卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备的制作方法

文档序号:12393940阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备,其特征在于,包括置料真空腔室(1)、加热真空腔室(2)、和加热装置(3),

所述置料真空腔室(1)设置有两个,

所述加热真空腔室(2)位于加热装置(3)内,两端伸出并与对应的置料真空腔室(1)设置的连通口(2-1)相连通,

所述置料真空腔室(1)内安装有置料辊(1-1)和输送辅助装置(1-2),所述输送辅助装置(1-2)位于对应置料辊(1-1)内侧,并与连通口(2-1)对齐,

所述输送辅助装置(1-2)为上下相对设置并且相互啮合的两个压辊,

一个置料真空腔室(1)连接有抽真空装置(4)。

2.根据权利要求1所述的卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备,其特征在于,所述置料真空腔室(1)中的置料辊(1-1)和输送辅助装置(1-2)之间安装有辅助支撑板(1-3),所述辅助支撑板(1-3)倾斜设置。

3.根据权利要求1所述的卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备,其特征在于,所述置料真空腔室(1)内侧壁上安装有隔热装置(1-4),所述隔热装置(1-4)与连通口(2-1)对齐。

4.根据权利要求3所述的卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备,其特征在于,所述隔热装置(1-4)为片状且间隔设置的多个隔热反射屏,所述隔热反射屏设置有通过口(1-5),所述通过口(1-5)与连通口(2-1)对齐。

5.根据权利要求1所述的卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备,其特征在于,所述置料真空腔室(1)的连通口(2-1)上设置有环形弥散腔(2-2),所述环形弥散腔(2-2)位于置料真空腔室(1)的壳体中,并与其同轴,所述环形弥散腔(2-2)的内壁周向设置有多个通气孔(2-3),外壁设置有流通口(2-4)。

6.根据权利要求1所述的卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备,其特征在于,所述加热真空腔室(2)内安装有支撑导轨(2-5),所述支撑导轨(2-5)两端分别于对应置料真空腔室(1)的连通口(2-1)平齐。

7.根据权利要求6所述的卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备,其特征在于,所述支撑导轨(2-5)放置在加热真空腔室(2)内壁设置的支承座(2-6)上,所述支撑导轨(2-5)两侧的边缘与对应加热真空腔室(2)的内壁之间设有流通间隙(2-7),所述支承座(2-6)设有流通通道(2-8),所述流通通道(2-8)一端与对应的流通间隙(2-7)相连,另一端位于支撑导轨(2-5)下方。

8.根据权利要求6所述的卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备,其特征在于,所述支撑导轨(2-5)两侧相对设置有限位槽(2-9),位于支撑导轨(2-5)端部的限位槽(2-9)高度由外向内逐渐增大。

9.根据权利要求1所述的卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备,其特征在于,所述抽真空装置(4)包括依次相连的冷凝器(4-1)、阀门(4-2)和真空泵(4-3),所述冷凝器(4-1)与对应置料真空腔室(1)相连。

10.根据权利要求1所述的卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备,其特征在于,置料辊(1-1)外壁设置有固定槽(1-6),所述固定槽(1-6)内安装有固定压块(1-7),所述固定压块(1-7)一侧与置料辊(1-1)铰接,另一侧中安装有铁块(1-8),所述固定槽(1-6)槽底安装有吸引铁块(1-8)的磁铁(1-9)。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1