一种石墨框结构的制作方法

本实用新型属于太阳能电池技术领域，涉及一种光伏行业的化学气相沉积镀膜，特别涉及一种石墨框结构。

背景技术：

目前该领域内使用的石墨框子框结构是边沿垂直，在使用过程中由于沉积在表面的附着物增加蔓延到子框上表面，影响垂直方向的子框内壁的平面度，会干涉到工件放置和取出，造成大量的边缘损伤，甚至会卡住工件造成碎裂，导致工件报废，造成损失。

技术实现要素：

为了降低和解决石墨框在使用的中后期表面附着物对工件的影响，减少不良和报废，提高良品率，提供了一种石墨框结构。

为了实现上述任务，本实用新型采用以下技术措施：

一种石墨框结构，包括石墨框本体，所述的石墨框本体上设置有多个子框，所述的子框的四个边均向内部倒角形成斜面，四个斜面底部向下形成用于放置工件的槽。

所述的斜面与竖直面的夹角为60°。

所述的槽深度为0.5mm。

所述的槽与工件间隙配合。

所述的槽边沿倒角为圆角，圆角的半径为106mm。

所述的相邻子框之间形成格栅，格栅的断面为阶梯倒角结构。

所述的石墨框本体矩阵排列4×6个子框。

实用新型与现有技术相比，具有以下优点：

本实用新型改进之处是将现有的垂直结构改变为阶梯倒角结构。在不影响设备稳定性和工艺效果的前提下来改变石墨框子框结构，采用边沿倒角和底部开槽的方式来实现工件定位精准，倒角角度向外倾斜减少了工件在取放时的干涉，保护工件不受损伤。通过改进石墨框子框的结构，边缘形成斜面来避免因附着物增加损伤和卡住工件导致不良报废。此种形状一方面保证工件在石墨框内的精确定位，不会发生位移影响工艺质量，另一方面减少工件在放置和取出过程中和槽边沿的接触面积，也避免上表面附着物增加后使槽表面的面积减小，导致工件放置不到位或者取出时卡碎。

附图说明

图1是石墨框平面图；

图2是石墨框子框；

图3是石墨框子框格栅截面图；

图4旧款石墨框碎片率趋势图；

图5新型石墨框碎片率趋势图；

其中，1、子框；2、石墨框本体；3、槽；4、工件；5、圆角。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作详细描述：

如图1至3所示，本实用新型一种石墨框结构，包括石墨框本体2，所述的石墨框本体2上设置有多个子框1，所述的子框1的四个边均向内部倒角形成斜面，四个斜面底部向下形成用于放置工件4的槽3。斜面与竖直面的夹角为60°。槽3深度为0.5mm。槽3与工件4间隙配合。

槽3边沿倒角为圆角5，圆角5的半径为106mm。相邻子框1之间形成格栅，格栅的断面为阶梯倒角结构。石墨框本体2矩阵排列4×6个子框1。

图1是石墨框整体的平面图，共有24个子框，可每个子框放置一个工件，可以同时承载24个工件进行镀膜工艺。

图2是单独的子框结构图，工件4放置在对应形状的深槽3里，在设备工艺腔对工件4上表面进行镀膜。

图3是子框的格栅截面图，此种形状一方面保证工件在石墨框内的精确定位，不会发生位移影响工艺质量，另一方面减少工件在放置和取出过程中和槽边沿的接触面积，也避免上表面附着物增加后使槽表面的面积减小，导致工件放置不到位或者取出时卡碎。

本实用新型主要是考虑到如何在不影响设备稳定性和工艺效果的前提下来改变石墨框子框结构，采用边沿倒角和底部开槽的方式来实现工件定位精准，倒角角度向外倾斜减少了工件在取放时的干涉，保护工件不受损伤。

通过改进石墨框子框的结构来避免因附着物增加损伤和卡住工件导致不良报废。为了验证改善的新型石墨框效果跟踪的实验数据。通过图4旧款石墨框碎片率趋势图与图5新型石墨框碎片率趋势图对比，在同一个机台上，相同的工艺条件下，石墨框都是清洗后第一天使用到第十天，用相同的方法记录数据。结果表明到整个使用周期内旧款的石墨框碎片率均值0.28％，且随使用时间呈上升趋势。新型的石墨框碎片率均值0.08％，基本比较稳定。

本实用新型与现有的技术相比：

降低报废率：它可以明显改善石墨框使用到中后期的工件报废现象。由此造成的工件边沿损伤也大大减少，降低工件掉落到墙体内的风险，间接提高设备开机率。

提高了质量：工件卡在石墨框字框内的残留部分会影响下次工件放置效果，造成产品不良返工，形成恶性循环。新型的石墨框不会产生这种现象。

改善当机率：残留的部分工件会遮挡影像系统，影响石墨框的精确定位，造成设备报警停机。新型的石墨框会减少甚至杜绝这种现象发生，提升开机率。

以上，仅为本实用新型的较佳实施例，并非仅限于本实用新型的实施范围，凡依本实用新型专利范围的内容所做的等效变化和修饰，都应为本实用新型的技术范畴。