一种蒸镀装置的制作方法

本实用新型属于显示屏制造技术领域，具体涉及一种蒸镀装置。

背景技术：

蒸镀是在真空条件下，将材料加热并镀到基底上的一种方法。现有的蒸镀装置，例如，OLED线源蒸镀装置，坩埚放置在内腔室(Inner House)中，蒸镀的过程中，汽化的材料充满整个内腔室，蒸镀结束后，剩余的材料会凝结在内腔室的室壁上。这种蒸镀装置，一方面由于内腔室内部难以清洗，造成蒸镀材料的污染；另一方面，由于蒸镀高温的反复作用，导致残留在内腔室室壁的材料裂解，即使通过先人工铲除后空烧的方法收集了残留材料，也不能再加以利用，造成了材料的浪费。

技术实现要素：

本实用新型针对如何解决蒸镀设备难以清洗以及蒸镀的剩余材料难以再利用的问题，提出了一种蒸镀装置，包括：蒸镀坩埚、蒸镀防沸板和顶盖，

所述蒸镀坩埚上设置有所述蒸镀防沸板；

所述蒸镀防沸板和顶盖之间设置有蒸镀腔室；

所述蒸镀腔室连接有与所述蒸镀腔室连通的可拆卸的冷却室；

还包括设置在所述冷却室和所述蒸镀腔室之间的隔板，用于导通或分隔所述蒸镀腔室和冷却室。

优选地，还包括：

冷却层，设置于所述冷却室的外壁。

优选地，还包括：

控制元件，用于调整所述隔板的位置，以导通或分隔所述蒸镀 腔室和冷却室。

优选地，所述控制元件包括：

驱动元件，用于驱动所述隔板，以隔开或导通所述蒸镀腔室和冷却室。

优选地，所述控制元件包括：

复位元件，用于使导通或分隔所述蒸镀腔室和冷却室的隔板复原。

优选地，还包括密封壁；

所述密封壁设置在所述蒸镀坩埚开口边缘，用于密封所述蒸镀坩埚开口与所述坩埚防沸板之间的缝隙。

优选地，所述密封壁包括平行于所述蒸镀防沸板的第一壁面和垂直于所述蒸镀防沸板的第二壁面，所述第二壁面用于夹持蒸镀坩埚的外壁。

优选地，所述蒸镀防沸板与所述密封壁通过凹槽啮合。

优选地，还包括：容纳腔和第一弹性元件；

所述容纳腔设置在所述蒸镀坩埚的外壁上；

所述第一弹性元件的一端连接所述容纳腔的内壁，另一端连接所述密封壁。

优选地，还包括：

第一密封板，用于密封所述蒸镀腔室顶部至所述密封壁底部；

第二密封板，用于密封所述容纳腔。

本实用新型提供的蒸镀装置在蒸镀过程中，隔板将冷却室和蒸镀腔室分隔，防止蒸镀过程中的高温气体进入冷却室，形成难以清洗的残余材料层；蒸镀结束后，隔板打开，剩余蒸镀材料进入冷却室进行冷却，冷却室可拆卸，在对蒸镀装置进行清洗时，拆卸冷却室进行便可进行清洗。一方面，该装置阻止了高温对剩余蒸镀材料的反复作用而产生的裂解，以使剩余蒸镀材料可以再利用；另一方 面，该装置的冷却室可拆卸，方便对冷却室进行清洗；此外，相比于具有较大体积的内腔室的蒸镀装置，本实施例中提供的蒸镀装置中的蒸镀腔室可使得蒸镀过程中气体更快达到蒸汽压。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的蒸镀装置的主视图；

图2是本实用新型实施例提供的用于与图1中的蒸镀装置进行对比的另一种蒸镀装置的主视图；

图3是本实用新型实施例提供的另一种蒸镀装置的主视图；

图4是本实用新型实施例提供的图3中的蒸镀装置的侧视图；

图5是本实用新型实施例提供的图3中的蒸镀装置中的蒸镀防沸板和密封壁结合的示意图；

图6是本实用新型实施例提供的蒸镀装置的第一密封板的结构示意图；

图7是本实用新型实施例提供的蒸镀装置的第二密封板的结构示意图；

图8是本实用新型实施例提供的图3中的蒸镀装置在安装了第一密封板后的主视图；

图9是本实用新型实施例提供的图3中的蒸镀装置在安装了第二密封板后的主视图；

附图标记说明：

101-蒸镀防沸板；102-顶盖；103-蒸镀腔室；104-冷却室；105-隔板；106-蒸镀坩埚；107-加热丝；108-蒸镀喷嘴；201-内腔室；202- 外腔室的室壁；301-冷却层；302-复位元件；303-驱动元件；304-容纳腔；305-密封壁；306-第一弹性元件；307-支撑结构；401-第二密封板；402-第一密封板。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

图1是本实用新型实施例提供的蒸镀装置的主视图，参见图1，该蒸镀装置，包括：蒸镀坩埚106、蒸镀防沸板101和顶盖102，

蒸镀坩埚106上设置有蒸镀防沸板101；

蒸镀防沸板101和顶盖102之间设置有蒸镀腔室103；

蒸镀腔室103连接有与蒸镀腔室103连通的可拆卸的冷却室104；

还包括设置在冷却室104和蒸镀腔室103之间的隔板105，用于导通或分隔蒸镀腔室103和冷却室104。

可理解的是，蒸镀坩埚106的下面是加热丝107，以对蒸镀坩埚106进行加热。顶盖102上还设置有蒸镀喷嘴108，加热后的气体通过蒸镀喷嘴108对需要进行蒸镀的基板进行蒸镀。

本实用新型提供的蒸镀装置在蒸镀过程中，隔板105将冷却室104和蒸镀腔室103分隔，防止蒸镀过程中的高温气体进入冷却室104，形成难以清洗的残余材料层；蒸镀结束后，隔板105打开，剩余蒸镀材料进入冷却室104进行冷却，冷却室可拆卸，在对蒸镀装置进行清洗时，拆卸冷却室104进行便可进行清洗。

作为图1中提供的蒸镀装置的对比装置，参见图2，相比于图1中 的蒸镀转置，该蒸镀装置没有蒸镀腔室103、冷却室104和隔板105，取而代之的是内腔室201。图2中的蒸镀装置还包括外腔室(图2中的202是外腔室的室壁)，整个蒸镀装置设置在外腔室中，起到保护整个蒸镀装置的作用。

图2提供的蒸镀装置在蒸镀的过程中，加热丝107对坩埚106内的蒸镀材料进行加热，使得蒸镀坩埚106内的蒸镀材料汽化，汽化后的蒸镀材料通过蒸镀防沸板101上的通孔进入内腔室201。内腔室201内的蒸镀材料在达到预定的蒸汽压后，会从顶盖102上的蒸镀喷嘴108喷出，以蒸镀需要进行的基板。在这个过程中，高温的气体进入内腔室201,在内腔室201的室壁上沉积，由于温度较高，蒸镀材料会与内腔室201的室壁紧密结合，且内腔室201体积较大，不便拆卸，造成内腔室201的室壁上的蒸镀材料难以清洗。残余在内腔室201室壁上的蒸镀材料会对下一次蒸镀的蒸镀材料造成污染。此外，即使采用先铲除后烧空的方法将材料从内腔室201的室壁上清除且收集起来，由于在蒸镀过程中高温的反复作用，这些材料也会产生裂解，不能再利用。

相比于图2中的蒸镀装置，图1中的蒸镀装置蒸镀的过程中汽化的蒸镀材料不能进入冷却室104，防止了高温汽化的蒸镀材料在冷却室104的室壁上形成紧密结合的沉积层，难以清除，另一方面也防止了高温对冷却室104的室壁的反复作用而导致沉积在冷却室104的室壁上的蒸镀材料发生裂解，不能再利用。

图1中的蒸镀装置在蒸镀结束后，打开隔板105，使得蒸镀材料进入冷却室104。此时，加热丝107已经停止对蒸镀坩埚106的加热，蒸镀材料在冷却室104的室壁上形成的冷却层与冷却室104的室壁的结合力较小，便于清洗。冷却室104可拆卸地连接于蒸镀腔室103，便于将冷却室104拆卸进行清洗。

另一方面，相比于图2中的蒸镀装置，该蒸镀装置蒸镀腔室103的体积小于图2中内腔室201的体积，可使得蒸镀材料较快的达到蒸汽 压，对需要进行蒸镀的基板进行蒸镀。

本实施例提供的蒸镀装置一方面阻止了高温对剩余蒸镀材料的反复作用而产生的裂解，以使剩余蒸镀材料可以再利用；另一方面，冷却室104可拆卸，方便对冷却室104进行清洗；此外，相比于具有较大体积的内腔室201的蒸镀装置，本实施例中提供的蒸镀装置中的蒸镀腔室103可使得蒸镀过程中气体更快达到蒸汽压。

作为一种更为具体的实施例，参见图3，本实施例提供的蒸镀装置为OLED线源蒸镀装置，其在图1中提供的蒸镀装置的基础上还包括：

冷却层301，设置于冷却室104的外壁。

冷却层301可以是循环氮气，也可以是循环冷却水，或者其它用于冷却的物质来降低冷却室104内的温度。冷却层301降低冷却室104内的温度，使得进入到冷却室104内的蒸镀材料快速沉积。

更进一步地，该蒸镀装置还包括：

控制元件，用于调整隔板105的位置，以导通或分隔蒸镀腔室103和冷却室104。

具体地，该控制元件包括：驱动元件303和与之相配合的复位元件302。

驱动元件303，用于驱动隔板105，以隔开或导通蒸镀腔室103和冷却室104。

复位元件302，用于使导通或分隔蒸镀腔室103和冷却室104的隔板复原。

驱动元件303可以是各种机械驱动元件或电磁驱动元件，而复位元件302优选采用弹性元件。驱动元件303用于驱动隔板105分隔蒸镀腔室103和冷却室104，而复位元件302用于使分隔蒸镀腔室103和冷却室104的隔板105复原。

具体地，驱动元件303可以是电磁驱动元件或机械驱动元件； 当驱动元件为机械驱动元件时，可以采用油缸、气缸或电机驱动的丝杠实现，该驱动元件的第一端固定在隔板105上，第二端固定在与隔板105相邻或者相对的冷却室104的内壁上。

当驱动元件303为电磁元件，可以不设置复位元件302，而用安装隔板105上的第一电磁元件和安装在蒸镀腔室103或冷却室104的室壁上的第二电磁元件来控制隔板105的位置。向第二电磁元件施加第一电压信号使第二电磁元件产生与第一电磁元件相同的磁场，在磁场力的作用下，驱动第一电磁元件向相反的方向运动，使第一电磁元件远离第二电磁元件，隔板105在第一电磁元件驱动下隔开蒸镀腔室103和冷却室104。反之，向第二电磁元件施加与第一电压信号相反的第二电压信号，使第二电磁元件产生与第一电磁元件相反的磁场，在磁场力的作用下，驱动第一电磁元件向相向的方向运动，使第一电磁元件靠近第二电磁元件，隔板105在第一电磁元件驱动下导通(复原)蒸镀腔室103和冷却室104。

当然也可以安装与驱动元件303配合的复位元件302，如图3所示，利用弹性元件作为复位元件302，以使隔板105隔开蒸镀腔室103和冷却室104，利用设置于蒸镀腔室103的侧壁上的电磁元件作为驱动元件303，以分隔蒸镀腔室103和冷却室104。具体来说，当复位元件302优选为弹性元件(例如，弹簧)时，弹性元件的一端连接冷却室104的内壁，另一端连接隔板105，向冷却室104方向拉开隔板105(这种情况下，当挡板隔开蒸镀腔室103和冷却室104时，弹性元件处于拉伸状态，且挡板105可向冷却室104方向运动，如图3所示)。

控制元件的设置可以更加便捷地在蒸镀过程中和蒸镀结束后，控制隔板105的位置。

更进一步地，该蒸镀装置还包括密封壁305，设置在蒸镀坩埚106开口边缘，用于密封蒸镀坩埚106开口与坩埚防沸板101之间的 缝隙。

密封壁305可以是Invar合金薄片，密封壁305用于密封蒸镀坩埚106，使得蒸镀坩埚106内的汽化的蒸镀材料只能通过蒸镀防沸板101上的开口进入蒸镀腔室103。

密封壁305可以设置蒸镀防沸板101和蒸镀坩埚106外援，密封蒸镀防沸板101和蒸镀坩埚106之间的缝隙，也可以是设置在蒸镀坩埚106与蒸镀防沸板101结合的边沿位置处，还可以是如图3中所示的结构，位于蒸镀坩埚106的上方，并在蒸镀坩埚106和蒸镀防沸板101之间支撑一定的空间。在图3中的这种结构中，蒸镀防沸板101直接放置在密封壁305上，使得坩埚内的气体直接从密封壁305和蒸镀防沸板101上相对应的通孔中进入蒸镀腔室103。在图3的这种结构中，密封壁305对蒸镀坩埚106整个上方区域进行密封，具有更好的气密性。

具体地，密封壁305包括平行于蒸镀防沸板101的第一壁面和垂直于蒸镀防沸板101的第二壁面，该第二壁面用于夹持蒸镀坩埚106的外壁。

蒸镀防沸板101放置在密封壁305的第一壁面上，密封壁305的第一壁面夹持在蒸镀坩埚106的边缘，以将整个密封壁305支撑在蒸镀坩埚106的上方。同时，垂直设置的第二壁面可贴合于蒸镀坩埚106的侧壁上，也防止汽化的蒸镀材料从蒸镀坩埚106的边缘处逸出。

进一步地，蒸镀防沸板101与密封壁305通过凹槽啮合。如图5所示，在密封壁305和蒸镀防沸板101接触的区域设置凹槽啮合的结构，防止蒸镀坩埚106内汽化的蒸镀材料从蒸镀坩埚106边缘处或者从蒸镀防沸板101与密封壁305结合处逸出，提高了蒸镀坩埚106的气密性。

进一步地，该蒸镀装置还包括：容纳腔304和第一弹性元件306；

容纳腔304设置在蒸镀坩埚106的外壁上；

第一弹性元件306的一端连接容纳腔304的内壁，另一端连接密封壁305。

容纳腔304对冷却室104具有支撑作用，同时，冷却室104和蒸镀腔室103连接的位置位于中空的容纳腔304中，防止了在冷却室104和蒸镀腔室103连接不紧密的情况下造成的气体泄漏。

第一弹性元件306可以是弹簧，其通过弹力将密封壁305紧贴于蒸镀坩埚106上，一方面对整个密封壁305具有固定作用，另一方面，在第一弹性元件306的作用下，密封壁305可以更加紧密的贴合于蒸镀坩埚106的侧壁上，增强了蒸镀坩埚106的气密性。

进一步地，如图4所示，该蒸镀装置还包括第一密封板402和第二密封板401，第一密封板402的结构如图6所示，第二密封板401的结构如图7所示。

第一密封板402，用于密封蒸镀腔室103顶部至密封壁305底部，参见图8。

第二密封板401，用于密封容纳腔304，参见图9。

为了保证第一密封板402和第二密封板401起到更好的密封作用，在第一密封板402和第二密封板401的内侧均设置有石墨垫片。此外，石墨垫片还具有热隔绝的作用，防止了蒸镀装置内的热量的散失。当然，在蒸镀防沸板101与密封壁305结合处也可以设置石墨垫片，以达到更佳的密封效果。

为了增强蒸镀腔室103的稳固性，还可以在蒸镀腔室103的边缘处设置支撑结构，如图3中的307所示。支撑结构307的一端设置在顶盖102上，另一端设置在蒸镀防沸板101上，以稳定蒸镀腔室103。支撑结构307可以设置在蒸镀防沸板101的四个拐角处，或者均匀的设置在蒸镀防沸板101上，只要能够保证每一支撑结构307上的受力是均匀的即可。

本实施例提供的蒸镀装置，在蒸镀前将蒸镀坩埚106抽出，放入蒸镀材料。将盛有蒸镀材料的蒸镀坩埚106推入蒸镀装置中，盖上第一密封板402和第二密封板401。关闭隔板105，以将冷却室104和蒸镀腔室103隔开，然后，通过加热丝107加热蒸镀坩埚106。待蒸镀坩埚106中的材料汽化，且在蒸镀腔室103中达到预设的蒸汽压后，通过设置在顶盖102上的蒸镀喷嘴108对需要进行蒸镀的基板进行蒸镀。蒸镀结束后，停止加热丝107的加热作用，打开隔板105，以导通冷却室104和蒸镀腔室103，使汽化的蒸镀材料进入冷却室104，沉积在冷却室104的室壁上。拆卸冷却室104进行清洗，收集冷却室104内的蒸镀材料以再利用。

以上结合附图详细说明了本实用新型的技术方案，由于现有技术中没有考虑到显示装置的挠性材料卷曲后再伸展时，无法保持平整，进而影响显示产品的显示效果的问题。通过本申请的技术方案，压紧装置的设置能够在在卷帘展开后，压紧整个卷帘或者卷帘的部分区域上，以使卷帘上的褶皱在压紧结构的压力作用下平整展开，解决了显示产品中，挠性材料的卷帘卷曲后再伸展时，无法保持平整，进而影响显示产品的显示效果的问题。

在本实用新型中，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“多个”指两个或两个以上，除非另有明确的限定。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。