技术特征：
技术总结
本发明公开了一种气相沉积设备，包括腔体、第一电极、第二电极以及进气管，所述腔体上开设有进气口和排气口，所述第一电极、所述第二电极设于所述腔体内且分别接高频交流电和接地，所述第一电极设于所述进气口所在侧，所述第二电极与所述第一电极平行且相对设置；所述第一电极包括朝向所述进气口的第一开口和背向所述进气口、与所述第一开口连通的第二开口，所述进气管自所述进气口引入并连接在所述第一开口。本发明的第一电极上具有连通进气管的第一开口和喷出气体的第二开口，通过将第一电极外接高频交流电，即可将通入的气体朝第一电极与第二电极的间隙喷出，不需要额外设计喷头，减少了零部件数量，也减小了设备体积。
技术研发人员：刘凤举
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
技术研发日：2017.06.28
技术公布日：2017.10.20