一种抛光机压头纯水冲洗装置的制作方法

本实用新型涉及到单晶硅抛光片生产技术领域，具体的说是一种抛光机压头纯水冲洗装置。

背景技术：

单晶硅抛光片是IC行业的基础材料，而抛光机是生产抛光片不可或缺的主要设备之一。其中由日本FUJIKOSHI公司生产的SPM-19型抛光机在目前国内的单晶硅抛光片制造厂商中得到广泛使用。该型抛光机采用化学机械抛光方式实现对单晶硅片表面的抛光处理，抛光生产过程主要分为两个阶段：抛光液抛光阶段和纯水抛光阶段。抛光时，抛光液或者纯水通过主转盘中心供液口向旋转的主转盘持续供应抛光液或者纯水，四个压头把装有硅片的陶瓷盘压在贴有抛光布的主转盘上转动，由于是机械抛光，大盘上掉入的任何颗粒等都会对硅片表面造成划伤，对产品的质量造成影响。目前行业使用的抛光液都溶于水，少量抛光液暴露在空气中不久就会形成结晶。在抛光的过程中抛光液不可避免地会溅到压头上，如不及时处理就会在压头上形成结晶，而压头上的结晶又特别容易掉落到大盘上，对硅片的品质造成影响。

对于以上问题，传统的处理方法是：

1）抛完一车或几车硅片后用无尘纸或无尘布蘸纯水，对压头上溅落的抛光液或者刚刚形成的结晶进行清洁；

2）在压头上粘一层进口的双面胶（此双面胶价格昂贵），等双面胶上结晶多时更换双面胶，并对压头进行清洁。

以上两种方法的缺点是：1）无尘纸和无尘布的使用提高了生产成本；2）定时清洁或更换双面胶不但增加了员工劳动量，而且增加了停机时间；3）压头上的结晶容易在抛光过程中由于震动等原因会掉落到大盘上，影响硅片的品质；4）换双面胶和清洁时，结晶容易掉到抛光布上，污染抛光布。

技术实现要素：

为解决现有技术中压头清洁方法存在的诸多问题，本实用新型提供了一种抛光机压头纯水冲洗装置，该装置在不改变现有生产工艺的前提下，根据压头上残留的抛光液在抛完一车的时间内不会形成结晶和抛光液溶于水的特点，通过使用纯水冲洗抛光机压头，清除溅到压头上的抛光液，避免结晶生成，来解决压头上的结晶而引发的一系列问题。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种抛光机压头纯水冲洗装置，包括三通接头Ⅰ、三通接头Ⅱ和两条喷头支路，其中，三通接头Ⅰ的三个接口分别与原纯水管路、原水抛管路和三通接头Ⅱ连接，三通接头Ⅱ的另外两个接口分别通过前支管和后支管与上述两条喷头支路连接，每条喷头支路包括一个三通接头Ⅲ和两只喷头，且三通接头Ⅲ的一个接头与前支管或后支管连接，另外两个接头均通过管路与两个喷头连接，所述两条喷头支路中的四个喷头分别延伸到抛光机的四个压头处，以实现每个喷头单独清洗一个压头。

所述原纯水管路上设置有控制其通断和流量的纯水阀。

所述每条喷头支路中，在三通接头Ⅲ和两个喷头之间的管路上分别设置有旋塞阀门，以对每个喷头进行独立控制。

本实用新型中，三通接头Ⅰ连接的原纯水管路和原水抛管路是现有抛光设备中的纯水管路和水抛管路。

有益效果：本实用新型通过两个三通接头将原纯水管路和原水抛管路与四个喷头连接，这四个喷头对应抛光机的四个压头，从而实现了对四个压头的单独冲洗，避免了现有的清洁方法所造成的一系列问题，具有结构简单、安装方便的优点，而且冲洗过程和水抛过程同步，不额外占用生产时间，并且完全自动化；冲洗过程可根据需要适时调整喷嘴的角度和水量大小，调好后不需要人工参与，实用性和安全性能好，可以有效避免SPM-19型抛光机压头表面抛光液结晶的形成，降低了设备停机率和生产成本，提高了工艺稳定性。

附图说明

图1为本实用新型的管路连接图；

图2为本实用新型中喷头支路的管路图；

附图标记：1、三通接头Ⅰ，2、三通接头Ⅱ，3、喷头支路，301、三通接头Ⅲ，302、喷头，303、旋塞阀门，4、原纯水管路，5、原水抛管路，6、前支管，7、后支管，8、压头，9、纯水阀。

具体实施方式

如图所示，一种抛光机压头纯水冲洗装置，包括三通接头Ⅰ1、三通接头Ⅱ2和两条喷头支路3，其中，三通接头Ⅰ1的三个接口分别与原纯水管路4、原水抛管路5和三通接头Ⅱ2连接，三通接头Ⅱ2的另外两个接口分别通过前支管6和后支管7与上述两条喷头支路3连接，每条喷头支路3包括一个三通接头Ⅲ301和两只喷头302，且三通接头Ⅲ301的一个接头与前支管6或后支管7连接，另外两个接头均通过管路与两个喷头302连接，所述两条喷头支路3中的四个喷头302分别延伸到抛光机的四个压头8处，以实现每个喷头302单独清洗一个压头8。

以上为本实用新型的基本实施方式，可在以上基础上做进一步的优化、限定和改进：

如，所述原纯水管路4上设置有控制其通断和流量的纯水阀9；

又如，所述每条喷头支路3中，在三通接头Ⅲ301和两个喷头302之间的管路上分别设置有旋塞阀门303，以对每个喷头302进行独立控制。

图1中，虚线部分为抛光机中原有装置，三通接头Ⅰ1的主要作用是把本实用新型装置并联在水抛管路中；三通接头Ⅱ2对冲洗装置的管路进行分支；后支路6将管路通向两个压头；前支路7将管路通向另两个压头；喷头支路3部分如图2所示，三通接头Ⅲ301将管路分成两部分，分别指向两个压头8；旋塞阀门303有两个，可以调整喷向两个压头8的水量；喷头302将纯水喷向压头8相应位置。

压头8冲洗的具体步骤如下：

抛光机进入纯水抛光阶段时，图中虚线部分水抛纯水阀9自动打开，一路纯水通过三通接头Ⅰ1进入原抛光机水抛管路5，另一路通过三通接头Ⅰ1进入三通接头Ⅱ2；之后一路纯水通过前支路7、一条喷头支路3，分别喷向两个压头8，水量大小可根据需要调整对应旋塞阀门303；另一路通过后支路6、另一条喷头支路3，分别喷向剩下的两个压头8，水量大小可根据需要调整对应的旋塞阀门303。