一种防堵塞镀膜器的制作方法

文档序号:14176101阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种防堵塞镀膜器,包括横梁(1)、箱型主梁(2)、保护气体室(4)和镀膜气体室(7),其特征在于:所述横梁(1)的底端均匀通过连接纵梁(8)固定有箱型主梁(2),且箱型主梁(2)内部的一端安装有第一空腔(3),所述箱型主梁(2)内部的另一端安装有第三空腔(9),且箱型主梁(2)的中间位置处安装有第二空腔(5),所述第一空腔(3)内部的底端安装有保护气体室(4),且保护气体室(4)的底端安装有第一导气管(15),所述第一导气管(15)一侧的第一空腔(3)的底端安装有第一电极(13),且第一导气管(15)另一侧的第一空腔(3)的底端安装有第二电极(17),所述第二空腔(5)的内部安装有镀膜气体室(7),且镀膜气体室(7)的顶端安装有加压器(6),所述镀膜气体室(7)的底端安装有第二导气管(19),且第二导气管(19)远离第二电极(17)一侧的第二空腔(5)的底端安装有第三电极(21),所述第三空腔(9)的内部安装有排气室(10),且排气室(10)的底端安装有排气管(22),所述排气管(22)远离第三电极(21)一侧的第三空腔(9)的底端安装有第四电极(23),所述横梁(1)底部的两端均安装有稳定梁(11),且稳定梁(11)之间的底端固定有固定板(12),所述固定板(12)底部的一端安装有第一喷嘴(14),且第一喷嘴(14)的顶端与第一导气管(15)的底端相连通,所述固定板(12)底端的中间位置处固定有第二喷嘴(18),且第二喷嘴(18)的顶端与第二导气管(19)的底端相连通。

2.根据权利要求1所述的一种防堵塞镀膜器,其特征在于:所述第一空腔(3)、第二空腔(5)以及第三空腔(9)的内部均填充有导热油。

3.根据权利要求1所述的一种防堵塞镀膜器,其特征在于:所述第一电极(13)、第二电极(17)、第三电极(21)以及第四电极(23)的内部均设置有导热油管(16)。

4.根据权利要求1所述的一种防堵塞镀膜器,其特征在于:所述第二导气管(19)的两侧均设置有氮气冷却循环管(20)。

5.根据权利要求1所述的一种防堵塞镀膜器,其特征在于:所述箱型主梁(2)的一侧均匀设置有观察窗(24),且观察窗(24)与箱型主梁(2)的连接处均设置有橡胶密封垫。

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