一种双激光辐照器表面镀膜装置的制作方法

文档序号:12393925阅读:365来源:国知局
一种双激光辐照器表面镀膜装置的制作方法

本实用新型涉及镀膜装置技术领域,具体为一种双激光辐照器表面镀膜装置。



背景技术:

进行表面镀膜的处理由于加热丝和离子化丝产生高温,往往会导致加热丝和离子化丝构成材料的一部分蒸发,并混入蒸镀材料的蒸汽中成为杂质, 从而最终造成功能薄膜纯度降低,影响成膜质量,例如专利号为201120144899.6的专利,包括真空容器,内置于真空容器中的用于容纳蒸镀材料的坩锅,用于产生照射并加热蒸镀材料的激光束的第一激光辐照器,用于产生离子化蒸镀材料蒸汽的激光束的第二激光辐照器,虽然强化了离子化的效率,但是不能保证真空箱内的真空度,在镀膜过程中很可能发生氧化的现象,同时每次只能镀膜一个,需要反复地拿取,效率低下。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种双激光辐照器表面镀膜装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种双激光辐照器表面镀膜装置,包括真空箱,所述真空箱的右侧顶端固定安装有控制器,所述真空箱的左右两侧底端分别设有第二激光发生器和第一激光发生器,所述第二激光发生器和第一激光发生器均与控制器电性连接,所述真空箱的内腔左侧设有第二激光辐照器,所述第二激光发生器与第二激光辐照器相连,所述真空箱的内腔右上角设有第一激光辐照器,所述第一激光发生器与第一激光辐照器相连,所述第一激光辐照器的右侧设有第一电动伸缩杆,所述第一电动伸缩杆与控制器电性连接,所述第一电动伸缩杆的右侧与真空箱相连,所述真空箱的内腔底端固定安装有第二滑杆,所述第二滑杆的顶端设有支撑座,所述第二滑杆与支撑座滑动连接,所述支撑座的顶端固定安装有坩锅,所述支撑座的右侧设有第二电动伸缩杆,所述第二电动伸缩杆与控制器电性连接,所述第二电动伸缩杆的右侧与真空箱相连,所述真空箱的内腔顶端设有第一滑杆,所述第一滑杆的底端设有固定装置,所述固定装置包括固定板,所述固定板的顶端固定安装有滑动杆,所述滑动杆与第一滑杆滑动连接,所述第二激光辐照器的上下两侧分别设有吸收管道和真空检测器,所述真空检测器与控制器电性连接,所述第二激光发生器的左侧设有真空泵,所述真空泵与控制器电性连接,所述真空泵通过输送管道贯穿真空箱与吸收管道相连。

优选的,所述固定板的外壁上设有螺杆,所述固定板与螺杆螺纹相连,所述螺杆的内侧固定安装有固定杆。

优选的,所述固定杆的外壁上设有柔性垫。

优选的,所述第二电动伸缩杆与真空箱的连接处设有加固板。

优选的,所述吸收管道的外侧设有分气管。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该双激光辐照器表面镀膜装置,通过真空检测器可以检测真空箱内是否达到真空,如果没有达到真空,控制器控制真空泵把真空箱内的空气通过吸收管道吸收出去,使真空箱保持真空状况,防止在镀膜时氧化,通过多个固定装置可以固定多个被镀膜的物品,通过第一滑杆与滑动杆滑动连接,可以改变固定板相互之间的间距,可以固定大小不同的镀膜物品,通过控制器控制第一电动伸缩杆伸缩,可以控制第一激光辐照器的位置,从而改变第一激光辐照器和第二激光辐照器的光线交叉角度,通过第二电动伸缩杆可以带动支撑座在第二滑杆上滑动,从而改变坩锅的位置,使坩锅位于光线交叉的位置,可以在镀膜完一个物品时,进行镀膜下一个物品,不必反复地取拿镀膜物品,强化了离子化的效率,提高了镀膜的效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型的固定装置放大结构示意图。

图中:1、真空箱,2、第一滑杆,3、固定装置,301、固定板,302、滑动杆,303、固定杆,304、柔性垫,305、螺杆,4、 第一激光辐照器,5、第一电动伸缩杆,6、控制器,7、第一激光发生器,8、加固板,9、第二电动伸缩杆,10、坩锅,11、支撑座,12、第二滑杆,13、真空检测器,14、第二激光发生器,15、真空泵,16、第二激光辐照器,17、分气管,18、输送管道,19、吸收管道。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2,本实用新型提供一种技术方案:一种双激光辐照器表面镀膜装置,包括真空箱1,所述真空箱1的右侧顶端固定安装有控制器6,所述真空箱1的左右两侧底端分别设有第二激光发生器14和第一激光发生器7,所述第二激光发生器14和第一激光发生器7均与控制器6电性连接,所述真空箱1的内腔左侧设有第二激光辐照器16,所述第二激光发生器14与第二激光辐照器16相连,所述真空箱1的内腔右上角设有第一激光辐照器4,所述第一激光发生器7与第一激光辐照器4相连,所述第一激光辐照器4的右侧设有第一电动伸缩杆5,所述第一电动伸缩杆5与控制器6电性连接,所述第一电动伸缩杆5的右侧与真空箱1相连,所述真空箱1的内腔底端固定安装有第二滑杆12,所述第二滑杆12的顶端设有支撑座11,所述第二滑杆12与支撑座11滑动连接,所述支撑座11的顶端固定安装有坩锅10,所述支撑座11的右侧设有第二电动伸缩杆9,所述第二电动伸缩杆9与控制器6电性连接,所述第二电动伸缩杆9的右侧与真空箱1相连,通过控制器6控制第一电动伸缩杆5伸缩,可以控制第一激光辐照器4的位置,从而改变第一激光辐照器4和第二激光辐照器16的光线交叉角度,通过第二电动伸缩杆9可以带动支撑座11在第二滑杆12上滑动,从而改变坩锅10的位置,使坩锅10位于光线交叉的位置,可以在镀膜完一个物品时,进行镀膜下一个物品,不必反复地取拿镀膜物品,强化了离子化的效率,所述第二电动伸缩杆9与真空箱1的连接处设有加固板8,通过加固板8可以使第二电动伸缩杆9与真空箱1的连接更牢固,所述真空箱1的内腔顶端设有第一滑杆2,所述第一滑杆2的底端设有固定装置3,所述固定装置3包括固定板301,所述固定板301的顶端固定安装有滑动杆302,所述滑动杆302与第一滑杆2滑动连接,通过多个固定装置3可以固定多个被镀膜的物品,通过第一滑杆2与滑动杆302滑动连接,可以改变固定板301相互间的间距,可以固定大小不同的镀膜物品,所述固定板301的外壁上设有螺杆305,所述固定板301与螺杆305螺纹相连,所述螺杆305的内侧固定安装有固定杆303,所述固定杆303的外壁上设有柔性垫304,扭动螺杆305可以通过固定杆303加固镀膜物品,所述第二激光辐照器16的上下两侧分别设有吸收管道19和真空检测器13,所述真空检测器13与控制器6电性连接,所述吸收管道19的外侧设有分气管17,所述第二激光发生器14的左侧设有真空泵15,所述真空泵15与控制器6电性连接,所述真空泵15通过输送管道18贯穿真空箱1与吸收管道19相连,通过真空检测器13可以检测真空箱1内是否达到真空,如果没有达到真空,控制器6控制真空泵15把真空箱1内的空气通过吸收管道19吸收出去,使真空箱1保持真空状况,防止在镀膜时氧化。

使用时,通过真空检测器13可以检测真空箱1内是否达到真空,如果没有达到真空,控制器6为微程序控制器,控制真空泵15把真空箱1内的空气通过吸收管道19吸收出去,使真空箱1保持真空状况,防止在镀膜时氧化,通过多个固定装置3可以固定多个被镀膜的物品,通过第一滑杆2与滑动杆302滑动连接,可以改变固定板301相互之间的间距,可以固定大小不同的镀膜物品,通过控制器6控制第一电动伸缩杆5伸缩,可以控制第一激光辐照器4的位置,从而改变第一激光辐照器4和第二激光辐照器16的光线交叉角度,通过第二电动伸缩杆9可以带动支撑座11在第二滑杆12上滑动,从而改变坩锅10的位置,使坩锅10位于光线交叉的位置,可以在镀膜完一个物品时,进行镀膜下一个物品,不必反复地取拿镀膜物品,强化了离子化的效率,提高了镀膜的效率。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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