技术总结
本实用新型涉及单晶硅棒加工设备，旨在提供一种全自动单晶硅棒滚磨一体设备。包括呈长条形的大底架，在其表面沿长度方向设有两条平行的主导轨；磨削工作台组件活动安装在两根主导轨上，由主驱动电机通过驱动连接机构实现沿主导轨的移动；在大底架的两侧共设有四个用于承载的平台：分别用于承载粗磨动力头组件、精磨动力头组件、上料机械手组件和对中机械手组件；在大底架上，还设有晶向检测装置和半径检测单元。本实用新型大大提升了晶棒滚磨设备的加工范围和加工能力，实现硅棒的自动对中；提高加工效率，节约人力和物流的成本；能保证设备长久及稳定的高精度运行；显著降低生产噪声；不产生有机物排放，废弃物也更少，保护生态环境。
技术研发人员：曹建伟;沈文杰;严浩;傅林坚;吴兵兵;何守龙;谢龙辉;王凯;邱敏秀
受保护的技术使用者：浙江晶盛机电股份有限公司
文档号码：201621271668
技术研发日：2016.11.25
技术公布日：2017.08.18