技术总结
本实用新型提供一种防信号干扰装置，属于半导体加工技术领域，适用于物理气相沉积腔体内的静电吸盘装置，静电吸盘装置的底部连接入水管、出水管、气管及电源线；防信号干扰装置连接在静电吸盘装置的底部，包括：由预定材质制成的实心主体，主体具有上表面和下表面，主体上设有分别与入水管、出水管、气管以及电源线配合的入水管孔道、出水管孔道、气管孔道以及电源孔道，入水管孔道、出水管孔道、气管孔道以及电源孔道贯穿上表面和下表面设置且互不连通。本实用新型的有益效果：隔离E‑chuck上的水管、气管以及电源线，避免因水管、气管以及电源线之间相互接触产生信号干扰，E‑chuck需要检修更换时，无需拆除防信号干扰装置，使用更加方便安全。
技术研发人员：袁欢;谢诚
受保护的技术使用者：武汉新芯集成电路制造有限公司
文档号码：201621199136
技术研发日：2016.11.07
技术公布日：2017.08.04