技术总结
一种热丝CVD沉积系统的丝架结构，涉及一种丝架结构，包括固定钽丝杆A（1）、支撑架（2）、钽丝（3）、固定钽丝杆B（5）和丝架固定杆（4），在平行间隔设置的两根竖向支撑架（2）之间的两端分别设有固定钽丝杆A（1）和固定钽丝杆B（5），在固定钽丝杆B（5）的外侧设有拉簧固定组件（7），多根钽丝（3）的一端均布在固定钽丝杆A（1）上，多根钽丝（3）的另一端分别穿过固定钽丝杆B（5）后与拉簧固定组件（7）上设置的多根耐高温拉簧（6）固定连接；本实用新型通过将热丝架设置为竖直安装的方式，实现了热丝不下垂，基片台温场均匀的目的。
技术研发人员：邹杨;孙蕾;杨宜珍;邹松东;孙凌
受保护的技术使用者：洛阳奥尔材料科技有限公司
文档号码：201620591954
技术研发日：2016.06.17
技术公布日：2016.12.14