技术总结
本实用新型涉及一种化学气相沉积炉，其包括自下而上组装的用于盛放原料的一坩埚、配合坩埚使用的一坩埚盖、一沉积室、一收料盒、一导气管；所述坩埚盖上开设了连通坩埚和沉积室的若干第一通孔，所述收料盒上开设有连通沉积室和收料盒的一第二通孔，所述化学气相沉积炉还包括给坩埚加热的一第一加热器，所述收料盒内置一集尘室和盖设在集尘室上方的一集尘室盖板，所述集尘室盖板上开设连通集尘室和收料盒的一第三通孔。本实用新型化学气相沉积炉，结构合理，多级收集硫化锌产品，所制得的硫化锌不产生雾斑、雾层、花纹等缺陷，且硫化锌产品的整体厚度偏差小，产品转化率高。
技术研发人员：于金凤;朱刘
受保护的技术使用者：清远先导材料有限公司
文档号码：201721105754
技术研发日：2017.08.31
技术公布日：2018.05.01