1.一种可拆卸式化学气相沉积喷淋装置，主要包括喷淋（2）、喷淋进气口（1）、气体混合腔（5）、喷淋管（6）、冷却水进口（3）、冷却水出口（4）、喷淋水冷腔（7）等，其特征在于喷淋（2）底面设置有可拆顶板（8），可拆顶板（8）通过可拆卸的连接方式与喷淋（2）底面连接，所述可拆顶板（8）顶部分布设置有热接触点（9），热接触点（9）由导热良好材料制备，分别与可拆顶板（8）顶面和喷淋（2）底面接触，起到可拆顶板（8）和喷淋（2）间的导热作用，可拆顶板（8）上分布设置有贯穿孔（10），使凸出的喷淋管（6）可以伸入到相应的贯穿孔（10）中。
2.如权利要求1所述的可拆卸式化学气相沉积喷淋装置，其特征在于所述可拆顶板（8）与喷淋（2）底面可拆连接方式为螺栓连接固定。
3.如权利要求1所述的可拆卸式化学气相沉积喷淋装置，其特征在于所述可拆顶板（8）厚度为2-10mm。
4.如权利要求1所述的可拆卸式化学气相沉积喷淋装置，其特征在于所述热接触点（9）材料是由导热率良好且蒸汽压较低的金属材料，如铝、铜等材料组成。