一种高致密度高纯度溅射旋转银靶材的制备方法与流程

文档序号:11768059阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种旋转银靶材的冷喷涂制备方法。首先将不锈钢按照客户要求加工好,然后用棕刚玉进行喷砂粗化。再用碳化钨合金制作的拉法尔喷管对银粉进行喷涂,碳化钨喷管结构如图1,银粉为球形粉末,粒度为30‑60微米,氮气气压为2‑3MPa,氦气加热温度为300‑400℃,送粉转速为6rpm。通过拉法尔喷管对粒子进行加速,将粒子速度提高到800‑1000m/s。采用本发明冷喷涂制备银靶材,具有工艺简单和组织致密的优点,靶材相对密度可以达到99.9%以上,靶材内部晶粒组织均匀细小,无缺陷组织,且沉积效率高于99%。

技术研发人员:黄伟东
受保护的技术使用者:绍兴斯普瑞涂层技术有限公司
技术研发日:2017.07.17
技术公布日:2017.10.20
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