技术特征：
技术总结
本发明公开了一种蒸发台束斑遥控盒，包括X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块、切换指示模块，所述X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块、切换指示模块分别与16针插排相连，所述X方向调节旋钮模块、Y方向调节旋钮模块、功率调节旋钮模块分别通过继电器开关与可调电位器R1、R2、R3相连。本发明蒸发台束斑遥控盒及其控制方法，便于操作人员熔料时调节电子束功率和位置、确保产品成膜质量稳定可靠、减少设备受损的可能性。
技术研发人员：王绍权
受保护的技术使用者：苏州同冠微电子有限公司
技术研发日：2017.04.25
技术公布日：2017.10.20