本实用新型涉及一种丝架结构，具体地说本实用新型涉及一种热丝 CVD沉积系统的丝架结构。
背景技术：
目前， 金刚石薄膜的制备技术主要包括微波等离子体化学气相沉积、 直流等离子体喷射化学气相沉积、热丝化学气相沉积等；相对于其它两种技术， 热丝法可制备大面积金刚石薄膜，且综合成本最低；热丝架的设计是热丝 CVD 沉积系统制备大面积金刚石膜的核心内容；现有热丝架结构主要采用水平结构，当热丝被迅速加热， 从而产生膨胀， 长度随之增加，且钽丝会下垂，导致基片台温场不均匀，沉积的金刚石也不均匀。
技术实现要素：
为了克服背景技术中的不足，本实用新型公开了一种热丝 CVD沉积系统的丝架结构，通过将热丝架设置为竖直安装的方式，实现了热丝不下垂，基片台温场均匀的目的。
为实现上述发明目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种热丝 CVD沉积系统的丝架结构，包括固定钽丝杆A、支撑架、钽丝、固定钽丝杆B和丝架固定杆，在平行间隔设置的两根竖向支撑架之间的两端分别设有固定钽丝杆A和固定钽丝杆B，在固定钽丝杆B的外侧设有拉簧固定组件，多根钽丝的一端均布在固定钽丝杆A上，多根钽丝的另一端分别穿过固定钽丝杆B后与拉簧固定组件上设置的多根耐高温拉簧固定连接。
所述的热丝 CVD沉积系统的丝架结构，所述拉簧固定组件设置为U型架，所述U型架的两侧壁分别固定在固定钽丝杆B的两侧面上，多根耐高温拉簧的一端分别与U型架的横板固定连接。
所述的热丝 CVD沉积系统的丝架结构，在固定钽丝杆B的端部设有电极固定孔。
所述的热丝 CVD沉积系统的丝架结构，所述多根钽丝的长度、直径均相同。
所述的热丝 CVD沉积系统的丝架结构，所述钽丝与耐高温拉簧的数量相同。
由于采用了上述技术方案，本实用新型具有如下优越性：
本实用新型所述的热丝 CVD沉积系统的丝架结构，通过竖直设置钽丝3，钽丝3受到重力的作用，避免了传统的水平结构导致钽丝受热变形后下垂的弊端，本实用新型由于钽丝不下垂，基片台温场均匀，因此能够得到均匀性很好的金刚石膜。
【附图说明】
图1是本实用新型的结构示意图；
在图中：1、固定钽丝杆A；2、支撑架；3、钽丝；4、丝架固定杆；5、固定钽丝杆B；6、耐高温拉簧；7、拉簧固定组件；8、电极固定孔。
【具体实施方式】
通过下面的实施例可以更详细的解释本实用新型，本实用新型并不局限于下面的实施例；
结合附图1所述的热丝 CVD沉积系统的丝架结构，包括固定钽丝杆A1、支撑架2、钽丝3、固定钽丝杆B5和丝架固定杆4，在平行间隔设置的两根竖向支撑架2之间的两端分别设有固定钽丝杆A1和固定钽丝杆B5，在固定钽丝杆B5的外侧设有拉簧固定组件7，多根钽丝3的一端均布在固定钽丝杆A1上，多根钽丝3的另一端分别穿过固定钽丝杆B5后与拉簧固定组件7上设置的多根耐高温拉簧6固定连接。
所述的热丝 CVD沉积系统的丝架结构，所述拉簧固定组件7设置为U型架，所述U型架的两侧壁分别固定在固定钽丝杆B5的两侧面上，多根耐高温拉簧6的一端分别与U型架的横板固定连接。
所述的热丝 CVD沉积系统的丝架结构，在固定钽丝杆B5的端部设有电极固定孔8。
所述的热丝 CVD沉积系统的丝架结构，所述多根钽丝3的长度、直径均相同。
所述的热丝 CVD沉积系统的丝架结构，所述钽丝3与耐高温拉簧6的数量相同。
实施本实用新型所述的热丝 CVD沉积系统的丝架结构，在使用时，先将钽丝固定杆A1、支撑架2、丝架固定杆4、固定钽丝杆5通过电极固定孔8等连接固定好，然后将钽丝3通过耐高温拉簧6和拉簧固定组件7固定好，固定好后拆掉丝架固定杆4，给钽丝固定杆A1和钽丝固定杆B5分别通正电和负电，实现钽丝加热，本实用新型由于钽丝不下垂，基片台温场均匀，因此能够得到均匀性很好的金刚石膜。
本实用新型未详述部分为现有技术。
为了公开本实用新型的发明目的而在本文中选用的实施例，当前认为是适宜的，但是，应了解的是，本实用新型旨在包括一切属于本构思和实用新型范围内的实施例的所有变化和改进。