一种快卸式钼舟电极的制作方法

本实用新型涉及薄膜制备领域，特别是一种快卸式钼舟电极。

背景技术：

在真空热蒸发镀膜设备中，常使用钼舟加热物料，物料中的金属通过蒸发、扩散到工件的表面，附着在工件表面，在工件表面形成薄膜。在真空热蒸发镀膜设备中，钼舟加热系统数量是有限的，在实际使用情况中，真空热蒸发镀膜设备需要蒸发不同的物料，为了避免物料间的交叉污染，当蒸发不同物料时，需要更换钼舟。由于有蒸发不同物料的需求，在频繁更换钼舟时，需要转动钼舟上的固定螺钉，在更换钼舟过程中钼舟容易发生损坏。

技术实现要素：

本实用新型的目的是克服现有钼舟在更换过程中容易发生损坏并且在空间狭小的真空热蒸发镀膜设备中不便更换的困难，提供一种结构简单、操作方便、能快速更换的钼舟电极。

为解决上述问题，本实用新型采用以下方案：

一种快卸式钼舟电极，其特征在于，包括移动电极架和电极底座，所述移动电极架包括钼舟、两根电极柱、两个绝缘陶瓷，其中钼舟的两端通过固定螺钉、垫片分别固定在两根电极柱的顶部，两个绝缘陶瓷之间通过固定螺钉连接在一起且在两个绝缘陶瓷的接触面上开有供两根电极柱穿过的凹槽；电极底座包括绝缘底座、供两根电极柱插入的两个套筒以及导线接头，其中套筒固定在绝缘底座的顶部，导线接头固定在绝缘底座的侧壁上；移动电极架与电极底座之间通过电极柱、套筒实现可拆卸连接。

优选地，所述绝缘底座为圆柱型。该设计有利于本实用新型在水平放置后稳定摆放。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：1、移动电极架包括钼舟、两根电极柱、两个绝缘陶瓷，更换钼舟时可整体拔掉移动电极架，无需单独拆换钼舟，从而避免因接触钼舟而导致钼舟碎裂；2、移动电极架与电极底座之间通过电极柱、套筒实现可拆卸连接，实现钼舟电极的快速更换；3、绝缘底座为圆柱型，有利于本实用新型在空间狭小的真空热蒸发镀膜设备中水平放置后的稳定摆放；4、钼舟通过固定螺钉固定在电极柱顶部时，在固定螺钉与电极柱之间垫有垫片，用以防止拧紧固定螺钉过程中损坏钼舟。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型所述移动电极架结构示意图。

图3为本实用新型所述电极底座结构示意图。

图中各标号表示：

1、移动电极架；2、电极底座；3、钼舟；4、电极柱；5、固定螺钉；6、垫片；7、绝缘陶瓷；8、绝缘底座；9、套筒；10、导线接头。

具体实施方式

以下将结合附图对本实用新型做进一步的详细说明。

如图1-图3所示，本实用新型的快卸式钼舟电极包括移动电极架1和电极底座2，移动电极架1包括钼舟3、两根电极柱2、两个绝缘陶瓷7，其中钼舟3的两端通过固定螺钉5、垫片6分别固定在两根电极柱4的顶部，两个绝缘陶瓷7之间通过固定螺钉5连接在一起且在两个绝缘陶瓷7的接触面上开有供两根电极柱4穿过的凹槽；电极底座2包括绝缘底座8、供两根电极柱4插入的两个套筒9以及导线接头10，其中套筒9固定在绝缘底座8的顶部，导线接头10固定在绝缘底座8的侧壁上；移动电极架1与电极底座2之间通过电极柱4、套筒9实现可拆卸连接。

使用前，检查移动电极架1上的固定螺钉5是否松动，绝缘底座2是否水平放置，检查无误后，将移动电极架1上的电极柱4插入电极底座2上的套筒9中，通入电流即可开始工作。在因更换蒸发物料而需更换钼舟电极时，只需断电后拔出移动电极架1，换上新的移动电极架1即可（钼舟连同移动电极架1的其余部分一起更换），不需单独取出钼舟，避免了钼舟的损坏，延长了使用寿命。