全自动单晶硅棒滚磨一体设备的制作方法

文档序号:11477770阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种全自动单晶硅棒滚磨一体设备,包括用于承载的大底架;其特征在于,该大底架呈长条形,在其表面沿长度方向设有两条平行的主导轨;磨削工作台组件活动安装在两根主导轨上,由主驱动电机通过驱动连接机构实现沿主导轨的移动;

在大底架的两侧共设有四个用于承载的平台:两个平台位于大底架的中部且相对布置,其中一个承载粗磨动力头组件,另一个承载精磨动力头组件;另两个平台位于大底架的一端且相对布置,其中一个承载上料机械手组件,另一个承载对中机械手组件;在大底架上,还设有晶向检测装置和半径检测单元。

2.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,还包括外罩钣金组件,外罩钣金组件整体呈倒置的U形结构,其两端固定在大底架上。

3.根据权利要求1或2任意一项中所述的设备,其特征在于,所述磨削工作台组件包括头座、尾座、底座、夹紧气缸、分度直驱电机和对刀传感器组件;其中,底座活动安装于两条主导轨上,其底部通过螺钉固定连接电机安装座,主驱动电机装在电机安装座上;所述驱动连接机构包括固定在大底架上的齿条,以及与齿条相互啮合的齿轮;齿轮固定在主驱动电机的转动轴上;头座和尾座相对地安装于底座的两侧,其对中线垂直于主导轨;底座下方设夹紧气缸,用于驱动头座或尾座以调整相互间距;头座或尾座上设有用于测量基准的对刀传感器组件和基准块,以及用于控制晶棒旋转和角度位置的分度直驱电机。

4.根据权利要求1或2任意一项中所述的设备,其特征在于,所述粗磨动力头组件包括粗磨进给导轨安装座、水平进给组件、水平移动伺服电机、粗磨竖直导轨安装座、竖直进给组件、粗磨变频电机、粗磨砂轮安装座和粗磨砂轮组件;其中,水平进给组件通过粗磨进给导轨安装座固定在大底架上的平台上,且安装方向垂直于主导轨;水平移动伺服电机通过传动部件与水平进给组件连接;竖直进给组件通过粗磨竖直导轨安装座固定在水平进给组件上,粗磨变频电机和粗磨砂轮安装座固定在竖直进给组件上,粗磨砂轮组件装在粗磨砂轮安装座上。

5.根据权利要求1或2任意一项中所述的设备,其特征在于,所述精磨动力头组件包括精磨进给导轨安装座、水平进给组件、水平移动伺服电机、精磨竖直导轨安装座、竖直进给组件、精磨变频电机、精磨砂轮安装座和精磨砂轮组件;其中,水平进给组件通过精磨进给导轨安装座固定在大底架上的平台上,且安装方向垂直于主导轨;水平移动伺服电机通过传动部件与水平进给组件连接;竖直进给组件通过精磨竖直导轨安装座固定在水平进给组件上,精磨变频电机和精磨砂轮安装座固定在竖直进给组件上,精磨砂轮组件装在精磨砂轮安装座上。

6.根据权利要求1或2任意一项中所述的设备,其特征在于,所述上料机械手组件包括送料机械手、导轨安装座、伸缩气缸组件和水平进给组件;其中,上料机械手活动安装于导轨安装座的导轨上,导轨安装座固定在大底架的平台上;伸缩气缸组件通过水平进给组件连接至导轨安装座。

7.根据权利要求1或2任意一项中所述的设备,其特征在于,所述对中机械手组件包括水平导轨安装座、水平移动组件、水平移动伺服电机、对中竖直导轨安装座、对中竖直进给组件、竖直移动电机和对中手抓;其中,水平移动组件通过水平导轨安装座固定在大底架上的平台上,且安装方向垂直于主导轨;水平移动伺服电机通过传动部件与水平移动组件连接;对中竖直进给组件通过对中竖直导轨安装座固定在水平移动组件上,竖直移动电机和对中手抓固定在对中竖直进给组件上。

8.根据权利要求1或2任意一项中所述的设备,其特征在于,所述晶向检测装置包括龙门安装架、激光测距传感器组件、传感器支架、升降气缸组件及罩壳;其中,龙门安装架具有能上下伸缩的支撑腿,横跨主导轨且固定在大底架上;激光测距传感器组件通过传感器支架悬挂固定在龙门安装架上;升降气缸组件安装在龙门安装架上端且由罩壳保护。

9.根据权利要求1或2任意一项中所述的设备,其特征在于,所述半径检测单元包括安装底座、驱动电机、水平直线运动单元、支撑座和接触式传感器单元;其中,水平直线运动单元通过安装底座安装在大底架上;接触式传感器单元通过连接杆装在支撑座上,支撑座则安装在水平直线运动单元的导轨上,驱动电机设于水平直线运动单元的一端。

10.根据权利要求1或2任意一项中所述的设备,其特征在于,所述大底架上还设有供气系统和供水系统和排水系统。

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