一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置的制作方法

文档序号:12695607阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及单晶硅棒滚磨加工领域,旨在提供一种用于单晶硅棒滚磨设备的多功能磨削动力头装置。该装置包括磨削进给组件、磨削竖直移动组件和磨削动力头主轴组件三个部分,各组件分别控制和定位校对;磨削进给组件用于横向定位安装于磨削进给滑块安装台上的磨削竖直移动组件;磨削竖直移动组件用于纵向安装于其上的定位动力头主轴组件;动力头主轴组件用于驱动磨削砂轮转动以实现磨削;其中,电机通过变频电机联轴器与动力头主轴和磨削砂轮固连后,固定于磨削动力头安装座上。该装置能实现动力头横向、纵向精确定位、磨削砂轮可磨平面、外圆及V槽;大大降低单晶硅棒滚磨加工设备的复杂程度,同时大幅降低制造成本以及运转设备带来的人力成本。

技术研发人员:曹建伟;沈文杰;严浩;傅林坚;吴兵兵;何守龙;谢龙辉;王凯;邱敏秀
受保护的技术使用者:浙江晶盛机电股份有限公司
文档号码:201621271682
技术研发日:2016.11.25
技术公布日:2017.06.27

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