设置。所述第二蒸镀单元与所述第一蒸镀单元之间共用所述第一蒸镀单元的其中一个角度板组件，所述第三蒸镀单元与所述第一蒸镀单元之间共用所述第一蒸镀单元的另一个角度板组件。

本实用新型实施例提供一种蒸镀单元及蒸镀装置，该蒸镀单元包括蒸镀源以及设置于蒸镀源的蒸镀口至少一侧的角度板组件，角度板组件包括竖直安装于蒸镀源上的用于限定蒸镀源的最大蒸发角度的固定板。该角度板组件还包括相对于固定板移动的活动板，用于对蒸镀源的蒸发角度进行调节，以使得蒸发角度小于或等于最大蒸发角度。

由于上述角度板组件中的固定板能够限定出该蒸镀源的最大蒸发角度，因此仅采用固定板蒸镀时，得到的蒸镀区域的面积最大。在此基础上，当减小蒸镀源的蒸发角度时，得到的蒸镀区域的面积也会随之减小，而角度板组件中的活动板能够相对于固定板移动，因此可以通过调节活动板相对于固定板的位移，就可以达到调节蒸发角度的目的，以使得蒸发角度小于或等于上述最大蒸发角度，从而能够在最大蒸镀区域内对蒸镀区域面积的大小进行调节，满足不同的蒸镀需 求。综上所述，采用上述蒸镀单元进行蒸镀的过程中，当蒸镀需求不同导致蒸镀区域不同时，可以通过调节活动板的位移来实现蒸发角度的调节，因此能够避免频繁更换角度板而导致蒸镀工艺的时长，生产效率降低的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中提供的一种蒸镀源的结构示意图；

图2a为本实用新型提供的一种蒸镀单元的结构示意图；

图2b为本实用新型提供的一种线性蒸镀源的结构示意图；

图3a为本实用新型提供的一种平行设置的角度板组件的结构示意图；

图3b为图3a中的角度板组件的一种导向结构示意图；

图3c为图3a中的角度板组件的另一种导向结构示意图；

图4a为本实用新型提供的另一种平行设置的角度板组件的结构示意图；

图4b为图4a中的角度板组件的一种高度限位部的结构示意图；

图4c为图4a中的角度板组件的另一种高度限位部的结构示意图；

图5a为本实用新型提供的一种包括驱动部件的角度板组件结构示意图；

图5b为本实用新型提供的另一种包括驱动部件的角度板组件结构示意图；

图6为本实用新型提供的包括交叉设置的角度板组件的蒸镀单元的结构示意图；

图7a为本实用新型提供的一种交叉设置的角度板组件的结构示意图；

图7b为本实用新型提供的另一种交叉设置的角度板组件的结构示意图；

图7c为本实用新型提供的又一种交叉设置的角度板组件的结构示意图；

图8为本实用新型提供的又一种角度板组件的结构示意图；

图9为本实用新型提供的一种蒸镀装置的结构示意图；

图10为本实用新型提供的另一种蒸镀装置的结构示意图。

附图标记：

100-基板；101-蒸镀源；1011-线性坩埚；102-蒸镀口；103-角度板；104-掩膜版；1041-蒸镀图案；1042-蒸镀阴影；200-角度板组件；201-固定板；2011-导向槽；2012-滚动部件2013-导向块；2014-导向面；202-活动板；2021-活动子板；203-高度限位部；204-导向部件；205-角度限定部；2051-条状连接件；2052-挂钩；2053-凹槽；206-液压缸；2061-活塞杆；207-直线电机；2071-滑块；208-金属网；209-孔；10-第一蒸镀单元；20-第二蒸镀单元；30-第三蒸镀单元。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例提供一种蒸镀单元，如图2a所示，该蒸镀单元包括蒸镀源101以及设置于蒸镀源101的蒸镀口102至少一侧的角度板组件200，该角度板组件200包括竖直安装于蒸镀源101上的用于限定蒸镀源101的最大蒸发角度αm的固定板201，还包括相对于固定板201移动的活动板202，用于对蒸镀源101的蒸发角度进行调节，以使得蒸发角度小于或等于最大蒸发角度αm。

此处需要说明的，上述蒸发角度是指，由于在不设置角度板组件200时，从蒸镀源101的蒸镀口102直接蒸镀出的蒸镀材料过于分散，从而不能对蒸镀源101上方的蒸镀区域进行控制，通过设置角度板组件200对蒸镀材料的蒸镀角度进行限定，从而达到调整蒸镀区域的目的，即根据需要的蒸镀区域在角度板组件200的限定下蒸发材料的蒸镀角度为蒸发角度。

此处还需要说明的是，上述最大蒸发角度αm是指在固定板201的限定下，能够得到的最大蒸镀区域面积对应的蒸发角度。当固定板201的高度增加时，最大蒸镀区域面积减小，该最大蒸发角度αm也减小。

另外，蒸镀源101一般可以为点蒸镀源或线蒸镀源，由于点蒸镀源在蒸镀过程中对蒸发材料的利用率低，成膜均匀性差，而线蒸镀源对蒸发材料的利用率高且成膜均匀性好，因此，本实用新型优选的采用线蒸镀源。具体的，如图2b所示，该线性蒸镀源包括线性坩埚1011，以及的多个均匀分布的蒸镀口102。

由于上述角度板组件中的固定板能够限定出该蒸镀源的最大蒸发角度，因此仅采用固定板蒸镀时，得到的蒸镀区域的面积最大。在此基础上，当减小蒸镀源的蒸发角度时，得到的蒸镀区域的面积也会随之减小，而角度板组件中的活动板能够相对于固定板移动，因此可以通过调节活动板相对于固定板的位移，就可以达到调节蒸发角度的目的，以使得蒸发角度小于或等于上述最大蒸发角度，从而能够在最大蒸镀区域内对蒸镀区域面积的大小进行调节，满足不同的蒸镀需求。综上所述，采用上述蒸镀单元进行蒸镀的过程中，当蒸镀需求不同导致蒸镀区域不同时，可以通过调节活动板的位移来实现蒸发角度的调节，因此能够避免频繁更换角度板而导致蒸镀工艺的时长，生产效率降低的问题。

以下对活动板202相对于固定板201移动，以改变蒸镀角的具体过程进行详细的举例说明。

实施例一

本实施例中，如图2a所示，将活动板202与固定板201平行设置，以使得活动板202相对于固定板201移动时改变角度板组件200 沿竖直方向O-O’的高度。

具体的，如图2a所示通过调整活动板202相对于固定板201在竖直方向O-O’的相对位置，使得该角度板组件200沿竖直方向O-O’从高度D1调整至高度D2，进而使得蒸镀源101的蒸发角度从αm调整至α，即通过调整角度板组件200沿竖直方向O-O’的高度实现对蒸镀源101的蒸发角度进行调节的目的。

以下对上述活动板202与固定板201平行设置进行具体说明。

例如，如图3a所示，固定板201上设置有竖直的导向槽2011，活动板202安装于导向槽2011内，固定板201与活动板202之间设置有高度限位部203，用于在活动板202移动至预设高度时，以使得活动板202保持在预设高度。

此处需要说明的是，上述预设高度是指，当角度板组件200的高度调节至上述预设高度时，蒸镀得到的蒸镀区域的实际面积与根据蒸镀要求得出的蒸镀区域的预计面积相等或近似相等。

具体的，通过沿竖直方向O-O’移动活动板202，使得活动板202达到预设高度，此时通过高度限位部203固定活动板202和固定板201的位置，使得角度板组件200高度固定，从而满足在该角度板组件200高度限定下的蒸发角度与所需要的蒸镀区域对应。

另外，如图3a所示，上述高度限位部203可以是在活动板202和固定板201的侧壁设置螺纹孔，螺栓通过一个两端均设置与该螺纹孔相匹配的圆孔的连接件，能够固定活动板202和固定板201的相对位置，将活动板202保持在预设高度。

在此基础上，如图3b所示(沿图3a中C-C’方向的剖视图)，活动板202通过导向块2013安装于固定板201中的导向槽2011内，当活动板202相对于固定板201沿竖直方向O-O’移动时，该活动板202的导向块2013与固定板201的导向槽2011的导向面2014相接触，从而能够保证活动板202通过导向块2013沿导向槽2011在竖直方向O-O’移动。然而由于活动板202相对于固定板201移动时，导向块2013会与导向槽2011的导向面2014之间产生滑动摩擦，这样一来，在该摩擦力的作用下，使得在竖直方向O-O’移动该活动板202的阻力增大，而且在长时间的摩擦作用下，会对活动板202和固定板 201造成一定的损坏。

为了解决上述技术问题，如图3c所示，导向槽2011的导向面2014上安装有滚动部件2012，该滚动部件2012与活动板202相接触，具体的，该滚动部件2012上可以设置有多个与活动板202相接触的滚动件，该滚动件可以为轴承或辊轴，本实用新型对此不做限定。

这样一来，通过滚动部件2012，可以使得活动板202上的导向块2013与固定板201的导向面2012之间的滑动摩擦转变为滚动摩擦，从而大幅度减少活动板202与导向槽2011的侧壁之间的摩擦力，进而达到降低磨损以及省力的目的。

又例如，如图4a所示，角度板组件200包括竖直安装于蒸镀源101上的导向部件204，活动板202安装于该导向部件204内，活动板202与固定板201之间具有间隙S。固定板201与活动板202之间设置有高度限位部203(如图4b和4c所示)，用于在活动板202移动至预设高度时，以使得活动板202保持在预设高度。

具体的，例如，上述高度限位部203可以如图4b所示(图4a的侧视方向的一种高度限位部203的结构示意图)，在固定板201的上端面的两端设置螺纹孔，以及在活动板202与固定板201相邻的侧面的两侧设置螺纹孔，螺栓通过一个两端均设置与该螺纹孔相匹配的圆孔的直角连接件，能够固定活动板202和固定板201的相对位置，将活动板202保持在预设高度。

又例如，上述高度限位部203还可以如图4c所示(图4a的俯视方向的一种高度限位部203的结构示意图)，在导向部件204的导向面上设置凹孔，在活动板202侧壁设置弹性支柱，通过将弹性支柱卡入凹孔中，能够固定活动板202和固定板201的相对位置，使得活动板202保持在预设高度。

当然上述图3a、图4b以及图4c中仅是对高度限位部203的举例说明，本实用新型对高度限位部203的具体设置形式以及结构不做限定，只要能够通过该高度限位部203使得活动板202保持在预设高度即可。

在此基础上，当活动板201与固定板202平行设置时，上述蒸镀单元还包括驱动部件，这样一来，采用驱动部件来驱动活动板202相 对于固定板201移动，以调整角度板组件200沿竖直方向O-O’的高度，避免了通过人工对角度板组件200的调节，从而进一步提高生产效率。

以下对上述驱动部件的结构，以及该驱动部件与活动板202的设置方式进行具体说明。

例如，如图5a所示，该驱动部件可以为安装于蒸镀源101上的液压缸206，液压缸206的活塞杆2061与活动板202的底部相连接，通过活塞杆2061沿竖直方向O-O’移动带动活动板202沿竖直方向O-O’移动，从而达到调整角度板组件200沿竖直方向O-O’的高度的目的。

又例如，如图5b所示，该驱动部件还可以为安装于蒸镀源101上的直线电机207，直线电机207的滑块2071与活动板202的侧面相连接，通过滑块2071沿竖直方向O-O’移动带动活动板202沿竖直方向O-O’移动，从而达到调整角度板组件200沿竖直方向O-O’的高度的目的。

此处需要说明的是，上述通过液压缸206或者直线电机207驱动活动板202沿竖直方向O-O’移动，适用于图3a和图4a所示的任一种活动板202与固定板201平行设置的角度板组件200。具体的，当采用液压缸206驱动活动板202时，直接将液压缸206设置在活动板202下方，将液压缸206的活塞杆2061与活动板202的底部相连接即可。

当采用直线电机207驱动活动板202时，对于图3a所示的角度板组件200结构，可以将直线电机207设置在活动板202的至少一侧，直线电机207的滑块2071与活动板202的侧面相连接。对于图4a所示的角度板组件200结构，可以在活动板202的一侧设置导向部件204，另一侧设置直线电机207，且该直线电机207的滑块2071与活动板202的侧面相连接。

此外，上述通过活动板202相对于固定板201移动来调节蒸镀源101的蒸发角度的设置形式还可以如图6所示，活动板202与固定板201交叉设置，以使得活动板202相对于固定板201移动时改变角度板组件200与蒸镀口102的水平距离。

实施例二

本实施例中活动板202与固定板201交叉设置。

具体的，如图6所示，通过在调整活动板202相对于固定板201的夹角β，进而使得角度板组件200与蒸镀口102沿水平方向的距离，具体的，当活动板202与固定板201之间的夹角β为0时，角度板组件200与蒸镀口102的距离为L1，蒸发角度为α1，当活动板202与固定板201之间的夹角β为90°时，角度板组件200与蒸镀口102的距离为L2，蒸发角度为α2。这样一来，能够通过对活动板202与固定板201之间的夹角β调整，进而达到对角度板组件200与蒸镀口102沿水平方向的距离的调整，从而实现调整蒸发角度的目的。

以下对上述活动板202与固定板201交叉设置进行具体说明。

例如，如图7a所示，固定板201与活动板202铰接，且在固定板201与活动板202之间设置有角度限定部205，用于在活动板202转动至预设角度时，以使得活动板202保持在预设角度。

此处需要说明的是，上述预设角度是指，当角度板组件200与蒸镀口102沿水平方向调节至一定距离时，蒸镀得到的蒸镀区域的实际面积与根据蒸镀要求得出的蒸镀区域的预计面积相等或近似相等。

具体的，通过调整活动板202与固定板201的夹角β，当活动板202与固定板201之间达到预设角度时，通过角度限定部205固定活动板202和固定板201的位置，进而使得该角度板组件200与蒸镀口102沿水平方向的距离固定，从而满足在该角度板组件200限定下的蒸发角度与所需要的蒸镀区域对应。

进一步的，如图7a所示，上述角度限定部205包括条状连接件2051，该条状连接件2051的一端与固定板201的侧面活动连接，另一端设置有挂钩2052，活动板202的侧面设置有多个与挂钩2052相配合的凹槽2053。当活动板202转动至预设角度时，挂钩2052钩入与凹槽2053中，以使得活动板202保持在预设角度。

此外，上述角度限定部205还可以为固定板201与活动板202为过盈配合的方式铰接，使得活动板202与固定板201在铰接位置能够产生挤压，进而当活动板202相对于固定板201转动时，活动板 202与固定板201在铰接位置能够产生足够大的摩擦力，在该摩擦力的作用下，当活动板202转动至预设角度后能够保持在预设角度。当然上述仅是对角度限定部205的举例说明，本实用新型对角度限定部205的具体设置形式以及结构不做限定，只要能够通过该角度限定部205使得活动板202保持在预设角度即可。

在此基础上，为了增大上述活动板202调节蒸发角度的范围，如图7b所示，该活动板202包括多个活动子板2021，相邻两个活动子板2021之间铰接，且相邻两个活动子板2021之间设置有角度限定子部，用于在活动子板2021转动至预设角度时，以使得活动子板2021保持在预设角度。这样一来，通过对多个活动子板2021的调节，进而能够使得对蒸发角度的调节范围增大。

此处需要说明的是，上述角度限定子部可以同上述角度限定部205的结构和设置方式相同，此处不再赘述。

此处还需要说明的是，当活动板202包括多个活动子板2021时，例如，如图7b所示活动板202中包括两个活动子板2021和2021’时，相对于固定板201，两个活动子板2021和2021’的转动角度可以相同，例如两个活动子板2021可以均转动180°，从而增加该角度板组件200的高度。又例如，如图7c所示，两个活动子板2021和2021’的转动角度也可以不同，例如一个转动180°，另一个转动90°，能够增加角度板组件200的高度，同时减小角度板组件200与蒸镀口102沿水平方向的距离。本实用新型对多个活动子板2021中的每一个活动子板2021的具体转动角度不做限定，可以根据实际的生产需要进行设置。

进一步的，对于当采用实施例一或实施例二所述的蒸镀单元时，由于在蒸镀的过程中，蒸镀材料能够蒸镀至上方的蒸镀区域的同时，也会蒸镀至角度板组件200上。经过长时间的蒸镀作业后，角度板组件200的表面会附着大量的蒸镀材料。由于组成角度板组件200的固定板201和活动板202一般采用钢板制成，钢板表面比较平整，蒸镀材料与角度板组件200表面之间的结合力较小，进而导致附着在角度板组件200表面的蒸镀材料容易脱落，并引起蒸镀口102的阻塞和污染。

为了解决上述技术问题，如图8所示，在由钢板制成的固定板201和活动板202的表面覆盖金属网208，由于金属网208为网状结构，从而使得固定板201和活动板202的表面比较粗糙，进而使得蒸镀材料与固定板201和活动板202表面之间的结合力增大，这样一来，使得附着在固定板201和活动板202表面的蒸镀材料不易脱落，进而降低了因蒸镀材料脱落引起的蒸镀口102阻塞和污染的几率。

此外，为了增加固定板201和活动板202对蒸镀材料的附着量，如图8所示，可以在固定板201和活动板202上靠近蒸镀口102的一侧表面设置有多个孔209。这样一来，在蒸镀的过程中，蒸镀材料能够进入固定板201和活动板202表面的孔209中，从而能够增加固定板201和活动板202对蒸镀材料的附着量，进而降低了因蒸镀材料脱落引起的蒸镀口102阻塞和污染的几率。

本实用新型实施例还提供一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括上述任一种蒸镀单元，具有与前述实施例提供的蒸镀单元相同的有益效果。由于前述实施例已经对该蒸镀单元的有益效果进行了详细的描述，此处不再赘述。

在此基础上，如图9所示，在第一蒸单元10的蒸镀口两侧均设置有角度板组件200的情况下，该蒸镀装置还包括分别位于第一蒸镀单元10两侧的第二蒸镀单元20和第三蒸镀单元30。第二蒸镀单元20与第一蒸镀单元10之间共用第一蒸镀单元10的其中一个角度板组件200，第三蒸镀单元30与第一蒸镀单元10之间共用第一蒸镀单元10的另一个角度板组件200。

具体的，当该蒸镀装置包括第一蒸镀单元10、第二蒸镀单元20和第三蒸镀单元30时，可以通过在不同的蒸镀单元蒸镀不同的蒸镀材料，例如可以在第一蒸镀单元10中加入一种蒸镀材料，在二蒸镀单元20和第三蒸镀单元30加入另一种蒸镀材料，从而能够在同一蒸镀区域通过一次蒸镀过程实现两种蒸镀材料的混合蒸镀。

在蒸镀的过程中，通过调整第二蒸镀单元20左侧的角度板组件200以及第三蒸镀单元30右侧的角度板组件200来调整蒸镀区域，进而避免蒸镀材料蒸镀至蒸镀范围以外，然而如图9中区域E中所示，对于调控相同的蒸发角度，采用竖直方向O-O’上移动活动板201的调节方式，活动板201需要在竖直方向O-O’上移动的距离M，采用 水平方向转动活动板201的调节方式，活动板202需要在水平方向转动至距离N即可实现同样的蒸发角度，可以看出活动板201需要在竖直方向O-O’上移动的距离M远大于活动板202需要在水平方向转动的距离N，然而由于蒸镀装置与上方的基板100之间的竖直距离H有限，从而导致采用竖直方向O-O’上移动活动板201的调节方式无法实现对对两侧蒸镀区域的控制。

因此，本实用新型优选的第二蒸镀单元20和第三蒸镀单元30的角度板组件200为交叉设置活动板202与固定板201。这样一来，可以通过对活动板202与固定板201的夹角进行调节，以达到调节蒸发角度的目的，进而避免了因调节空间不足而无法控制两侧蒸镀区域的现象。

另外，本实用新型中第一蒸镀单元10的角度板组件200可以为平行设置的活动板201和固定板202，和/或，交叉设置的活动板201和固定板202，可以根据实际的蒸镀需要进行选择，本实用新型对此不做限定。

在此基础上，如图10所示，当需要在基板100上蒸镀具有一定的蒸镀图案1041时，需要在蒸镀装置和基板100之间设置掩膜版104，该掩膜版包括透过区A1和遮挡区A2。其中掩膜版104上的透过区A1的图案对应于基板100上需要蒸镀的蒸镀图案1041，由于掩膜版104与基板100之间具有一定的缝隙Z，蒸镀材料能够进入该缝隙形成蒸镀阴影1042。当蒸发角度越大时，蒸发角度对应的蒸镀区域的边缘部分由于蒸镀材料与基板100的倾角γ1小于蒸镀区域内部蒸镀材料与基板100的倾角γ2，从而使得蒸镀材料进入蒸镀区域的边缘部分比蒸镀区域内部的多，进而形成的蒸镀阴影1042的面积越大。这样一来，可以通过调整角度板组件200中活动板202相对于固定板201的位置，减小蒸发角度，进而达到减少蒸镀区域的边缘部分对应的蒸镀阴影1042的目的。

综上所述，如图9所示，可以通过调整第二蒸镀单元20左侧的角度板组件200以及第三蒸镀单元30右侧的角度板组件200来调整蒸镀区域的大小，同时通过调整第一蒸镀单元10两侧的角度板组件200可以减少蒸镀阴影1042。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保 护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。