石墨烯薄膜连续生长支撑结构的制作方法

文档序号:12393938阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种石墨烯薄膜连续生长支撑结构,其特征在于,包括安装在加热真空腔室(1)中的导轨(2),所述导轨(2)安装在加热真空腔室(1)内壁相对设置的支承座(3)之间,所述导轨(2)与对应加热真空腔室(1)内壁之间设置有流通间隙(4),所述支承座(3)设置有流通通道(5),所述流通通道(5)一端与流通间隙相连,另一端位于导轨(2)下方。

2.根据权利要求1所述的石墨烯薄膜连续生长支撑结构,其特征在于,所述导轨(2)两侧相对设置有限位槽(6),位于导轨(2)端部的限位槽(6)高度由内向外逐渐减小。

3.根据权利要求1或2所述的石墨烯薄膜连续生长支撑结构,其特征在于,所述导轨(2)包括串连连接的多个分段。

4.根据权利要求1所述的石墨烯薄膜连续生长支撑结构,其特征在于,所述支承座(3)在加热真空腔室(1)内轴向间隔且相对设置多组。

5.根据权利要求1或4所述的石墨烯薄膜连续生长支撑结构,其特征在于,所述的支承座(3)为管状,与加热真空腔室(1)轴向平行。

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