本发明涉及微电子机械技术领域，尤其涉及一种用于激光划片机的传动轴。
背景技术：
在半导体集成电路的应用中，晶元是最关键的技术，因而激光划片机被广泛使用到晶元切割的技术中，其中工业用激光划片机最为广泛使用，工业用激光划片机一般包括激光头以及驱动该激光头移动的驱动装置，所述驱动装置包括传动轴，所以对传动轴的性能要求比较高，但是现有技术中的划片机的传动轴并没有很好的耐摩擦、耐热抗氧化性能，导致传动轴的使用寿命很短，划片机使用一段时间就得更换传动轴，从而增加了生产成本。
技术实现要素：
为克服上述缺点，本发明的目的在于提一种用于激光划片机的传动轴，其传动轴强度高、耐摩擦、抗氧化性能好，使用周期长，降低生产成本。
为了达到以上目的，本发明采用的技术方案是：一种用于激光划片机的传动轴，按照重量份比例包括镍10-30份、铬1-3份、铜1-2份、钪4-5份、锰3-6份、铝1-2份、硒0.5-1.5份和钛50-70份。
进一步地，按照重量份比例包括镍20份、铬2份、铜1.5份、钪4.5份、锰4份、铝1份、硒1份和钛66份。
进一步地，按照重量份比例包括镍15份、铬2.5份、铜2份、钪4份、锰4.5份、铝2份、硒1份和钛69份。
进一步地，按照重量份比例包括镍25份、铬1.5份、铜1份、钪5份、锰5份、铝2份、硒1.5份和钛59份。
进一步地，所述一种用于激光划片机的传动轴的生产方法，包括以下步骤：
1)采用高压氮气雾化法得到合金粉末进行模压，在5-7kpa压力下冷等静压制，时间为1.5-3.5h；
2)冷等静压坯在1000-1300℃下挤压成型；
3)将步骤2)的坯料通过打磨机进行打磨，做成所需的胚料；
4)将步骤3)的胚料进行退火处理；
5)将步骤4)处理后的胚料在压力机上冷挤压粗；
6)在数控车床上对步骤5)处理完的工件车外圆，车成所需的形状。
进一步地，所述步骤(4)中的退火处理，包括如下步骤：
4)在450℃进行第一次回火，回火时间为5h，再空冷至室温；
5)在550℃进行第二次回火，回火时间为4.5h，再空冷至室温；
6)在700℃进行第三次回火，回火时间为3h，再空冷至室温。
本发明提供的一种用于激光划片机的传动轴，通过镍、铬、铜、钪、锰、铝、硒和钛的一定配比，再通过粉末冶金工艺，经过退火处理的合金材料制成，使得传动轴的强度高、耐摩擦、抗氧化性能好，使用周期长，从而大大降低生产成本。
具体实施方式
下面对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。
实施例一：
本实施例中的一种用于激光划片机的传动轴，按照重量份比例包括镍20份、铬2份、铜1.5份、钪4.5份、锰4份、铝1份、硒1份和钛66份。
一种用于激光划片机的传动轴的生产方法，包括以下步骤：
1)采用高压氮气雾化法得到合金粉末进行模压，在6kpa压力下冷等静压制，时间为2.5h；
2)冷等静压坯在1200℃下挤压成型；
3)将步骤2)的坯料通过打磨机进行打磨，做成所需的胚料；
4)将步骤3)的胚料进行退火处理；
5)将步骤4)处理后的胚料在压力机上冷挤压粗；
6)在数控车床上对步骤5)处理完的工件车外圆，车成所需的形状。
进一步地，所述步骤(4)中的退火处理，包括如下步骤：
7)在450℃进行第一次回火，回火时间为5h，再空冷至室温；
8)在550℃进行第二次回火，回火时间为4.5h，再空冷至室温；
9)在700℃进行第三次回火，回火时间为3h，再空冷至室温。
实施例二：
本实施例提供的一种用于激光划片机的传动轴，按照重量份比例包括镍15份、铬2.5份、铜2份、钪4份、锰4.5份、铝2份、硒1份和钛69份。
一种用于激光划片机的传动轴的生产方法，包括以下步骤：
1)采用高压氮气雾化法得到合金粉末进行模压，在6.5kpa压力下冷等静压制，时间为3h；
2)冷等静压坯在1300℃下挤压成型；
3)将步骤2)的坯料通过打磨机进行打磨，做成所需的胚料；
4)将步骤3)的胚料进行退火处理；
5)将步骤4)处理后的胚料在压力机上冷挤压粗；
6)在数控车床上对步骤5)处理完的工件车外圆，车成所需的形状。
所述步骤(4)中的退火处理，包括如下步骤：
10)在450℃进行第一次回火，回火时间为5h，再空冷至室温；
11)在550℃进行第二次回火，回火时间为4.5h，再空冷至室温；
12)在700℃进行第三次回火，回火时间为3h，再空冷至室温。
实施例三：
按照重量份比例包括镍25份、铬1.5份、铜1份、钪5份、锰5份、铝2份、硒1.5份和钛59份。
一种用于激光划片机的传动轴的生产方法，包括以下步骤：
1)采用高压氮气雾化法得到合金粉末进行模压，在7kpa压力下冷等静压制，时间为3.5h；
2)冷等静压坯在1300℃下挤压成型；
3)将步骤2)的坯料通过打磨机进行打磨，做成所需的胚料；
4)将步骤3)的胚料进行退火处理；
5)将步骤4)处理后的胚料在压力机上冷挤压粗；
6)在数控车床上对步骤5)处理完的工件车外圆，车成所需的形状。
进一步地，所述步骤(4)中的退火处理，包括如下步骤：
13)在450℃进行第一次回火，回火时间为5h，再空冷至室温；
14)在550℃进行第二次回火，回火时间为4.5h，再空冷至室温；
15)在700℃进行第三次回火，回火时间为3h，再空冷至室温。
以上实施方式只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本发明的内容并加以实施，并不能以此限制本发明的保护范围，凡根据本发明精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围内。