一种真空破空用空气分流装置的制作方法

本实用新型涉及真空系统中的破空技术领域，具体为一种真空破空用空气分流装置。

背景技术：

连续式磁控溅射低辐射镀膜玻璃生产线可以大批量连续式生产所需要的低辐射镀膜玻璃产品。因为连续化生产的需要，一般镀膜段的第一个腔室需要反复破空。特别是镀膜段末端，镀完膜的玻璃必须在腔室破空并达到一个标准大气压时，门阀方能打开，玻璃才能输送出去。破空的时候，急速的气流会对玻璃产生冲击，比较厚时，还可以抵挡住冲击力。随着镀膜玻璃厚度的减小，原来的结构已经不能够承受破空气流的冲击。一旦玻璃在破空时候产生破碎，整线必须停产进行清理，腔体内玻璃全部报废，同时影响生产进度，给客户造成很大的损失。

针对现有结构存在的技术缺陷，本实用新型的目的是提供一种真空破空用空气分流装置，以降低气流冲击力，使玻璃能够承受破空气体的冲击，满足薄玻璃镀膜的技术条件。

技术实现要素：

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种真空破空用空气分流装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种真空破空用空气分流装置，包括：真空腔室，所述真空腔室上端设有充气口，真空腔室一侧设有抽气口，所述充气口下侧设有分流板，所述分流板通过固定螺钉、固定螺帽安装在真空腔室的顶部，真空腔室内设有输送装置，玻璃放置在输送装置上，所述固定螺帽安装在真空腔室顶部预先加工的螺纹孔内，分流板用固定螺钉固定在固定螺帽上。

所述固定螺帽上部为一段外螺纹，下部加工有内螺纹孔，侧面加工有通气孔，沿着底部螺纹孔的轴线方向加工有通气孔，固定螺帽固定在真空腔室顶部后所形成的小狭小空间中的气体通过通气孔和通气孔排出，固定螺钉安装在固定螺帽后所形成的的狭小空间中的气体通过通气孔排出。

所述固定螺帽通过上部的一段外螺纹和真空腔室顶部预先加工的螺纹旋合，使固定螺帽固定在真空腔室顶部。

所述分流板上分布着若干安装孔和若干通气孔，通气孔在分流板上呈矩阵式分布。

所述分流板上的安装孔的大小和定位尺寸与顶部预先加工的螺纹孔的大小和定位尺寸相一致。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型很好的解决了磁控溅射镀膜玻璃生产线中破空气流对薄玻璃冲击损坏的问题。同时本实用新型结构简单，成本较低，操作简单，可靠性高。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的固定螺帽安装示意图。

图3为本实用新型的分流板结构示意图。

图4为本实用新型的固定螺帽结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

如图1～4所示，一种真空破空用空气分流装置，包括：真空腔室7，所述真空腔室7上端设有充气口4，真空腔室7一侧设有抽气口8，所述充气口4下侧设有分流板1，所述分流板1通过固定螺钉3、固定螺帽2安装在真空腔室7的顶部，真空腔室7内设有输送装置6，玻璃5放置在输送装置6上，所述固定螺帽2安装在真空腔室7顶部预先加工的螺纹孔内，分流板1用固定螺钉3固定在固定螺帽2上。

所述固定螺帽2上部为一段外螺纹21，下部加工有内螺纹孔22，侧面加工有通气孔23，沿着底部螺纹孔22的轴线方向加工有通气孔24，固定螺帽2固定在真空腔室顶部后所形成的小狭小空间中的气体通过通气孔23和通气孔24排出，固定螺钉3安装在固定螺帽2后所形成的的狭小空间中的气体通过通气孔24排出。

所述固定螺帽2通过上部的一段外螺纹21和真空腔室7顶部预先加工的螺纹旋合，使固定螺帽2固定在真空腔室7顶部。

所述分流板1上分布着若干安装孔11和若干通气孔12，通气孔12在分流板1上呈矩阵式分布。

所述分流板1上的安装孔11的大小和定位尺寸与顶部预先加工的螺纹孔的大小和定位尺寸相一致。

本实用新型腔体破空充气时，气流通过充气口进入腔体，被所述分流板1隔住，气流随即沿所述分流板1扩散后通过所述分流板1上的若干通气孔12扩散开。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。