技术总结
一种石墨烯薄膜连续生长支撑结构，包括安装在加热真空腔室中的导轨，所述导轨安装在加热真空腔室内壁相对设置的支承座之间，所述导轨与对应加热真空腔室内壁之间设置有流通间隙，所述支承座设置有流通通道，所述流通通道一端与流通间隙相连，另一端位于导轨下方。石墨烯薄膜连续生长支撑结构通过导轨支撑生长石墨烯的衬底材料，能够减轻衬底材料在移动过程中发生振动，保证其能够充分与反应气体接触，提高石墨烯的生长质量。导轨将加热真空腔室分割成上下两部分，通过流通间隙和流通通道，使上下两部分气流流通，热量能够充分流动，使整个加热真空腔室内的温度均匀，衬底材料受热均匀，保证石墨烯的生长质量。
技术研发人员：张海林;滕玉朋
受保护的技术使用者：青岛赛瑞达电子科技有限公司
文档号码：201620680003
技术研发日：2016.06.30
技术公布日：2017.01.04