一种防信号干扰装置的制作方法

本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种防信号干扰装置。

背景技术：

物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)，是电子器件制造中最常用的工艺之一。PVD是在真空室(物理气相沉积腔体) 中进行的一种等离子体加工，在进行气相沉积操作时需要用到静电吸盘(E-chuck)。如图1所示，静电吸盘上连接有静电吸盘水管(包括 E-chuck出水管2和E-chuck入水管1)、气管3以及电源线4，电源线4连接E-chuck的电源输入装置5。E-chuck水管、气管3以及电源线4三者之间如果有接触会干扰E-chuck的直流偏置(DC bias) 信号导致直流偏置参数不稳定超出E-chuck的配置，进而影响产品质量，现有技术中，通常使用无尘布以及胶带将E-chuck水管、气管3 以及电源线4各自包裹进行隔绝，避免三者之间有接触。

但是，采用现有技术的无尘布及胶带的包裹方式，如果E-chuck、 E-chuck水管、气管3以及电源线4中的任意一个需要维护或更换时，都需要对包裹的无尘布和胶带进行拆除并在维修或更换后进行重新包裹。如果包裹的方式不对导致无尘布和胶带中途脱落或者包裹的不够完全都会导致三者之间有接触会干扰E-chuck直流偏置信号导致直流偏置参数不稳定超出原有配置。另外，使用无尘布和胶带包裹电源线且周围分布有带电器件可能存在火灾风险。

技术实现要素：

针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种使用方便且安全的防信号干扰装置。

本实用新型采用如下技术方案：

一种防信号干扰装置，适用于物理气相沉积腔体，所述物理汽相淀积腔体内设有静电吸盘装置，所述静电吸盘装置的底部连接有入水管、出水管、气管以及电源线；所述防信号干扰装置包括：由预定材质制成的实心的主体，所述主体具有上表面和下表面，所述主体通过所述上表面连接在所述静电吸盘装置的底部，所述主体上设有分别与所述入水管、所述出水管、所述气管以及所述电源线相配合的入水管孔道、出水管孔道、气管孔道以及电源孔道，所述入水管孔道、所述出水管孔道、所述气管孔道以及所述电源孔道之间互不连通且分别贯穿所述上表面和所述下表面。

优选的，所述上表面上设有与所述静电吸盘的底部相配合的凹槽，所述主体通过所述凹槽安装在所述静电吸盘的底部，所述凹槽分别与所述入水管孔道、所述出水管孔道、所述气管孔道以及所述电源孔道连通。

优选的，所述主体还包括连接所述上表面和所述下表面的侧面。

优选的，所述主体为柱型结构，所述上表面和所述下表面平行。

优选的，所述侧面为圆柱面。

优选的，所述主体上还设有连接孔道，所述连接孔道一端开口设于所述侧面上，另一端开口与所述电源孔道连通。

优选的，所述连接孔道与所述电源孔道垂直。

优选的，所述入水管孔道、所述出水管孔道、所述气管孔道以及所述电源孔道之间相互平行。

优选的，所述入水管孔道、所述出水管孔道、所述气管孔道以及所述电源孔道分别垂直于所述上表面以及所述下表面。

优选的，所述预定材质为防火且不导电材质。

本实用新型的有益效果是：隔离静电吸盘上的水管、气管以及电源线，避免因水管、气管以及电源线之间相互接触产生信号干扰，在静电吸盘以及静电吸盘的上述相关管路线路需要更换时，无需拆除防信号干扰装置，使用更加方便，使用防火材质提高使用安全性。

附图说明

图1为物理气相沉积腔体中静电吸盘的结构示意图；；

图2为本实用新型的一种优选实施例中，防信号干扰装置的结构示意图；

图3为本实用新型的一种优选实施例中，防信号干扰装置的使用示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，下述技术方案，技术特征之间可以相互组合。

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明：

如图1-3所示，一种防信号干扰装置，适用于物理气相沉积腔体，上述物理汽相淀积腔体内设有静电吸盘装置，上述静电吸盘装置的底部连接有入水管1、出水管2、气管3以及电源线4；上述防信号干扰装置包括：由预定材质制成的实心的主体6，上述主体6具有上表面和下表面，上述主体6通过上述上表面连接在上述静电吸盘装置的底部，上述主体6上设有贯穿上述上表面和上述下表面的入水管孔道 7、出水管孔道8、气管孔道9以及电源孔道10，上述入水管孔道7、上述出水管孔道8、上述气管孔道9以及上述电源孔道10分别与上述入水管1、上述出水管2、上述气管3以及上述电源线4相配合，上述入水管孔道7、上述出水管孔道8、上述气管孔道9以及上述电源孔道10之间互不连通。

在本实施例中，将上述主体6连接安装在上述静电吸盘的底部，上述静电吸盘的入水管1、出水管2、气管3以及电源线4从静电吸盘的底部引出后分别设置在入水管孔道7、出水管孔道8、气管孔道 9以及电源孔道10中，由于主体为实心，且上述入水管孔道7、上述出水管孔道8、上述气管孔道9以及上述电源孔道10之间互不连通，避免了入水管1、出水管2、气管3以及电源线4之间产生接触，从而避免因接触产生信号干扰。在静电吸盘需要检修时，只需将主体6 拿下即可，在检修完成后再将主体6安装到静电吸盘的底部即可，使用上更方便。

较佳的实施例中，上述主体6的顶部还设有与上述静电吸盘的底部相配合的凹槽12，上述防信号干扰装置通过上述凹槽12安装在上述静电吸盘的底部，上述凹槽12分别与上述入水管孔道7、上述出水管孔道8、上述气管孔道9以及上述电源孔道10连通。

在本实施例中，实际使用时将凹槽12套在静电吸盘的底部，上述静电吸盘的入水管1、出水管2、气管3以及电源线4从静电吸盘的底部引出后分别设置在入水管孔道7、出水管孔道8、气管孔道9以及电源孔道10中，凹槽12的设计使静电吸盘与防信号干扰装置之间的连接更加稳固。

较佳的实施例中，上述主体6还包括连接上述上表面和上述下表面的侧面。

较佳的实施例中，上述主体为柱型结构，上述上表面和上述下表面平行，上述侧面为圆柱面。

较佳的实施例中，上述主体上还设有连接孔道11，上述连接孔道 11一端开口设于上述侧面上，另一端开口与上述电源孔道10连通。

较佳的实施例中，上述连接孔道与上述电源孔道垂直。

在本实施例中，静电吸盘的电源线连接电源输入装置5，电源输入装置5位于防信号干扰装置的一侧，电源线4经电源孔道10和连接孔道11后与电源输入装置5连接，电源输入装置5的位置设置更加灵活，安装和拆卸更加便捷，使用更加方便。

较佳的实施例中，上述入水管孔道7、上述出水管孔道8、上述气管孔道9以及上述电源孔道10之间相互平行。

在本实施例中，使上述入水管孔道7、上述出水管孔道8、上述气管孔道9以及上述电源孔道10之间进一步隔离，从而进一步避免入水管1、出水管2、气管3以及电源线4之间产生接触，提高抗干扰效果。

较佳的实施例中，上述入水管孔道7、上述出水管孔道8、上述气管孔道9以及上述电源孔道10分别垂直于上述上表面以及上述下表面。

在本实施例中，使上述入水管孔道7、上述出水管孔道8、上述气管孔道9以及上述电源孔道10之间进一步隔离，从而进一步避免入水管1、出水管2、气管3以及电源线4之间产生接触，提高抗干扰效果。

较佳的实施例中，上述预定材质为防火且不导电材质。

在本实施例中，防火避免意外起火，提高使用安全性，不导电材质避免由于电源线漏电产生的安全问题。

通过说明和附图，给出了具体实施方式的特定结构的典型实施例，基于本实用新型精神，还可作其他的转换。尽管上述实用新型提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。

对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本实用新型的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本实用新型的意图和范围内。